“钟新华”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果121个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种用于外延设备的压力调节装置及工艺气体切换方法-CN202310283886.4在审
发明人：盛飞龙;郭嘉杰;伍三忠;毛朝斌;钟新华;王鑫 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本申请涉及外延设备技术领域，具体提供了一种用于外延设备的压力调节装置及工艺气体切换方法，该装置包括：流入管路，与反应室的进气端连接；排放管路，与反应室的排气管连接；压差检测组件，其两端分别与流入管路和排放管路连接，用于检测流入管路和排放管路之间的压差信息；载气供应组件，分别与流入管路和排放管路连接，用于为流入管路和排放管路供应载气；工艺气体供应组件，与流入管路和排放管路连接；切换组件，用于控制工艺气体供应组件为流入管路或排放管路供应工艺气体；回气组件，其两端分别与反应室的排气管和排放管路连接，用于将反应室的部分尾气导入排放管路；以及调节组件；该装置能够有效地减少载气使用量。
一种用于外延设备压力调节装置工艺气体切换方法

[发明专利]一种外延炉氢气吸收系统、方法、电子设备及存储介质-CN202111665014.1有效
发明人：王鑫;高桑田;钟新华;仇礼钦;盛飞龙;唐卓睿;戴科峰 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本申请涉及外延炉技术领域，具体提供了一种外延炉氢气吸收系统、方法、电子设备及存储介质，该系统包括：传送腔；存片腔，与所述传送腔连接；氢气吸收装置，设置在所述传送腔内，用于吸收所述传送腔内的氢气；氢气浓度检测装置，设置在所述传送腔内，用于采集所述传送腔内的氢气浓度信息；控制器，用于在对存片腔进行晶片上料或下料前，获取所述氢气浓度信息，还用于当所述氢气浓度信息大于或等于第一阈值时，控制所述氢气吸收装置吸收所述氢气直至所述氢气浓度信息小于第二阈值；通过氢气吸收装置吸收传送腔内的氢气，无需对反应腔执行抽真空和通入惰性气体的操作，从而有效地减少降低传送腔内的氢气浓度所需要的时间，提高外延炉的运行效率。
一种外延氢气吸收系统方法电子设备存储介质

[发明专利]一种离子注入装置-CN201811201334.X有效
发明人：彭立波;王迪平;钟新华;袁卫华;胡振东;金泽军;许波涛 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2018-10-16 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01J37/10 文献下载
摘要：一种离子注入装置，包括屏蔽房、依次设置的离子源、引出电极、分析器、分析光栏、聚焦透镜、加速管、对称静电扫描电极以及均匀磁场平行透镜，屏蔽房内设有相互隔离的第一腔室和第二腔室，第一腔室内设有高压仓，第二腔室内设有靶室，离子源、引出电极、分析器、及分析光栏设于高压仓内，加速管设于第一腔室内，高压仓上设有供离子束进入加速管的第一出口，第一腔室上设有供离子束进入对称静电扫描电极的第二出口，对称静电扫描电极和均匀磁场平行透镜设于第二腔室内，靶室内设有靶台、定向台、片库以及至少一个用于传递晶圆的机械手，靶室上设有供离子束注入靶台上晶圆的注入口。本发明具有结构简单、成本低、便于实现高能高精度注入等优点。
一种离子注入装置

[实用新型]生物柴油生产中罗茨真空泵清洗装置-CN202222646102.3有效
发明人：叶活动;李兆锋;王庆源;吴荣水;钟新华 -专利权人：龙岩卓越新能源股份有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种生物柴油生产中罗茨真空泵清洗装置，它包括两台串联连接的罗茨真空泵、过滤器、卧式罐、离心泵和液环泵；1号罗茨真空泵上部入口装三通，该三通的上开口连接带抽真空阀的真空管，该三通的水平开口连接带阀门的清洗管道；两台罗茨真空泵的底部出口管道在分别连接泵出口阀后汇合，管道汇合后连接过滤器入口，过滤器的出口管道从顶部伸入卧式罐内且靠近罐底；卧式罐的水平中部出口在连接离心泵进口阀后接离心泵；离心泵的出口在连接压力表和离心泵出口阀后与所述清洗管道的阀门连接；2号罗茨真空泵还安装有带液环阀的液环泵。本实用新型结构简单紧凑、操作方便高效、制作维护成本低、清洗效果好、无环境污染。
生物柴油生产中罗茨真空泵清洗装置

