[发明专利]一种蒸镀用掩模板及其制作工艺有效
| 申请号： | 201210010754.6 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205695A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;赵录军;孙倩;郑庆靓 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种蒸镀用掩模板及其制作工艺，所述制作工艺包括如下步骤：设置基板；在基板的一面依次电铸至少两层掩模板层，各掩模板层设有开口，掩模板层开口的尺寸随着掩模板层与基板的距离扩大而变大。多层开口排列在一起，大致呈锥形。通过本发明提出的蒸镀用掩模板及其制作工艺，通过电铸多层掩模板层，提高了OLED蒸镀用掩模板的位置精度；提高了OLED蒸镀用掩模板开口尺寸的精度；能够任意控制上下开口的角度，以满足蒸镀要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀用掩 模板 及其 制作 工艺 | ||
【主权项】：
一种蒸镀用掩模板的制作工艺，其特征在于，包括如下步骤：设置基板；在基板的一面依次电铸至少两层掩模板层，各掩模板层设有开口，掩模板层开口的尺寸随着掩模板层与基板的距离扩大而变大。
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