[实用新型]一种硅片传送机械手

权利要求书

1.一种硅片传送机械手，所述机械手用于接触并传送硅片，其特征在于，所述机械手包括：承载盘，在所述承载盘上设有内环，所述承载盘在所述内环中至少设有一个通孔，在所述通孔上设有垫片，在所述垫片上设有突出于所述内环第一表面的第一突出部，所述第一突出部与所述硅片接触，所述硅片与所述内环第一表面间设有间隙，在所述垫片上还设有第二突出部，所述第二突出部与所述的通孔相配合，所述垫片固定在所述内环中；所述承载盘还与驱动装置连接。

2.如权利要求1所述的硅片传送机械手，其特征在于，所述垫片的第一突出部的顶面呈弧状，并朝所述硅片方向突出；所述垫片的第二突出部的底面呈弧状，并与第一突出部突出的方向相反。

3.如权利要求2所述的硅片传送机械手，其特征在于，所述第一突出部的顶面包含一平面，所述平面位于该第一突出部的顶面的最顶端，所述平面用于接触所述硅片的背面，且该平面的面积介于1.72mm²至2.25mm²之间。

4.如权利要求2所述的硅片传送机械手，其特征在于，在所述内环上设有缺口，在所述缺口的壁面还突设有一凸肋，所述缺口形成有第一凹槽、第二凹槽及一连通槽，其中所述连通槽的位置对应所述凸肋的位置，且连通于所述第一凹槽及所述第二凹槽之间，并且所述垫片的所述第二突出部突设于所述凸肋的底面，所述第二突出部卡于所述凸肋，且所述垫片还包含：第一埋藏部，连接所述第一突出部并位于所述第一凹槽内；及第二埋藏部，连接所述第一埋藏部与所述第二突出部并位于所述连通槽内。

5.如权利要求4所述的硅片传送机械手，其特征在于，所述第二突出部位于所述第二凹槽内，且不突出于所述内环相对于所述第一表面的第二表面。

6.如权利要求5所述的硅片传送机械手，其特征在于，所述第一 突出部的底面呈一平面并连接所述第一埋藏部的顶面，所述第一突出部的底面面积大于所述第一埋藏部的顶面面积，而形成自所述第一埋藏部的顶面的侧边向外突出的第一侧翼部；所述第二突出部的顶面呈一平面并连接所述第二埋藏部的底面，且所述第二突出部的顶面面积大于所述第二埋藏部的底面面积，而形成自所述第二埋藏部的底面的侧边向外突出的第二侧翼部；所述第一埋藏部的底面连接于所述第二埋藏部的顶面。

7.如权利要求6所述的硅片传送机械手，其特征在于，所述第一埋藏部的底面面积大于所述第二埋藏部的顶面面积。