[发明专利]力学传感器有效
| 申请号： | 201180026272.3 | 申请日： | 2011-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102918401A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 吉田和广;浜村宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;B81B3/00;H01L29/84 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 袁伟东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种能够更可靠地检测所涉及的力产生的物理量的力学传感器。力学传感器(10)具备俯视下为H型的重物(11)。重物(11)一体形成有长方体形状且在短边方向上以规定间隔排列的第一部分重物(11A)、第二部分重物(11B)、以及将它们连接且沿着上述排列方向延伸的桥接部(11C)。桥接部(11C)在第一、第二部分重物(11A、11B)的长边方向的中央位置将它们连接。在第一、第二部分重物(11A、11B)之间的未形成桥接部(11C)的区域配置支撑体(12A、12B)。第一部分重物(11A)通过梁(13A)与支撑体(12A)连接，并通过梁(13C)与支撑体(12B)连接。第二部分重物(11B)通过梁(13B)与支撑体(12A)连接，并通过梁(13D)与支撑体(12B)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 力学 传感器 | ||
【主权项】：
一种力学传感器，其通过使用梁，将重物相对于支撑体支撑为能够摆动，并通过设置在所述梁上的多个压电电阻元件来检测因该摆动而在所述梁上产生的应力，从而对基于所涉及的力而产生的规定的物理量进行检测，所述力学传感器的特征在于，所述重物包括：沿着第一轴方向排列，且分别由大致长方体形状构成的第一部分重物及第二部分重物；以及在与所述第一轴方向正交的第二轴方向上配设在所述第一部分重物及所述第二部分重物的大致中央，且将所述第一部分重物和所述第二部分重物连接的桥接部，所述支撑体沿着所述第二轴方向将所述重物的所述桥接部夹在中间，且从所述重物离开而配设，所述梁由在沿着所述第二轴方向的所述桥接部的两侧的位置处沿着所述第一轴方向将所述第一部分重物部和所述支撑体连接且将所述第二部分重物部和所述支撑体连接的形状构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201180026272.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 一种加速度计、环境传感器的集成芯片及其制造方法-201910562061.X
- 李向光;付博;方华斌 - 歌尔股份有限公司
- 2019-06-26 - 2019-10-18 - G01P15/12
- 本发明公开了一种加速度计、环境传感器的集成芯片，包括支撑部，以及通过悬臂梁连接在所述支撑部上的质量块；在悬臂梁上设置有第一压敏电阻；第一压敏电阻被配置为检测质量块在受到加速度影响时悬臂梁的形变程度；质量块上具有凹槽；还包括设置在质量块上且覆盖所述凹槽的敏感膜；在敏感膜上设置有第二压敏电阻；第二压敏电阻被配置为检测敏感膜受到环境变化发生形变的程度。根据本公开的一个实施例，将加速度计和环境传感器集成在同一芯片内，可以大大降低了芯片占用的空间，利于电子器件的小型化发展。
- 一种MEMS直拉直压式两轴加速度计芯片及其制备方法-201710916278.7
- 赵立波;于明智;蒋维乐;贾琛;李支康;王久洪;赵玉龙;蒋庄德 - 西安交通大学
