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[发明专利]一种阶梯状环形超疏水槽的制备方法-CN202110554036.4有效
发明人：李村;赵玉龙;徐瀚洋 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-05-20 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种阶梯状环形超疏水槽的制备方法，先通过清洗、匀胶、光刻、刻蚀在单晶硅片表面刻蚀出底部环形沟槽；然后通过重复匀胶、光刻在单晶硅片表面形成宽度大的上部光刻胶环形沟槽，上部光刻胶环形沟槽和底部环形沟槽形成阶梯状环形沟槽；最后通过去胶使上部光刻胶环形沟槽内壁形成粗糙的超疏水表面，得到阶梯状环形超疏水槽；可制备具有较为复杂的阶梯状环形超疏水槽，且水银液滴在阶梯状环形超疏水槽内部具有较大的接触角和较小的滚动角。
一种阶梯环形疏水制备方法

[发明专利]电流体驱动的三维封装内嵌式环路热管及其叠层制作方法-CN202310823938.2在审
发明人：辛菲;田文超;陈志强;徐瀚洋 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： F28D15/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种电流体驱动的三维封装内嵌式环路热管，主要解决目前三维封装微通道液冷结构存在体积大、振动强、功耗高、液体易泄漏的问题。其包括蒸发器(1)、蒸汽流通管道(2)、冷凝器(3)、液体流通管道(4)及补偿腔(5)；该蒸发器内设有三维封装叠层(6)，每个封装单层内布置有多个立体电极，电极之间形成微通道，促使工质在电流体驱动下发生定向流动沸腾；该液体流通管道内布置有平面电极，以促使工质在电流体驱动下由液体管道流向补偿器并回到蒸发器，实现工质的循环及热量的传递；该补偿腔设置有温控系统。本发明强化了环路热管传热传质特性，避免了机械部件的使用，提高了三维封装的热可靠性和工作稳定性，可用于电子封装。
流体驱动三维封装内嵌式环路热管及其制作方法

[发明专利]基于压电陶瓷薄膜的液滴微机电系统火工品作动装置-CN202211536349.8在审
发明人： 徐瀚洋;田文超;任炜;常英珂;陈志强 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01H35/26 文献下载
摘要：一种基于压电陶瓷薄膜的液滴微机电系统火工品作动装置，包括封装为一体下基板、中间基板、上基板；上基板的上表面对称设有第一、第二压电陶瓷薄膜，下表面设有第一、第二背腔；中间基板上设有变截面微流道，变截面微流道包括宽截面和窄截面，宽截面位于第一、第二背腔的正下方，宽截面内装有水银液滴，窄截面内设有隔爆滑块，隔爆滑块两侧的第一、第二空腔内设有第一、第二止动片；下基板上设有压力平衡槽；上基板上设有上导爆孔，下基板上设有下导爆孔；本发明降低作动装置的作动时间，降低火工品引发后的冲击加速度，增加MEMS火工品作动装置抗外界加速度信号干扰的能力；结合MEMS工艺，减小作动装置体积和成本。
基于压电陶瓷薄膜微机系统火工品作动装置

[发明专利]基于VO2-CN202211417870.X在审
发明人：陈志强;田文超;辛菲;徐瀚洋 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H03H9/46 文献下载
摘要：本发明公开的基于VO2相变材料的温控频率可调MEMS带阻滤波器，从下到上依次包括：SiO2基板、包含四个独立电极模块的底部电极、包含四个平板的Si3N4双端固支平板、包含四个独立电极模块的顶部电极、Si3N4绝缘层、加热电阻、VO2层；顶部电极与底部电极相对应；加热电阻位于Si3N4绝缘层上方且其电阻最大区域位于Si3N4双端固支平板的两端区域；加热电阻采用Pt制作以增加其耐高温特性，同时加热电阻由不同宽度的Pt金属带构成以保证Si3N4双端固支平板上下平板区域的电阻值最大。
基于 vo base sub

[发明专利]基于VO2-CN202211417200.8在审
发明人：陈志强;田文超;辛菲;徐瀚洋 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明公开的基于VO2的频率可调MEMS平板谐振器，其包括：SiO2基板；SiO2基板位于谐振器的最下方；底部电极位于SiO2基板上方；Si3N4双端固支平板位于SiO2基板与底部电极上方；顶部电极位于Si3N4双端固支平板上方且位置与底部电极相对应；Si3N4绝缘层位于Si3N4双端固支平板与顶部电极上方；加热电阻位于Si3N4绝缘层上方且其电阻最大区域位于Si3N4双端固支平板的梁中间区域；VO2层位于Si3N4双端固支平板与加热电阻上方；加热电阻采用Pt制作以增加其承受高温的能力，同时加热电阻由不同宽度的Pt金属带构成以保证Si3N4双端固支平板的中间平板区域电阻值最大。
基于 vo base sub

