[发明专利]一种批量硅片导向装置

摘要

本发明公开了一种批量硅片导向装置，为了解决现有的导向装置为一维导向，易受到外界影响，导向性差的问题，本发明所述的批量硅片导向装置包括可以上下升降的底导向板，每个所述底导向板的两侧上方均设有侧面导向板，该侧面导向板与可驱动侧面导向板在两侧面导向板之间作往复直线运动的侧面导向板驱动机构相连。当硅片运动到底导向板上方时，底导向板平稳上升，硅片盒中的硅片先进入底导向板的导向槽中，底导向板继续上升将硅片盒中的硅片托起并送入侧面导向板形成的导向槽中，然后侧方向调节侧面导向板，可确保所有硅片对齐并保持同等的间隙。这样就可以很好地实现了批量硅片导向，提高了取片可靠性。

主权项

一种批量硅片导向装置，包括可以上下升降的底导向板(1)，其特征是，每个所述底导向板(1)的两侧上方均设有侧面导向板(4)，该侧面导向板(4)与可驱动侧面导向板(4)在两侧面导向板之间作往复直线运动的侧面导向板驱动机构(3)相连。