- 2017-09-30 - 2019-10-11 - G01P15/12
- 本发明公开了一种MEMS直拉直压式两轴加速度计芯片及其制备方法，加速度计芯片采用SOI硅片制造，由四个相同的传感器子单元绕芯片中心旋转布置而成，每个子单元包括质量块、支撑梁、敏感梁、铰链梁、导线和焊盘，质量块通过支撑梁与芯片外框连接，两质量块通过铰链梁连接，两根敏感梁对称分布于铰链梁两侧，导线与焊盘连接组成半开环惠斯通全桥电路；芯片外框键合于底层玻璃板上。一组传感器子单元为一组测量x方向的加速度，另一组测量y方向的加速度。该加速度计芯片能够实现100g以下两轴加速度的分离测量，其固有频率大于25kHz，在无放大条件下灵敏度大于0.9mV/g/3V，具有良好的性能。
- 一种MEMS压阻式两轴加速度传感器芯片及其制备方法-201710919747.0
- 蒋维乐;于明智;赵立波;贾琛;李支康;王久洪;赵玉龙;蒋庄德 - 西安交通大学
- 2017-09-30 - 2019-10-11 - G01P15/12
- 本发明公开了一种MEMS压阻式两轴加速度传感器芯片及其制备方法，包括四组相同的子结构，四个子结构均匀对称分布于固定岛周围。固定岛与质量块之间通过内支撑梁连接，质量块与外框之间通过外支撑梁连接。敏感梁对称分布于外支撑梁两侧，敏感梁的一端与质量块的一端连接，另一端与外框连接。关于固定岛相对的两组子结构为一组，构成了测量一个加速度方向的完整工作结构两组子结构能够分别测量X轴和Y轴方向的加速度。每个子结构的两个敏感梁上具有压敏电阻，并通过金属引线和焊盘连接组成半开环惠斯通全桥电路。该传感器芯片可实现200g以下两轴加速度的分离测量，固有频率达到20kHz以上，灵敏度大于0.5mV/g/3V，具有较高的谐振频率和灵敏度。
- 多梁式单质量块面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法-201710938806.9
- 赵立波;贾琛;蒋维乐;于明智;李支康;王久洪;赵玉龙;蒋庄德 - 西安交通大学
- 2017-09-30 - 2019-10-11 - G01P15/12
- 本发明公开多梁式单质量块面内双轴MEMS压阻式加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片采用SOI硅片制造，包括芯片外框架、主支撑梁、连接梁、副支撑梁、敏感压阻微梁、质量块以及金属引线和焊盘。主支撑梁一端固定于芯片外框架，另一端与连接梁相连，连接梁的另一端与副支撑梁连接，副支撑梁的另一端与质量块相连。芯片中八个敏感压阻微梁位于芯片外框架与连接梁之间的间隙，两两对称分布在主支撑梁两侧，并且一端固定于芯片外框架，另一端与连接梁相连；八个敏感压阻微梁上的压敏电阻通过金属引线和十六个焊盘相连并组成惠斯通全桥电路。本发明传感器芯片可实现100g以下加速度的测量，固有频率达40kHz以上，满足高频低g值加速度动态测量的要求。
- 加速度传感器-201920078247.3
- 唐闻远 - 北京林业大学
- 2019-01-17 - 2019-09-17 - G01P15/12
- 一种加速度传感器，包括上平台与下平台，在上平台与下平台之间设置有弹性体，在上平台上设置有球形质量块，所述弹性体为竖梁式结构，包括弹性连接杆，所述弹性连接杆包括上连杆、下连杆以及连接上连杆和下连杆的弹性部件，上连杆的上端连接在上平台上，下连杆的下端连接在下平台上，所述弹性部件为V型件，V型件的上端与上连杆连接，下端与下连杆连接，在应力集中点粘贴应变片。在使用时，将球形质量块设置在上平台上，施加加速度时，利用应力集中法将应力集中在弹性部件上，在弹性极限范围内，增加弹性部件的峰值应力，并在应力集中处张贴电阻应变片，大幅改善测量电路 和输入信号源，提高传感器的测量精度。在超出量测时，传感器可有效保护应力集中位置。
