[实用新型]连续沉积系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种连续沉积系统，特别涉及一种可用于处理大面积基板的的连续沉积系统。

背景技术

薄膜太阳能电池在弱光条件下仍可发电，其生产过程能耗低，具备大幅度降低原料和制造成本的潜力，因此，市场对薄膜太阳能电池的需求正逐渐增长，而制造薄膜太阳能电池的技术和设备更成为近年来的研究热点。

低压化学气相连续沉积系统是常用的薄膜太阳能电池制造设备，通常低压化学气相沉积系统包括依次线性设置的装载台、加载腔、多个低压化学气相沉积腔、卸载腔和卸载台。待处理基板从所述装载台加载到所述低压化学气相连续沉积系统，如通过人工搬运方式或通过机械手将基板放置在装载台上。放置在装载台上的基板被传输到所述加载腔中。基板进入到加载腔后，加载腔中的气压降低，同时，加载腔对所述基板进行预热。当加载腔完成降压，和对基板的预热后，基板被传送到所述多个沉积腔中进行低压化学气相沉积处理。完成低压化学气相沉积处理的基板被传输到所述卸载腔。所述卸载腔对所述基板进行冷却，并同时升高卸载腔中的气压。冷却后的基板从卸载腔输出到卸载台，基板在卸载台卸载。

用于制作薄膜太阳能电池的基板通常都是面积大于0.5平方米的大面积基板。在基板传输的过程中，由于基板的面积较大，基板被放置在装载台上时，只要基板的摆放位置稍有偏差；或由于传输过程中的传输部件存在偏差，而导致基板在传输过程中稍为偏离其预定位置；就会导致基板与低压化学气相沉积腔或加载/卸载腔之间的碰撞，进而损坏所述基板。

因此，在现有技术的连续沉积系统中，因各种原因而产生的基板位置偏差，都极容易引起基板与处理系统中各腔室的碰撞损伤，从而降低了生产效率和产品的优良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种连续沉积系统，以防止现有技术中大面积基板因在传输中发生位置偏移而碰撞损伤的问题。

为达上述目的，本实用新型提供一种用于处理大面积基板的连续沉积系统，其包括依次设置的装载台、两个以上沉积腔以及卸载台；其中，所述装载台和所述卸载台分别用于装载和卸载大面积基板，所述装载台和所述卸载台中至少一个具有基板检测调节机构；所述基板检测调节机构包括检测机构和位置调节机构；所述检测机构检测所述基板位置；所述位置调节机构根据所述检测机构的检测结果调节所述基板相对所述装载台或卸载台的位置。

优选的，所述装载台和所述卸载台包括用于传输基板（11）的传输导轨、传输带、传输辊或传输滚子。

优选的，所述检测机构包括至少两个位置检测器，所述位置检测器设置在所述装载台或卸载台的同一侧；所述位置检测器通过检测所述基板的边缘到所述位置检测器的距离或通过检测所述基板上固定点的位置来确定所述基板的位置。

优选的，所述检测机构包括设置在所述装载台或卸载台两侧的位置检测器，其中至少一侧设置有至少两个位置检测器；所述位置检测器通过检测所述基板的边缘到所述位置检测器的距离或通过检测所述基板上固定点的位置来确定所述基板的位置。

优选的，所述位置检测器为红外测距装置或图像检测装置。

优选的，所述位置调节机构包括多个位置调节器；在所述装载台或卸载台的两侧分别设置有至少两个位置调节器，所述位置调节器用于驱动所述基板调整位置。

优选的，所述位置调节器包括推杆和驱动该推杆的汽缸或电机。

优选的，所述基板检测调节机构还包括一控制机构，所述控制机构包括一处理器，以及与所述处理器连接的一驱动控制器；其中，所述处理器与所述检测机构连接并对所述检测机构检测到的基板位置信息进行处理；所述驱动控制器与所述位置调节机构连接，并根据所述处理器的处理结果驱动所述位置调节机构。

优选的，所述沉积腔为低压化学气相沉积腔；所述连续沉积系统还包括二乙基锌源装置和水蒸气源装置，所述二乙基锌源装置和所述水蒸气源装置连接所述低压化学气相沉积腔，用于向所述低压化学气相沉积腔分别提供二乙基锌气体和水蒸气。

使用本实用新型所提供的连续沉积系统，当基板在被送入各腔室之前的装载台处或当基板在各腔室内被处理完毕送出至卸载台处时，能及时检测并调整基板的位置，消除基板相对装载台或卸载台的位置偏差，保证基板处于预设的理想位置，因此可有效避免大面积基板因位置偏移而与腔室发生碰撞，导致损伤甚至损坏，大大提高了生产效率和产品的优良率。

附图说明

图1是本实用新型中连续沉积系统的结构示意图。

图2是本实用新型中装载台的俯视图。

图3是图2所示装载台沿II-II线的剖面示意图。