[发明专利]一种批量硅片导向装置无效
| 申请号： | 201210118107.7 | 申请日： | 2012-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN102651427A | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 许波涛;钟新华;龙会跃 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 批量 硅片 导向 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种批量硅片导向装置，包括可以上下升降的底导向板(1)，其特征是，每个所述底导向板(1)的两侧上方均设有侧面导向板(4)，该侧面导向板(4)与可驱动侧面导向板(4)在两侧面导向板之间作往复直线运动的侧面导向板驱动机构(3)相连。
2.根据权利要求1所述的批量硅片导向装置，其特征是，所述底导向板(1)和侧面导向板(4)均采用不会污染硅片的材料，且该底导向板(1)和侧面导向板(4)的上面都均匀分布多条导向槽。
3.根据权利要求2所述的批量硅片导向装置，其特征是，所述底导向板(1)的导向槽为V形槽。
4.根据权利要求2所述的批量硅片导向装置，其特征是，所述侧面导向板(4)的导向槽为梯形槽。
5.根据权利要求2所述的批量硅片导向装置，其特征是，所述底导向板(1)和侧面导向板(4)的导向槽与竖直方向呈3°角。
6.根据权利要求1所述的批量硅片导向装置，其特征是，所述底导向板(1)与可驱动底导向板(1)作升降运动的底导向板驱动机构(2)相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
