[实用新型]连续沉积系统

权利要求书

1.一种用于处理大面积基板的连续沉积系统，其包括依次设置的装载台（1）、两个以上沉积腔（5）以及卸载台（2），所述装载台（1）和所述卸载台（2）分别用于装载和卸载基板（11），其特征在于：所述装载台（1）和所述卸载台（2）中至少一个具有基板检测调节机构；

所述基板检测调节机构包括检测机构（13）和位置调节机构（14）；

所述检测机构（13）检测所述基板（11）的位置； 

所述位置调节机构（14）根据所述检测机构（13）的检测结果调节所述基板（11）相对所述装载台（1）或卸载台（2）的位置。

2.如权利要求1所述连续沉积系统，其特征在于，所述装载台（1）和所述卸载台（2）包括用于传输基板（11）的传输导轨、传输带、传输辊或传输滚子。

3.如权利要求1所述连续沉积系统，其特征在于，所述检测机构（13）包括至少两个位置检测器（131），所述位置检测器（131）设置在所述装载台（1）或卸载台（2）的同一侧，所述位置检测器（131）通过检测所述基板（11）的边缘到所述位置检测器（131）的距离或通过检测所述基板（11）上固定点的位置来确定所述基板（11）的位置。

4.如权利要求1所述连续沉积系统，其特征在于，所述检测机构（13）包括设置在所述装载台（1）或卸载台（2）两侧的位置检测器（131），其中至少一侧设置有至少两个位置检测器（131），所述位置检测器（131）通过检测所述基板（11）的边缘到所述位置检测器（131）的距离或通过检测所述基板（11）上固定点的位置来确定所述基板（11）的位置。

5.如权利要求3或4所述连续沉积系统，其特征在于，所述位置检测器（131）为红外测距装置或图像检测装置。

6.如权利要求3或4所述连续沉积系统，其特征在于，所述位置调节机构（14）包括多个位置调节器（141）；在所述装载台（1）或卸载台（2）的两侧分别设置有至少两个位置调节器（141），所述位置调节器（141）用于驱动所述基板（11）调整位置。

7.如权利要求6所述连续沉积系统，其特征在于，所述位置调节器（141）包括推杆和驱动该推杆的汽缸或电机。

8.如权利要求1所述连续沉积系统，其特征在于，所述基板检测调节机构还包括一控制机构（15），所述控制机构（15）包括一处理器（151），以及与所述处理器（151）连接的一驱动控制器（152）；其中，

所述处理器（151）与所述检测机构（13）连接并对所述检测机构（13）检测到的基板位置信息进行处理；

所述驱动控制器（152）与所述位置调节机构（14）连接，并根据所述处理器（151）的处理结果驱动所述位置调节机构（14）。

9.如权利要求1所述连续沉积系统，其特征在于，所述沉积腔（5）为低压化学气相沉积腔，所述连续沉积系统还包括二乙基锌源装置和水蒸气源装置，所述二乙基锌源装置和所述水蒸气源装置连接所述低压化学气相沉积腔，用于向所述低压化学气相沉积腔分别提供二乙基锌气体和水蒸气。