[发明专利]基于压电陶瓷薄膜驱动的液滴射频微机电系统开关-CN202210697959.X在审
发明人： 徐瀚洋;田文超;李默含;陈志强;辛菲 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01H35/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于压电陶瓷薄膜驱动的液滴射频微机电系统开关，主要解决现有射频微机电系统开关驱动电压大及抗外界加速度信号干扰弱的问题，其包括下、中、上三层基板，上基板(3)上设有两个金属焊盘(9，10)，且上、下表面分别设有压电陶瓷薄膜(6)和背腔(7)；下基板(1)上设有由两个地电极(41，43)及两个信号电极(42，44)构成的共面波导(4)：中间基板(2)上设有贯通槽(8)，该贯通槽位于信号电极的上方，两个地电极的部分区域暴露在贯通槽内；该贯通槽和背腔中心对齐，且上下贯通，内装有水银液滴(5)；所述三层基板封装为一体。本发明驱动电压小，抗外界加速度信号干扰能力强，体积小，成本低，可用于微机电系统。
基于压电陶瓷薄膜驱动射频微机系统开关

[发明专利]一种高稳定性的废水处理系统-CN202210050208.9在审
发明人：童国通;吴健;朱振亚;吴荣生;张天可;徐瀚洋;郑凯;郑豪 -专利权人：杭州职业技术学院
申请日： 2022-01-17 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C02F1/469 文献下载
摘要：本发明涉及废水处理领域，公开了一种高稳定性的废水处理系统，包括依次设置且通过管路相连的进水单元、预处理单元、电渗析单元、后端浓缩单元，电渗析单元包括电渗析器，电渗析器包括阳极、阴极和若干阳离子交换膜、若干阴离子交换膜。阳离子交换膜为磺化笼形多面低聚倍半硅氧烷改性聚偏氟乙烯膜，其制备方法包括以下步骤：（1）膜表面改性；（2）笼形多面低聚倍半硅氧烷接枝；（3）磺化改性。在聚偏氟乙烯膜的侧面引入POSS结构并接枝磺酸基团，减少对主链刚性的影响，保证膜的机械强度，增强膜的抗污染性能和耐酸性能，延长膜的使用寿命，增强装置稳定性，实现纯化水的高效处理，最终实现废水减量排放、金属的资源化回用。
一种稳定性废水处理系统

[发明专利]一种基于挤压模式的薄膜式喷墨打印头-CN201911354660.9有效
发明人：赵玉龙;徐瀚洋;张凯;王子溪;李村 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：一种基于挤压模式的薄膜式喷墨打印头，包括上半腔室、中间薄膜以及下半腔室，中间薄膜的上下表面采用热键合的方式和上半腔室、下半腔室连接；所述的上半腔室设有上半槽以及和上半槽一端贯通的墨水入口；中间薄膜上设有墨水出口，墨水出口位于上半槽另一端，下半腔室设有下半槽以及和下半槽连接的喷头，喷头和墨水出口分别位于下半槽的两端；当墨水入口中通入一定压强的墨水时，墨水在上半腔室内从墨水入口经上半槽流入相反位置的墨水出口，产生的压强导致中间薄膜发生变形，对下半腔室内下半槽的墨水进行挤压，从而使得墨水从喷头中喷出；本发明结构简单，能够达到微型化、阵列化，并且大幅度降低了成本。
一种基于挤压模式薄膜喷墨打印头

[发明专利]一种基于互电容原理的MEMS液体陀螺仪-CN201910270143.7有效
发明人：姜开春;赵玉龙;徐瀚洋;王子溪;张凯;杨鑫婉 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： G01C19/00 文献下载
摘要：一种基于互电容原理的MEMS液体陀螺仪，包括上基板、中间基板以及下基板，中间基板与上基板通过UV胶黏剂进行封装，中间基板通过MEMS工艺与下基板封装；下基板的上表面中部设有环形电容，环形电容的外圈设有阵列柱状疏水结构，阵列柱状疏水结构的外圈设有环形阵列电容，环形阵列电容和环形电容与金属引线板相连；中间基板上设有贯通的环形沟槽通道，环形沟槽通道位于阵列柱状疏水结构上方，环形沟槽通道内设有水银液滴；通过水银液滴在环形沟槽通道内滚动，使环形阵列电容上的电容和环形电容之间的互电容发生改变，从而输出角度等信号，本发明提高了信号的准确性，结合MEMS工艺，使得传感器具有体积小、质量轻、成本低等优点。
一种基于电容原理 mems 液体陀螺仪