- 加速度传感器弹性体-201920079045.0
- 唐闻远 - 北京林业大学
- 2019-01-17 - 2019-09-03 - G01P15/12
- 一种加速度传感器弹性体，该弹性体设置在上平台与下平台之间，所述弹性体为竖梁式结构，包括弹性连接杆，所述弹性连接杆包括上连杆、下连杆以及连接上连杆和下连杆的弹性部件，所述弹性部件为V型件，V型件的上端与上连杆连接，下端与下连杆连接，在应力集中点粘贴应变片。本实用新型有以下技术效果：本实用新型弹性体没有铰链连接，也没有移动副设计，弹性体为竖梁式结构。在使用时，将球形质量块设置在上平台上，施加加速度时，利用应力集中法将应力集中在弹性部件上，在弹性极限范围内，增加弹性部件的峰值应力，并在应力集中处张贴电阻应变片，大幅改善测量电路和输入信号源，提高传感器的测量精度。在超出量测时，传感器可有效保护应力集中位置。
- 多轴纸基加速度传感器-201822216386.6
- 翟荣安;马海波;刘新宇;汝长海;孙钰 - 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
- 2018-12-27 - 2019-08-02 - G01P15/12
- 本实用新型公开了一种制备工艺简单、可靠性高、绿色环保以及低成本的多轴纸基加速度传感器，包括单轴纸基加速度传感器和纸基制成的安装载体；所述单轴纸基加速度传感器配置有至少两个，各所述单轴纸基加速度传感器各自独立运行；所述安装载体上配置有两轴安装部或三轴安装部，两个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述两轴安装部上；或三个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述三轴安装部上。本实用新型的多轴纸基加速度传感器，利用纸基易折叠变形的特点，能够降低制备工艺的难度，以及纸基的环保特性，相较于传统的硅基加速度传感器不影响其灵敏度的前提下降低了成本，同时不会对环境造成污染，绿色环保。
- 一种十字变形梁结构的高g值加速度计芯片及其制备方法-201910304166.5
- 赵玉龙;张凯;王永录;李村;徐瀚洋;杨鑫婉 - 西安交通大学
- 2019-04-16 - 2019-07-23 - G01P15/12
- 一种十字变形梁结构的高g值加速度计芯片及其制备方法，芯片包括硅基底，硅基底下方设有玻璃衬底，硅基底上面中心设有十字变形梁，十字变形梁和硅基底之间设有梁释放孔，十字变形梁的四条固支端宽度小于其中间部分宽度，十字变形梁的两条相对固支端上分别设置有两条压敏电阻，四条压敏电阻的两端布置有重掺杂的欧姆接触区，欧姆接触区通过金属引线和金属焊盘连接，四条压敏电阻连接构成惠斯通电桥输出信号；制备方法通过干法刻蚀工艺制备不同宽度的十字变形梁，同时背腔采用湿法腐蚀工艺可以制备不同厚度的十字变形梁；本发明将压阻式敏感方式和十字梁变形结构相结合，极大提高了传感器的量程、频响、灵敏度以及过载能力，其量程可达15万g。
- 一种含有自检测功能的面内压阻式加速度传感器及其制造方法-201610589538.X
- 周志健;朱二辉;陈磊;杨力建;邝国华 - 广东合微集成电路技术有限公司
- 2016-07-26 - 2019-06-21 - G01P15/12
- 本发明提供了一种含有自检测功能的面内压阻式加速度传感器，基于SOI晶圆制作，所述的SOI晶圆依次设置有衬底、中间氧化层、器件层，采用侧面掺杂，在加速度传感器的部分悬臂梁侧壁形成压阻条，部分悬臂梁侧壁形成自检测电极；侧壁形成的压阻条可以减小轴向串扰，自检测的方式是利用静电力模拟加速度输入引起的加速度传感器悬臂梁产生的形变，从而检测加速度传感器的性能，检测方式完全与IC检测探针台兼容。采用正面释放加速度传感器，加工一致性高，器件面积小。本发明还提供了一种含有自检测功能的面内压阻式加速度传感器的制作方法，实现可以进行晶圆级自检测的面内压阻式加速度传感器的结构与加工工艺。
