[实用新型]连续沉积系统

摘要

本实用新型公开了一种连续沉积系统，其包括依次设置的装载台、两个以上沉积腔以及卸载台；其中，所述装载台和所述卸载台分别用于装载和卸载大面积基板，所述装载台和所述卸载台中至少一个具有基板检测调节机构；所述基板检测调节机构包括检测机构和位置调节机构；所述检测机构检测所述基板位置；所述位置调节机构根据所述检测机构的检测结果调节所述基板相对所述装载台或卸载台的位置。本实用新型在当基板在被送入各腔室之前的装载台处以及当基板在各腔室内被处理完毕送出至卸载台处时，能及时检测并调整基板的位置，保证基板处于预设的理想位置，因此可有效避免基板因位置偏移而与腔室发生碰撞，导致损伤甚至损坏，提高生产效率和产品的优良率。

主权项

一种用于处理大面积基板的连续沉积系统，其包括依次设置的装载台（1）、两个以上沉积腔（5）以及卸载台（2），所述装载台（1）和所述卸载台（2）分别用于装载和卸载基板（11），其特征在于：所述装载台（1）和所述卸载台（2）中至少一个具有基板检测调节机构；所述基板检测调节机构包括检测机构（13）和位置调节机构（14）；所述检测机构（13）检测所述基板（11）的位置； 所述位置调节机构（14）根据所述检测机构（13）的检测结果调节所述基板（11）相对所述装载台（1）或卸载台（2）的位置。