[发明专利]阻抗匹配器、半导体设备和阻抗匹配方法

摘要

本发明公开了一种阻抗匹配器、半导体设备和阻抗匹配方法。阻抗匹配器包括阻抗传感器、阻抗匹配网络、运算控制单元和执行单元，阻抗传感器包括采样模块、滤波模块和信号处理模块；采样模块用于对阻抗匹配网络的输入端进行测量得出阻抗测量信号；滤波模块用于滤除阻抗测量信号中的特定频率的干扰信号；信号处理模块用于对滤波处理后的阻抗测量信号进行运算处理生成阻抗匹配网络的输入阻抗相关信号；运算控制单元用于对输入阻抗相关信号进行运算处理生成阻抗调节数据；执行单元用于根据阻抗调节数据对阻抗匹配网络进行调节以使调节后的阻抗匹配网络的输入阻抗和射频电源的输出阻抗共轭匹配。本发明使阻抗匹配器准确的实现阻抗匹配。

主权项

一种阻抗匹配器，包括阻抗传感器、与射频电源和所述阻抗传感器连接的阻抗匹配网络、与所述阻抗传感器连接的运算控制单元和与所述运算控制单元以及所述阻抗匹配网络连接的执行单元，其特征在于，所述阻抗传感器包括：与所述阻抗匹配网络连接的采样模块、与所述采样模块连接的滤波模块和与所述滤波模块以及所述运算控制单元连接的信号处理模块；所述采样模块，用于对所述阻抗匹配网络的输入端进行测量，得出阻抗测量信号；所述滤波模块，用于对所述阻抗测量信号进行滤波处理，以滤除所述阻抗测量信号中的特定频率的干扰信号；所述信号处理模块，用于对滤波处理后的阻抗测量信号进行运算处理，生成所述阻抗匹配网络的输入阻抗相关信号；所述运算控制单元，用于根据所述射频电源的输出阻抗对所述输入阻抗相关信号进行运算处理，生成阻抗调节数据；所述执行单元，用于根据所述阻抗调节数据对所述阻抗匹配网络进行调节，以使调节后的所述阻抗匹配网络的输入阻抗和所述射频电源的输出阻抗共轭匹配。