[实用新型]生物柴油蒸馏塔自回流装置-CN202222349292.2有效
发明人：叶活动;钟新华;王庆源;吴荣水;李兆锋 -专利权人：龙岩卓越新能源股份有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B01D3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种生物柴油蒸馏塔自回流装置：生物柴油蒸馏塔内自上而下设有冷却器、引流装置、接料盘、溢流管、回流分布装置上层、回流分布装置下层和304不锈钢填料；溢流管下部呈折弯形，该溢流管采用倾斜安装以实现自流，上部入口安装在接料盘的凸起侧壁上部，溢流管的下部出口垂直伸入回流分布装置上层的凹槽内，使流入回流分布装置上层凹槽内的生物柴油均匀向凹槽两端分流；所述生物柴油蒸馏塔的顶部设有尾气排出口，底部设有杂质出料口，下部侧面设有生物柴油气体进料口；位于接料盘的塔侧壁设有带304不锈钢球阀的出料管，该出料管连接成品接收槽。本实用新型结构简单紧凑、操作方便高效、回流效果好、制作维护与生产成本低。
生物柴油蒸馏回流装置

[实用新型]一种X射线衍射薄膜样品台-CN202221980464.X有效
发明人：饶华商;张桂芝;钟新华;潘振晓 -专利权人：华南农业大学
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： G01N23/20025 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种X射线衍射薄膜样品台，包括样品基准支架、样品上支架、样品下支架和固定机构；样品基准支架的上表面与样品上支架的下表面固定连接，下表面与样品下支架固定连接；样品基准支架上设有基准通孔；样品上支架上设有上支架通孔，上支架通孔的尺寸小于基准通孔；样品下支架底部安装有固定机构，固定机构用于将样品压紧在基准通孔内。本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷和不足，提供了一种X射线衍射薄膜样品台，提高薄膜样品的测试精度。
一种射线衍射薄膜样品

[发明专利]反应腔内外延片测温方法、装置、电子设备及存储介质-CN202211005536.3在审
发明人：盛飞龙;钟新华;唐卓睿;徐俊;仇礼钦;谢利华 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种反应腔内外延片测温方法、装置、电子设备及存储介质；该方法包括：将热电偶温度计充当外延片放置于反应腔内的衬底托盘上，也将钨铼热电偶放在反应腔内，在预设的第一加热温度范围内获取钨铼热电偶与热电偶温度计之间的温度变换关系，即是获得钨铼热电偶与外延片实际温度之间的变换关系；在外延反应过程中，根据钨铼热电偶和测温探头测取的温度、以及钨铼热电偶与热电偶温度计之间的温度变换关系，换算得到关于外延片实际温度与测温设备所测取的温度之间的变换关系；在实际反应中，只需根据测温探头测得的温度，即可获得外延片的实际温度；该方法简单，实用，可直接获取到外延片的实际温度。
反应外延测温方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种反应室温度测量系统、方法、装置及温度调节方法-CN202110938495.2有效
发明人：盛飞龙;钟新华;胡承;吴帆;戴科峰;唐卓睿 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明涉及温度测量技术领域，具体公开了一种反应室温度测量系统、方法、装置及温度调节方法，系统用于测量反应室内高温工况下的温度分布情况，包括：反应室，其外壁设有一测温口；测温器，用于测量反应室内温度情况，与测温口摆动连接；摆动驱动器，用于驱动测温器在测温口内摆动；控制器，用于控制摆动驱动器运行使测温器在测温口中摆动以获取反应室内不同位置的温度信息，控制器根据不同位置的温度信息绘制热场曲线。该系统仅需在反应室外壁设置一测温口安装测温器便可进行区域化测温，避免反应室开设过多测温孔导致反应室中热量散失，并能基于温度信息绘制热场曲线，为反应室内温度工况分析、调节提供数据基础。
一种反应温度测量系统方法装置调节

[实用新型]一种闭式水冷电机循环冷却装置-CN202220463464.6有效
发明人：罗辉虎;何登学;钟新华;吴立军;任维;张智;李鸿 -专利权人：长沙供水有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H02K9/193 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种闭式水冷电机循环冷却装置，包括高位补水箱、与所述高位补水箱的出水端连接并用于对电机进行冷却的空‑水冷却器、与所述空‑水冷却器的出水端连接的换热器、与所述换热器的出水端连接的循环管道泵、与所述换热器的进水端连接的除污罐以及与所述除污罐的进水端连接的管道泵，所述循环管道泵的出水端与所述空‑水冷却器的进水端连接，所述管道泵的进水端与外部水源连接，所述换热器的出水端还与所述外部水源连接。本实用新型的有益效果：将开式系统改造为闭式系统，极大的降低了运行能耗，提高能量利用率，大幅度减少使用成本；将冷却水有效循环使用，解决了传统开式系统冷却水的排放和再利用问题，节省了水资源。
一种水冷电机循环冷却装置

[实用新型]一种用于SiC高温离子注入的旋转加热靶及离子注入机-CN202220154541.X有效
发明人：王慧勇;钟新华;伍三忠;赵海英;盛飞龙 -专利权人：季华恒一（佛山）半导体科技有限公司
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种用于SiC高温离子注入的旋转加热靶及离子注入机，用于对衬底进行离子注入工艺，所述旋转加热靶包括基板，所述基板上周向设置有多个用于安装衬底托盘的加热靶座，所述基板上设置有用于带动所述基板旋转的旋转轴，本方案通过设计一种多面式旋转加热靶实现多面衬底同时进行离子注入工艺并提高工艺的稳定性和均匀性，且该旋转加热靶可适用于原有的离子注入机，大大降低成本。
一种用于 sic 高温离子注入旋转加热

