[发明专利]一种批量硅片导向装置无效
申请号: | 201210118107.7 | 申请日: | 2012-04-21 |
公开(公告)号: | CN102651427A | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 许波涛;钟新华;龙会跃 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 批量 硅片 导向 装置 | ||
技术领域
本发明涉及太阳能光伏装备领域,具体为一种批量硅片导向装置,特别适合太阳能光伏装备中的石英舟自动装卸片设备。
背景技术
太阳能电池片制造过程中,需要将制绒后的太阳能硅片从花篮盒里取出然后背靠背装入到石英舟中。国内目前已有的生产线中大多数采用人工装片方式,碎片率高、对硅片造成的污染几率高。
近几年来,也出现了石英舟自动装卸片设备,自动装卸片设备采用代替人工操作,减少手工跟硅片的接触,避免了人为因素对硅片的污染,可以说,石英舟自动装卸片设备有益于提高太阳能电池片成品率和转换率,同时可以提高生产效率。
为了提高生产效率,石英舟自动装卸片设备需要采用批量硅片搬运,通常石英舟自动装卸片设备中,硅片导向采用底导向板实现定位,通过底导向板上分布的槽实现。这种导向装置为一维导向,在导向过程中易受到外界影响,导向性差,因此必须设计更可靠、更有效的批量硅片导向装置,否则无法实现有效可靠的硅片搬运。
发明内容
现有的石英舟自动装卸片设备中,硅片导向采用底导向板实现定位,通过底导向板上组合分布的槽实现,加工、安装精度要求高且易受到外界影响,,本发明旨在提供一种批量硅片导向装置,该导向装置通过两个方向联合运动,可实现自动取片过程中的批量硅片导向,提升整个石英舟自动装卸片设备的可靠性,同时降低成本。
为了实现上述目的,本发明所采用的技术方案是:
一种批量硅片导向装置,包括可以上下升降的底导向板,其结构特点是,每个所述底导向板的两侧上方均设有侧面导向板,该侧面导向板与可驱动侧面导向板在两侧面导向板之间作往复直线运动的侧面导向板驱动机构相连。
为了更加精确地实现导向,所述底导向板和侧面导向板上均设有多条导向槽,槽的数量根据硅片盒的规格而定。
作为一种具体方案,所述底导向板的导向槽为V形槽。
所述侧面导向板的导向槽优选为梯形槽。
进一步地,所述底导向板和侧面导向板的导向槽与竖直方向呈3°角,与当前所用石英舟槽的角度一致。
作为一种实现底导向板作升降运动的具体方式,所述底导向板与可驱动底导向板作升降运动的底导向板驱动机构相连。
藉由上述结构,本发明是通过底导向板和侧面导向板联合运动来实现的,其主要由底导向板、侧面导向板和相应的驱动机构组成,底导向板上面均匀分布带V形开口的槽,侧面导向板上面均匀分布梯形开口的槽。底导向板驱动机构驱动底导向板平稳上升,硅片盒中的硅片先进入底导向板的导向槽中,底导向板继续上升将硅片盒中的硅片托起并送入侧面导向板形成的导向槽中,然后通过侧面导向板驱动机构调节侧面导向板,使所有硅片对齐并保持同等的间隙。
本发明中,底导向板可以是一个也可以是两个分开组合使用,两个侧面导向板对应一个底导向板。底导向板上优选均匀分布带V形开口的槽,槽的数量根据硅片盒的规格而定,同时采用不会污染硅片的材料。侧面导向板上优选均匀分布梯形开口的槽,同时采用不会污染硅片的材料,两个侧面导向板是对称的,组合使用。
底导向板和侧面导向板从侧面看,安装后均与水平优选成3度角倾斜,即底导向板和侧面导向板上的每个导向槽的中心面均与垂直方向成3度角倾斜。
底导向板和侧面导向板均通过相应的驱动机构调整位置,可以精确调整导向位置和适应各种规格硅片。
与现有技术相比,本发明的有益结果是:通过本发明的二维导向装置,在硅片导向过程中不易受外部因素的影响,导向更精确可靠,同时大大减少零件加工和安装难度,降低了设备生产成本。
以下结合附图和实施例对本发明作进一步阐述。
附图说明
图1是本发明一种实施例的结构示意图;
图2是本发明所述侧面导向板分开使用时的结构示意图。
在图中
1-底导向板;2-底导向板驱动机构;3-侧面导向板驱动机构;
4-侧面导向板。
具体实施方式
一种批量硅片导向装置,如图1所示,由底导向板1、底导向板驱动机构2、侧面导向板驱动机构3、侧面导向板4组成。从侧面看,底导向板1和侧面导向板4安装后均与水平成3度角倾斜。硅片装在硅片盒5中,当硅片盒5运动到底导向板1上方时,底导向板驱动机构2驱动底导向板1平稳上升,硅片盒中的硅片先进入底导向板1的导向槽中,底导向板1继续上升将硅片盒5中的硅片托起并送入侧面导向板4形成的导向槽中,然后通过侧面导向板驱动机构3侧方向调节侧面导向板4,使所有硅片对齐并保持同等的间隙,从而实现了批量硅片导向功能。图1所示底导向板1是两个分开组合使用的情况。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的