[发明专利]柔性显示器的制作方法以及制作柔性显示器的基板

摘要

一种柔性显示器的制作方法，首先，在刚性基材上形成硅牺牲层，然后将柔性基材通过粘胶层贴附于该硅牺牲层上，接着，再在柔性基材上制作显示元件层，之后，利用含氟腐蚀性气体在常温条件下蚀刻硅牺牲层，以气化硅牺牲层，从而使得柔性基材与刚性基材分离。此柔性显示器的制作方法工艺简单，且能有效避免剥离不干净和剥离损伤的问题，有利于制作高质量的柔性显示器。本发明还涉及一种制作柔性显示器的基板。

主权项

一种柔性显示器的制作方法，其特征在于，其包括：在刚性基材的表面形成硅牺牲层；将柔性基材通过粘胶层贴附于该硅牺牲层上；在该柔性基材上制作显示元件层；以及利用含氟腐蚀性气体在常温条件下蚀刻该硅牺牲层，以气化该硅牺牲层，从而使得该柔性基材与该刚性基材分离。