[外观设计]腰背按摩器-CN202130800831.8有效
发明人： 钟新华;钟建成 -专利权人： 钟新华
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： 28-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：腰背按摩器。2.本外观设计产品的用途：用于一种腰背按摩器。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
腰背按摩

[发明专利]一种适用于微纳器件制造的离子注入机-CN201711269543.3有效
发明人：袁卫华;彭立波;孙雪平;易文杰;钟新华;程文进;胡振东;王迪平 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2017-12-05 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于微纳器件制造的离子注入机，包括依次相连的离子源、质量分析器、束流聚焦电透镜系统、束流静电扫描系统及载片腔室，还包括用于调节束斑形状和和束流大小的光阑组件、以及用于点注入的点注入掩膜板，所述光阑组件包括设于离子源和质量分析器之间的可调光阑、设于质量分析器和束流聚焦电透镜系统之间的限束光阑以及设于束流静电扫描系统和载片腔室之间的终端注入光阑，所述点注入掩膜板位于载片腔室内，所述终端注入光阑和所述点注入掩膜板上开设点注入微孔。本发明具有可简化工艺过程，能够实现微米级的低剂量、高精度注入等优点。
一种适用于器件制造离子注入

[发明专利]一种多维静电扫描系统及离子注入系统-CN201711349060.4有效
发明人：袁卫华;彭立波;孙雪平;易文杰;钟新华;程文进;王迪平;胡振东 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明涉及一种多维静电扫描系统，包括对称的扫描电极一和非对称的扫描电极二，且所述对称的扫描电极一与非对称的扫描电极二的扫描方向相互垂直，所述对称的扫描电极一包括对称布置的扫描板一和二，所述扫描板一、二之间的电场至少部分分布不均匀；所述非对称的扫描电极二包括相对布置的扫描板三和扫描板四，所述扫描板三呈平板状，所述扫描板四包括扫描前段和扫描后段，所述扫描板四的所述扫描前段与所述扫描板三平行，所述扫描板四的所述扫描后段相对于所述扫描前段呈远离所述离子束的方向往外折弯。本发明还涉及一种基于上述多维静电扫描系统的离子注入系统。本发明具有能够在除去离子束中的中性粒子的同时提高离子注入角度一致性的优点。
一种多维静电扫描系统离子注入

[发明专利]一种用于金属加工的垫圈内孔磨削装置-CN202011006804.4有效
发明人： 钟新华 -专利权人：湖南德匠金属制品有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： B24B5/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于金属加工的垫圈内孔磨削装置，包括基座、加工板和辅助稳固装置，本发明通过在加工板顶部前端中部安装有辅助稳固装置，辅助稳固装置内安装有夹紧机构能对工件进行稳定的夹紧，来进行稳定的磨削，并且在装置内安装有转动机构，在转动机构传动下使得工件进行多角度调节，方便在不取下工件的情况下供人工进行表面处理，提高了工作的效率；在辅助稳固装置内安装有转动机构，转动机构内具有间歇转动机构，在传动时使得工件进行稳定的角度调节，调节效果好，效率高；在辅助稳固装置内安装的支柱通过底部的滑块即可在滑轨上进行调节位置，并且支柱上端连接的固定夹能在支柱上进行左右位置以及上下位置的调节。
一种用于金属加工垫圈磨削装置

[实用新型]一种挂窗通道梯-CN202120164364.9有效
发明人：何志华;陶维;王文凯;刘宇;王继永;胡杨勇;钟新华;李建军;王宁基;周尧;旷山;程建华;彭智良;赵亮亮;张广志;吴天;范泽琪 -专利权人：中建三局第二建设工程有限责任公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： E06C9/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种挂窗通道梯，包括两个挂接机构、户内固定支架、直梯及两个折叠踏板机构；挂接机构包括插杆、支撑杆及止回组件，插杆的一端滑动插设于支撑杆内，支撑杆穿过窗口且与窗台抵接，止回组件防止插杆在支撑杆内滑动；户内固定支架防止该挂窗通道梯整体倾斜；直梯包括两根梯梁与梯级，梯梁与支撑杆固定连接，两根梯梁间设有若干梯级；折叠踏板机构包括踏板本体及折叠组件，踏板本体一端与梯梁的侧面的底部铰接，折叠组件使得踏板本体与梯梁的侧面贴合及沿梯梁的侧面的底部展开。可通过上述挂窗通道梯直接到达安装平台上，行进过程安全，减少了作业时间，提高了效率；折叠踏板机构可收折踏板本体，方便运输及使用。
一种通道

1
2
3
4
5
6
7
8
9
下一页»
尾页
共 121 条