- 带超量程保护的高g值三轴集成式加速度传感器-201710123219.4
- 马少杰;陈宏亮;王晓东;李飞胤 - 苏州戎维邦信息技术有限公司
- 2017-03-03 - 2019-06-11 - G01P15/12
- 本发明公开了一种带超量程保护的高g值三轴集成加速度传感器，包括分别测量X、Y、Z三个方向加速度信号的检测单元。其中X和Y方向加速度检测单元结构相同，都包括硅框架、质量块、主悬臂梁、敏感梁、基准电阻、压敏电阻、敏感方向超量程保护曲面，它们在平面内相互垂直布置。Z方向加速度检测单元位于Y方向检测单元右侧，包括敏感方向超量程保护曲面、“人”字型悬臂梁、质量块、基准电阻、压敏电阻。该传感器具有抗过载保护，轴间耦合度小，灵敏度较大，体积较小和易于集成特点。
- 一种基于压阻效应的自供电加速度传感器及其制造方法-201710035266.3
- 尤政;戴可人;王晓峰 - 清华大学
- 2017-01-18 - 2019-06-04 - G01P15/12
- 本发明公开了属于加速度传感器领域的一种基于压阻效应的自供电加速度传感器及其制造方法。该自供电加速度传感器采用叠层式结构，依次叠放集流体‑正电极‑隔膜‑负电极‑集流体。该自供电加速度传感器通过复合材料电极薄膜的压阻效应实现加速度冲击信号的传感。本发明的集流体采用钛等金属材料，通过激光焊接完成极针与集流体的可靠连接。多孔电极的制备采用干法工艺，通过聚四氟乙烯与碳材料的复合制备具有压阻特性的电极材料。该自供电加速度传感器采用柔性封装结构和工艺，采用层间气密封装和柔性树脂胶灌封将器件封装在金属或塑料外壳中。本发明解决了高g加速度信号的自供电传感问题，在汽车工业、航空航天和武器装备领域具有广阔应用潜力。
- 一种热膨胀式流体三轴加速度计-201821769469.1
- 朴然 - 朴然
- 2018-10-30 - 2019-05-31 - G01P15/12
- 本实用新型涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体三轴加速度计。该热膨胀式流体三轴加速度计采用方形结构嵌套的检测层，方形结构嵌套包括外方形结构和内方形结构，外方形结构上设置有绝缘子接线柱以及悬置于绝缘子接线柱上的金属电阻桥热敏丝；内方形结构上设置有绝缘子接线柱以及分别悬置于绝缘子接线柱上的金属电阻桥加热丝、金属电阻桥热敏丝，上密封层与下密封层组成密闭腔体，并配合相应的检测和处理信号电路，可实现三轴加速度的同时检测，因此实现了热膨胀式流体加速度计的多自由度测量。另外，该加速度计具有结构简单，制作和装配方便，成本低，功耗低，抗冲击能力强，寿命长的特点。
- 一种基于SOI隔离技术的强过载压阻式加速度传感器-201821861761.6
- 付文婷;郝兵;尹自强;关山飞;张可;肖峰 - 中国电子科技集团公司第四十七研究所
- 2018-11-13 - 2019-05-31 - G01P15/12
- 本实用新型涉及一种基于SOI隔离技术的强过载压阻式加速度传感器，包括：基座；敏感芯片，设置于基座正面，所述敏感芯片，设置于芯片外框中，且由上下两片SOI片压合而成，其中，上片SOI片，包括上片器件敏感层Si层，所述器件敏感层的下层为上片SiO2层；下片SOI片，从上向下依次包括下片器件层Si层、下片绝缘层SiO2层和下片支撑层Si层。本加速度传感器衬底采用SOI隔离技术，可扩大传感器使用温区，尤其在高温环境下传感器性能良好。通过键合方式使传感器结构具有主从梁结构，提高了传感器的稳定性、灵敏性以及高过载能力。采用双惠斯通电桥设计方式可以有效减少零点失调，提高测量精度。
- 低轴间耦合度的八梁三轴加速度传感器-201710350327.5
