[发明专利]柔性显示器的制作方法以及制作柔性显示器的基板

说明书

所属技术领域

    本发明涉及柔性显示器，且特别涉及一种柔性显示器的制作方法以及制作柔性显示器的基板。 

背景技术

目前，柔性显示器的显示技术种类较多，例如包括传统的液晶显示技术、双稳态液晶显示技术、有机发光二极管（organic light-emitting diode，OLED）显示技术、电泳显示技术、电致变色（electrochromism，EC）显示技术与电致发光(electroluminescent，EL) 显示技术等。其中，柔性有机发光二极管（flexible organic light-emitting diode，FOLED）显示器相比其它柔性显示器具有更多的优点，例如自发光显示、相应速度快、亮度高、视角宽、成本低等。而且，FOLED显示器是基于柔性有机材料的显示器，其可以被卷曲、折叠、甚至作为可穿戴计算机的一部分，因此在显示效果好的便携产品和军事等特殊领域有非常广泛的应用。 

传统的柔性显示器主要采用厚度小于100微米的柔性基材例如超薄玻璃、不锈钢薄膜以及塑料基材等。由于柔性基板存在易碎、易起褶皱和变形等问题，在实际生产过程中柔性基板一般与刚性基材贴附在一起来完成薄膜晶体管阵列制作、OLED制作及封装等工序，最后，再通过合适的剥离方法将刚性基材剥离，以完成柔性显示器的制作。 

因此，如何把柔性基材和刚性基材进行适当地粘附并剥离成为柔性显示器制作的关键技术之一。常见的剥离刚性基材的方法包括采用激光辐射法与水浴湿法。激光辐射法是利用激光辐射对位于柔性基材和刚性基材之间的非晶硅薄膜进行加热，使其变成多晶硅，从而实现剥离。水浴湿法是利用水浴的方式使位于柔性基材和刚性基材之间的锗氧化物薄膜反应，从而实现剥离。虽然这两种剥离方法通过不断的改进工艺条件从一定程度上改善了柔性基材与刚性基材的剥离效果，但是非晶硅薄膜以及锗氧化物薄膜剥离不干净与柔性基材损伤的问题仍然存在，且剥离的工艺条件也较难控制，不利于制作高质量的柔性显示器。 

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种柔性显示器的制作方法，工艺简单，且能有效避免剥离不干净和剥离损伤，有利于制作高质量的柔性显示器。 

本发明还提供一种制作柔性显示器的基板，有利于简单的进行刚性基材的剥离，且能有效避免剥离不干净和剥离损伤，以制作高质量的柔性显示器。 

本发明解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。 

本发明提出一种柔性显示器的制作方法，首先，在刚性基材的表面形成硅牺牲层，然后，将柔性基材通过粘胶层贴附至硅牺牲层上，接着，再在柔性基材上制作显示元件层，之后，利用含氟腐蚀性气体在常温条件下蚀刻硅牺牲层，以气化硅牺牲层，从而使得柔性基材与该刚性基材分离。 

本发明还提出一种制作柔性显示器的基板，其包括刚性基材、硅牺牲层、粘胶层、柔性基材以及显示元件层，其中，硅牺牲层位于刚性基材的表面并位于刚性基材与粘胶层之间，粘胶层位于硅牺牲层与柔性基材之间，柔性基材位于显示元件层与粘胶层之间，显示元件层位于柔性基材上。 

本发明的有益效果是，本发明柔性显示器的制作方法利用含氟腐蚀性气体在常温条件下与硅牺牲层的反应，使得刚性基材因硅牺牲层的气化而自动干净的剥离。此外，本发明柔性显示器的制作方法的含氟腐蚀性气体与硅牺牲层的反应条件几乎不会对柔性基材以及显示元件层造成损伤，在刚性基材剥离时不会影响柔性显示器中显示元件层中各元件例如薄膜晶体管阵列和有机功能材料层的电学特性，从而能有效避免了刚性基材剥离对柔性基材以及显示元件层性能的影响，有利于制作高质量的柔性显示器。此外，由于柔性基材及其上的显示元件层具有一定的应力作用，制作柔性显示器的基板在剥离刚性基材时，制作柔性显示器的基板的周边区域会发生翘曲，可进一步加速含氟腐蚀性气体与硅牺牲层之间的各项同性化学反应，从而加速刚性基材剥离的速度。 

为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。 

附图说明

图1A至图1G是本发明第一实施例的柔性显示器的制作方法的流程示意图。 

图2是本发明第二实施例的制作柔性显示器的基板的俯视示意图。 

图3是本发明第二实施例的柔性显示面板单元的剖示图。 

110、210：刚性基材                 112：表面 

120、220： 硅牺牲层                130、230：粘胶层