[发明专利]电感及其形成方法有效
| 申请号： | 201210184958.1 | 申请日： | 2012-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN103474415A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 程仁豪;王西宁;刘凌 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电感及其形成方法，其中，电感包括：半导体衬底；位于半导体衬底上方重叠设置的第一平面螺旋线圈、第二平面螺旋线圈和第三平面螺旋线圈，包括最外圈金属线、以及与最外圈金属线连接的内圈金属线，其中，内圈金属线包括至少2根相互隔离的子金属线，子金属线的一端分别与最外圈金属线连接，最外圈金属线的另一端与第一接触层连接；第一导电栓塞两端分别连接第一平面螺旋线圈和第二平面螺旋线圈内圈的子金属线的一端连接；第二导电栓塞两端分别连接第二平面螺旋线圈和第三平面螺旋线圈内圈的子金属线的一端连接；第一导电栓塞与第二导电栓塞连接；第一平面螺旋线圈和和第三平面螺旋线圈的最外圈金属线的一端连接。所述电感的品质因数Q提高。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种电感，其特征在于，包括：半导体衬底；位于所述半导体衬底表面的第一介质层；位于所述第一介质层表面的第一平面螺旋线圈和第一接触层，所述第一平面螺旋线圈包括最外圈金属线、以及与最外圈金属线连接的内圈金属线，其中，所述内圈金属线包括至少2根相互隔离的子金属线，所述子金属线的一端分别与最外圈金属线一端连接，所述最外圈金属线的另一端与所述第一接触层连接；位于所述第一平面螺旋线圈表面的第二介质层；位于所述第二介质层表面的第二平面螺旋线圈和第二接触层，所述第二平面螺旋线圈包括最外圈金属线、以及与最外圈金属线连接的内圈金属线，其中，所述内圈金属线包括至少2根相互隔离的子金属线，所述子金属线的一端分别与最外圈金属线一端连接，所述最外圈金属线的另一端与所述第二接触层连接；位于所述第二介质层内的第一导电栓塞，所述第一导电栓塞的一端与第一平面螺旋线圈内圈的子金属线的另一端连接，所述第一导电栓塞的另一端与第二平面螺旋线圈内圈的子金属线的另一端连接；位于所述第二平面螺旋线圈表面的第三介质层；位于所述第三介质层表面的第三平面螺旋线圈和第三接触层，所述第三平面螺旋线圈包括最外圈金属线、以及与最外圈金属线连接的内圈金属线，其中，所述内圈金属线包括至少2根相互隔离的子金属线，所述子金属线的一端分别与最外圈金属线一端连接，所述最外圈金属线的另一端与所述第三接触层连接，所述第三接触层通过第三导电栓塞与第一接触层连接；位于所述第三介质层内的第二导电栓塞，所述第二导电栓塞的一端连接第二平面螺旋线圈内圈的子金属线与第一导电栓塞相连的一端，所述第二导电栓塞的另一端连接第三平面螺旋线圈内圈的子金属线的另一端。
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