- 张文栋;宋金龙;何常德;薛晨阳 - 中北大学
- 2017-05-18 - 2019-04-19 - G01P15/12
- 本发明公开了一种低轴间耦合度的八梁三轴加速度传感器，包括边框（1），所述边框（1）中部设有敏感质量块（2），所述敏感质量块（2）每边通过两个平行的矩形梁（3）与边框（1）连接；具体为，所述敏感质量块（2）右边通过梁L1和梁L2与边框（1）连接、其上边通过梁L3和梁L4与边框（1）连接、其左边通过梁L5和梁L6与边框（1）连接、其下边通过梁L7和梁L8与边框（1）连接。本发明通过合理的增加压敏电阻的数量并正确的布置压敏电阻的位置，解决了梁结构压阻式加速度传感器结构上必然导致轴间耦合度大的难题，有效降低了传感器的轴间耦合度。
- 一种简易的三轴MEMS加速度传感器-201811541155.0
- 王鹏;杨帆;王楠;梁应选;王明武;陈曼龙 - 陕西理工大学
- 2018-12-17 - 2019-04-09 - G01P15/12
- 本发明涉及一种简易的三轴MEMS加速度传感器，包括数个传感器，三维坐标系的三个方向上分别设置一个具有面内多梁结构的加速度传感器，坐标轴上的传感器在工作时互相之间不会产生干扰，可以有效地保障三个方向上的测量灵敏度和固有频率，提高测量的精度。
- 一种基于巨磁电阻效应的差分式单轴MEMS加速度计-201611032186.4
- 杨先卫;潘礼庆;王超;罗志会;谭超;刘敏;朴红光;鲁广铎;许云丽;黄秀峰;郑胜;赵华;张超 - 三峡大学
- 2016-11-22 - 2019-04-09 - G01P15/12
- 本发明公开了一种基于巨磁电阻效应的差分式单轴MEMS加速度计，包括：晶圆外框，包括相互垂直的横框和竖框，竖框设于横框的竖直中心线上，将横框一侧所在平面划分成两个区域；磁源，固定设于竖框上；两个检验质量块，分别设于两个所述区域内，且每一所述检验质量块由一垂直设于所述横框上的支撑梁支撑；两个巨磁阻芯片，分别安装于两个检验质量块上，且两个巨磁阻芯片对称设置于磁源两侧，巨磁阻芯片的中心点到横框的距离与磁源的中心点到横框的距离相等，巨磁阻芯片的磁敏感方向与磁源的磁矩方向相同，且检验质量块在加速度作用下的位移方向与磁矩方向在同一直线上。该基于巨磁电阻效应的差分式单轴MEMS加速度计具有精度高、测量范围大的优点。
- 一种压阻式加速度传感器及其制造方法-201410427402.X
- 陈超;赵源;王涛;张龙;胡晓;马家锋 - 电子科技大学
- 2014-08-27 - 2019-04-05 - G01P15/12
- 本发明提供了一种压阻式加速度传感器及其制造方法，属于传感器领域的加速度传感器装置。包括支撑边框1、弹性悬梁臂2、压敏电阻3、质量块4、玻璃基底6和玻璃盖板7，其特征在于，所述弹性悬梁臂2为蛇形的弹性悬梁臂，所述质量块上设有阵列排布的阻尼孔5。本发明压阻式加速度传感器中的弹性悬梁臂采用蛇形结构，可以使弹性悬梁臂的梁的长度更长，对加速度的响应更灵敏，可以有效增加传感器的灵敏度；质量块上设有阻尼孔，能有效降低空气阻力的影响，保证精确度，同时使传感器对于封装的真空度要求降低，降低生产成本。
- 多轴纸基加速度传感器及其制备方法-201811613358.6
- 翟荣安;马海波;刘新宇;汝长海;孙钰 - 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
- 2018-12-27 - 2019-03-15 - G01P15/12