[发明专利]一种多墨水喷射及混合的MEMS压电式喷墨打印头-CN201911354651.X有效
发明人：赵玉龙;徐瀚洋;张凯;王子溪;李村 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：一种多墨水喷射及混合的MEMS压电式喷墨打印头，包括下底板和上盖板，下底板和上盖板连接后形成的双层结构设有第一腔室、第二腔室以及混合腔室，混合腔室通过微流道与第一腔室、第二腔室连通，第一腔室的结构与第二腔室相同；两个腔室的压力腔上方的振动隔板上表面贴附有PZT压电材料，混合腔室的上半混合腔上方的振动隔板上表面贴附有PZT压电材料；不同墨水可以分别从第一腔室，以及第二腔室注入到喷头内部，当喷墨要求为单墨水喷墨时，选择其中一个腔室进行工作，当喷墨要求为多墨水混合时，两个腔室进行工作；喷墨打印喷头也可达到不同墨水延时交替喷墨的效果；喷墨打印喷头结合了MEMS加工方法，能够达到微型化，阵列化并且大幅度降低了成本。
一种墨水喷射混合 mems 压电喷墨打印头

[发明专利]一种阵列电极式MEMS液体角度陀螺仪-CN201611224143.6有效
发明人：姜开春;徐瀚洋;赵玉龙 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-12-27 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： G01C19/00 文献下载
摘要：一种阵列电极式MEMS液体角度陀螺仪，包括通过真空键合工艺进行封装的下基板、中间基板和上基板，下基板中心有环形的第一疏水层，第一疏水层外环有环形金属电极；下基板上部的中间基板包括内圆盘和外圆盘，外圆盘的内壁和内圆盘的外壁有第二疏水层，内圆盘和外圆盘同心，内圆盘和外圆盘之间构成一个环形沟槽，环形沟槽设有水银液滴；中间基板上部的上基板中心有对应与下基板的第一疏水层位置的环形阵列电极，通过液滴在不同倾角下的位置变化而造成的阵列电极信号输出的变化，实现对角度变化的测量，具有体积小，结构简单，功耗小，不受外界环境温度和冲击影响等特点，在惯性导航，姿态测试等航空航天，兵器系统等领域具有潜在的应用前景和价值。
一种阵列电极 mems 液体角度陀螺仪

[发明专利]一种十字变形梁结构的高g值加速度计芯片及其制备方法-CN201910304166.5在审
发明人：赵玉龙;张凯;王永录;李村;徐瀚洋;杨鑫婉 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：一种十字变形梁结构的高g值加速度计芯片及其制备方法，芯片包括硅基底，硅基底下方设有玻璃衬底，硅基底上面中心设有十字变形梁，十字变形梁和硅基底之间设有梁释放孔，十字变形梁的四条固支端宽度小于其中间部分宽度，十字变形梁的两条相对固支端上分别设置有两条压敏电阻，四条压敏电阻的两端布置有重掺杂的欧姆接触区，欧姆接触区通过金属引线和金属焊盘连接，四条压敏电阻连接构成惠斯通电桥输出信号；制备方法通过干法刻蚀工艺制备不同宽度的十字变形梁，同时背腔采用湿法腐蚀工艺可以制备不同厚度的十字变形梁；本发明将压阻式敏感方式和十字梁变形结构相结合，极大提高了传感器的量程、频响、灵敏度以及过载能力，其量程可达15万g。
变形梁制备硅基压敏电阻加速度计芯片欧姆接触区量程干法刻蚀工艺惠斯通电桥变形结构过载能力金属焊盘金属引线湿法腐蚀输出信号传感器灵敏度十字梁释放孔压阻式重掺杂背腔衬底频响芯片玻璃敏感

[发明专利]一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪-CN201710404698.7在审
发明人：赵玉龙;徐瀚洋;姜开春 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2017-06-01 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： G01C19/00 文献下载
摘要：一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪，包括通过UV胶黏剂封装的上基板和下基板，上基板的下表面有环形的沟槽通道，沟槽通道的侧壁设有疏水层；下基板的上表面包括两条平行的环形电阻，环形电阻末端连接有金属引线板；环形沟槽内设有水银液滴；封装过程中，控制环形电阻处于上基板沟槽通道的内部且处于沟槽通道的中间位置，本发明通过水银液滴在不同倾角下的位置变化，来导通不同长度的环形电阻得到变化的电阻信号，实现对角度的连续测量。
一种环形电阻 mems 液体角度陀螺仪

[发明专利]一种跨尺度微纳米褶皱结构的制备方法-CN201410335881.2在审
发明人：夏奇;高阳;徐瀚洋;汤自荣;史铁林 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2014-07-15 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种跨尺度微纳米褶皱结构的制备方法，包括以下步骤：(1)清洗：将单晶硅片清洗干净并烘干；(2)匀胶：在单晶硅片上涂覆上一层光刻胶；(3)光刻：在单晶硅片上形成光刻胶阵列结构；(4)镀膜：在光刻胶阵列结构上镀上一层刚性薄膜；(5)热解：使光刻胶发生热解和收缩，刚性薄膜形成微纳米褶皱。本发明中光刻胶发生热解后形成的碳结构和刚性薄膜形成的微纳结构都具有较好的导电、导热性，可以用作微传感器、微燃料电池、生物芯片等微型器件的工作电极，能增大电极的比表面积及提高其工作效率。
一种尺度纳米褶皱结构制备方法

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