[发明专利]高密度等离子体化学气相沉积设备腔体刻蚀清洗方法有效
| 申请号： | 201210144425.0 | 申请日： | 2012-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103388127A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 成鑫华 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/00 | 分类号： | C23C16/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高密度等离子体化学气相沉积设备腔体刻蚀清洗的方法，包括如下步骤：先对设备腔体加热到设定时间；然后分两步对设备腔体进行刻蚀清洗。本发明既能提高清洗的效率，又能节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 高密度 等离子体 化学 沉积 设备 刻蚀 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种高密度等离子体化学气相沉积设备腔体刻蚀清洗的方法，其特征在于，包括如下步骤：先对设备腔体加热到设定时间；然后分两步对设备腔体进行刻蚀清洗。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