- 本发明公开了一种制备工艺简单、可靠性高、绿色环保以及低成本的多轴纸基加速度传感器，包括单轴纸基加速度传感器和纸基制成的安装载体；所述单轴纸基加速度传感器配置有至少两个，各所述单轴纸基加速度传感器各自独立运行；所述安装载体上配置有两轴安装部或三轴安装部，两个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述两轴安装部上；或三个所述单轴纸基加速度传感器固定在所述三轴安装部上。本发明的多轴纸基加速度传感器，利用纸基易折叠变形的特点，能够降低制备工艺的难度，以及纸基的环保特性，相较于传统的硅基加速度传感器不影响其灵敏度的前提下降低了成本，同时不会对环境造成污染，绿色环保。
- 一种压阻式加速度传感器及其制作方法-201410815643.1
- 杨恒;周伟;李昕欣;吴紫峰;田雷;海涛;金建东;刘智辉 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 2014-12-19 - 2019-02-22 - G01P15/12
- 本发明提供一种压阻式加速度传感器及其制作方法，该传感器的改进点在于敏感结构部分，敏感结构中的质量块左右两侧对称设有相互独立的各四个敏感梁，每个敏感梁上设一个力敏电阻；四个敏感梁的两侧各设一个用于支撑质量块的支撑梁，将力敏电阻制作在独立的敏感梁上可减小敏感梁的宽度，从而显著减小敏感梁对结构倔强系数的影响，获得高灵敏度和高优值；敏感梁靠近质量块中线位置，其挠曲较小，可减小旁轴灵敏度。支撑梁靠近质量块边缘，其力臂长，可更好地抑制旁轴加速度引起的质量块扭转。支撑梁上表面较低，表面无氧化层，可减小氧化层应力引起的结构挠曲。敏感梁厚度大于支撑梁，可实现应力集中，从而提高灵敏度和优值。
- 一种基于各向异性磁电阻效应的单轴MEMS加速度计-201611031239.0
- 杨先卫;潘礼庆;王超;罗志会;谭超;刘敏;朴红光;鲁广铎;许云丽;黄秀峰;郑胜;赵华;张超 - 三峡大学
- 2016-11-22 - 2019-02-05 - G01P15/12
- 本发明公开一种基于各向异性磁电阻效应的单轴MEMS加速度计，所述单轴MEMS加速度计包括：晶圆框体，所述晶圆框体的内部空间为封闭的框室；支撑梁，所述支撑梁设置于所述框室内，且所述支撑梁的一端连接在所述框室的横框内壁上；检验质量块，所述检验质量块设置在所述支撑梁的另一端；磁源，所述磁源设置在所述框室的竖框内壁上；AMR芯片，所述AMR芯片安装于所述检验质量块上，所述AMR芯片的中心与所述磁源的中心在同一水平线上，使得所述AMR芯片的磁敏感方向与所述磁源的磁矩方向相同，且所述检验质量块的位移方向与磁矩方向在同一条直线上，以保证AMR芯片只感受到单一方向的磁场。本发明单轴MEMS加速度计可提高加速度的测量精度和测量范围。
- 一种MEMS压阻式加速度传感器及其加工方法-201510863889.0
- 周志健;朱二辉;陈磊;杨力建;邝国华 - 广东合微集成电路技术有限公司
- 2015-12-01 - 2019-02-01 - G01P15/12
- 本发明公开一种MEMS压阻式加速度传感器，包括衬底硅以及用于形成加速度传感器的顶层硅，所述衬底硅与所述顶层硅相对绝缘设置，所述顶层硅远离所述衬底硅的一侧为晶圆表面，所述晶圆表面并位于所述加速度传感器外部设置有电隔离沟槽，在所述顶层硅上并设置有连通所述晶圆表面以及所述衬底硅的导电结构，衬底硅与加速度传感器构成机械可动电容结构；通过设计一种MEMS压阻式加速度传感器，其可以通过静电力使加速度传感器产生变形而引起压阻结构电阻值得变化，进而产生输出信号，从而实现晶圆级自检测功能，降低传感器检测成本。本发明还公开一种MEMS压阻式加速度传感器的加工方法，用于加工如上所述的MEMS压阻式加速度传感器。
- 一种基于巨磁电阻效应的单轴MEMS加速度计-201611032241.X
- 潘礼庆;杨先卫;王超;罗志会;谭超;刘敏;朴红光;鲁广铎;许云丽;黄秀峰;郑胜;赵华;张超 - 三峡大学
- 2016-11-22 - 2019-01-29 - G01P15/12
