[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201210004871.1 | 申请日: | 2007-07-20 |
公开(公告)号: | CN102522373A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 佐藤瑞季 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 王以平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明的目的在于提供一种半导体装置,在形成在相邻的像素电极(或元件的电极)之间的布线下方形成具有多栅结构的TFT的沟道形成区域。另外,将多个沟道形成区域的沟道宽度的方向设定为与在所述像素电极形状中的长边方向平行。另外,通过使沟道宽度的长度大于沟道长度的长度,来扩大沟道形成区域的面积。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,包括:衬底;在所述衬底上彼此相邻的多个像素电极;在所述衬底上的薄膜晶体管,该薄膜晶体管包括:第一沟道形成区域和第二沟道形成区域;在所述薄膜晶体管上的绝缘层;以及在所述绝缘层上且在所述多个像素电极之间的电源供给线,其中,所述电源供给线与所述第一沟道形成区域和所述第二沟道形成区域重叠。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造