[实用新型]一种硅片传送机械手

摘要

本实用新型公开了一种硅片传送机械手，该机械手用于接触并传送硅片，机械手包括：承载盘，在承载盘上设有内环，承载盘在内环中至少设有一个通孔，在通孔上设有垫片，在垫片上设有突出于内环第一表面的第一突出部，第一突出部与硅片接触，硅片与内环第一表面间设有间隙，在垫片上还设有第二突出部，第二突出部与通孔相配合，垫片固定在内环中；承载盘还与驱动装置连接。该硅片传送机械手，使第二突出部被卡住在内环的通孔洞内，以便垫片固定在内环中。如此能够不使用黏胶来将垫片固定在内环中，而能够更容易更换垫片，并减少更换垫片时对内环造成损坏的机会。

主权项

一种硅片传送机械手，所述机械手用于接触并传送硅片，其特征在于，所述机械手包括：承载盘，在所述承载盘上设有内环，所述承载盘在所述内环中至少设有一个通孔，在所述通孔上设有垫片，在所述垫片上设有突出于所述内环第一表面的第一突出部，所述第一突出部与所述硅片接触，所述硅片与所述内环第一表面间设有间隙，在所述垫片上还设有第二突出部，所述第二突出部与所述的通孔相配合，所述垫片固定在所述内环中；所述承载盘还与驱动装置连接。