- 本发明公开了一种基于巨磁电阻效应的单轴MEMS加速度计，包括：晶圆外框，包括相互垂直的横框和竖框；磁源，固定设于所述竖框上；检验质量块，由一垂直设于所述横框上的支撑梁支撑；巨磁阻芯片，安装于所述检验质量块上，所述巨磁阻芯片的中心点到所述横框的距离与所述磁源的中心点到所述横框的距离相等，巨磁阻芯片的磁敏感方向与磁源的磁矩方向相同，且检验质量块在加速度作用下的位移方向与磁矩方向在同一直线上。该基于巨磁电阻效应的单轴MEMS加速度计具有精度高、测量范围大的优点。
- 一种热膨胀式流体三轴加速度计及其加工方法-201811275835.2
- 朴然 - 朴然
- 2018-10-30 - 2019-01-18 - G01P15/12
- 本发明涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体三轴加速度计及其加工方法。该热膨胀式流体三轴加速度计采用方形结构嵌套的检测层，方形结构嵌套包括外方形结构和内方形结构，外方形结构上设置有绝缘子接线柱以及悬置于绝缘子接线柱上的金属电阻桥热敏丝；内方形结构上设置有绝缘子接线柱以及分别悬置于绝缘子接线柱上的金属电阻桥加热丝、金属电阻桥热敏丝，上密封层与下密封层组成密闭腔体，并配合相应的检测和处理信号电路，可实现三轴加速度的同时检测，因此实现了热膨胀式流体加速度计的多自由度测量。另外，该加速度计具有结构简单，制作和装配方便，成本低，功耗低，抗冲击能力强，寿命长的特点。
- 一种加速度传感装置-201810816547.7
- 杜娟花;于健涛 - 南京雨花智高科教工作坊
- 2018-07-24 - 2018-11-23 - G01P15/12
- 本申请涉及一种加速度传感装置，其特征是：至少包括一柔性基体，柔性基体表面有应变电阻片，在应变电阻片表面有重力体，柔性基体、应变电阻片和重力体固定在壳体内，重力体在壳体内的空腔体动态移动，应变电阻片向外引出电极。它是一种工艺好、可靠性高的加速度传感器。
- 加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器结构及方法-201510056072.2
- 王家畴;李昕欣 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 2015-02-03 - 2018-04-27 - G01P15/12
- 本发明涉及一种加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器结构及方法，所述复合传感器结构包括一块单晶硅基片和均集成在单晶硅基片上的加速度传感器及压力传感器；加速度传感器与压力传感器集成于单晶硅基片的同一表面，且压力传感器悬浮在加速度传感器的质量块的中心位置，压力参考腔体直接埋在质量块内部。本发明的加速度和压力复合传感器大大降低了芯片尺寸，减少了制作成本，且与IC工艺兼容可实现大批量制作；同时，将所述压力传感器直接悬浮在质量块的中心位置，即最大程度地缩小了芯片尺寸，又有效地消除了加速度传感器与压力传感器之间检测信号的相互串扰，大大提高了复合传感器的检测精度。
- 一种六轴一体式微加速度传感器及其制作方法-201510390863.9
- 杨川;夏勇;孙文涛 - 西安交通大学
- 2015-07-06 - 2018-04-17 - G01P15/12
- 本发明公开了一种六轴一体式微加速度传感器及其制作方法，通过键合连接在一起的上、下盖板、感测芯片。所述感测芯片包括从固定外框对角线引出四根梁与中间的“小岛”相连，使得外框架中间“小岛”、外框架对角线上的梁、外框架成为一个整体—固定框架，每个惯性感测单元由惯性质量块、结构支撑梁、敏感微梁组成，所述每个惯性质量块成梯形，且其上底边中间部分有延伸向下底边的结构支撑梁；结构支撑梁的两侧，有敏感微梁将梯形惯性质量块的上底边与固定框架中间“小岛”相连。敏感微梁由于结构微小的特点，在敏感芯片加载时将会集中主要的应力，且易形成直拉直压的简单应力状态，非常有利于轴间解耦。本发明，结构简单紧凑、易加工。
- 在（100）单硅片上制作宽频带高量程加速度传感器的方法-201410562370.4
- 张鲲;李昕欣;鲍海飞;宋朝辉 - 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 2014-10-21 - 2018-03-23 - G01P15/12
- 本发明提供一种在（100）单硅片上制作宽频带高量程加速度传感器的方法，所制作的宽频带高量程加速度传感器由四个纵截面为五边形规则的作为压阻敏感电阻的微梁以及一块弹性板构成，工作时微梁仅沿硅<110>晶向产生直拉或直压的应变，使得传感器具有高的灵敏度和较高的一阶振动频率，拓宽了工作频率带宽，保证传感器在高冲击响应过程中能够测量到较宽范围的频率信号，确保测量信号准确不失真；微梁由各向异性腐蚀溶液KOH溶液腐蚀，由硅（111）晶面作为腐蚀终止面，自动终止所述微梁的腐蚀，整个过程容易控制，可以精确控制微梁的尺寸，成品率大大提高，适于批量生产；传感器的体积较小，抗冲击能力比较大，有益于生产成本的降低。
- 高输出稳定性的压阻式三轴加速度计-201711113324.6
- 张文栋;宋金龙;何常德;薛晨阳 - 中北大学
- 2017-11-13 - 2018-02-23 - G01P15/12
- 本发明公开了一种具有高输出稳定性的压阻式三轴加速度计，包括SOI基片、上玻璃盖板和下玻璃盖板，中心质量块通过八个矩形梁支撑在回形边框上。在梁上的每个压敏电阻四周都通过离子注入磷元素进行重掺杂，通过一个焊盘接入一个不低于惠斯通电桥供电电压的电势，避免了压敏电阻条的漏电现象，实现了压阻式加速度计的输出的稳定性。
- 具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片-201510352953.9
- 刘岩;王海;秦红波;谢永强 - 西安电子科技大学
- 2015-06-23 - 2018-01-19 - G01P15/12
- 具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片，包括传感器本体；应力隔离元件，应力隔离元件包括一对横向设置的隔离梁和设置于所述隔离梁之间的隔离框，所述隔离梁两端与所述传感器本体相连，所述隔离框通过连接部与所述隔离梁相连；敏感元件，敏感元件包括质量块和一对横向设置的挠性梁，所述挠性梁连接所述质量块和所述隔离框；压敏电阻，压敏电阻以所述质量块的中心为对称中心对称设置于所述质量块的两侧，且位于连接部的宽度范围内；设置于所述传感器本体上的金属焊盘，所述压敏电阻通过引线与所述金属焊盘相连。本发明的传感器芯片具有结构合理，封装工艺简单，稳定性高，便于大规模、低成本生产的特点。
- 应变式加速度传感器-201720766048.2
- 戴冰;邹英永 - 哈尔滨果岭科技发展有限公司
- 2017-06-28 - 2018-01-05 - G01P15/12
- 应变式加速度传感器。现有的加速度传感器各式各样，但是对于低频振动的情况，现有的加速度传感器的测量精度不理想，而且装置的稳定性也很差。本实用新型组成包括壳体（10），壳体一端与压线柱（9）连接，电缆（8）穿过所述的压线柱与接线柱A（7）、接线柱B（12）电连接，所述的接线柱B与温度补偿电阻（5）电连接，所述的温度补偿电阻固定在所述的壳体内壁上，所述的接线柱A穿过绝缘套管（6）与应变计（4）电连接，所述的应变计与所述的温度补偿电阻电连接，所述的绝缘套管固定在所述的壳体侧壁内；所述的壳体内是一个空腔，所述的空腔内充满硅油阻尼液（3），质量块（1）设置在所述的空腔内。本实用新型用于应变式加速度传感器。
- 专利分类
