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[发明专利]阻抗匹配-CN202110542127.6在审
发明人： J·P·普鲁特;P·帕耶;F·杜邦 -专利权人：意法半导体(图尔)公司
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01Q23/00 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及阻抗匹配。阻抗匹配网络被连接在第二端口和天线之间。阻抗匹配网络包括固定电感和电容部件以及单个可变电感或电容部件。
阻抗匹配

[发明专利]一种阻抗匹配装置和等离子体处理设备-CN201610256874.2有效
发明人：师帅涛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2016-04-22 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种阻抗匹配装置和等离子体处理设备。该阻抗匹配装置包括检测控制单元和阻抗匹配单元，检测控制单元用于检测射频电源的阻抗，并控制阻抗匹配单元对射频电源的阻抗和反应腔室内的等离子体阻抗进行匹配，阻抗匹配单元包括阻抗调整组件，检测控制单元包括直流电流源，直流电流源连接阻抗匹配单元，阻抗调整组件能根据直流电流源输出的电流调整阻抗匹配单元的阻抗，以使射频电源的阻抗和等离子体阻抗匹配。该阻抗匹配装置实现了直流电流控制下的阻抗匹配单元阻抗调整，这能使阻抗匹配单元实现较大范围的匹配阻抗调整，从而增大了阻抗匹配装置的阻抗匹配范围；同时，还能实现阻抗匹配单元的快速阻抗匹配，并降低阻抗匹配装置的匹配成本
一种阻抗匹配装置等离子体处理设备

[实用新型]拓扑结构电路-CN201821674797.3有效
发明人：吴能友;何昆鹏;吴振志;吴涵渠 -专利权人：深圳市奥拓电子股份有限公司
申请日： 2018-10-16 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： G09G3/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种拓扑结构电路，包括：信号源端，用于提供时钟信号；负载端，包括多个驱动芯片；及阻抗匹配组件，信号源端通过阻抗匹配组件连接于负载端，阻抗匹配组件包括第一阻抗匹配模组和第二阻抗匹配模组，第一阻抗匹配模组一端电连接于信号源端，另一端电连接于第二阻抗匹配模组，第二阻抗匹配模组的一端连接于第一阻抗匹配模组，另一端连接于负载端，第二阻抗匹配模组包括至少一个阻抗匹配器件。通过设置阻抗匹配组件，阻抗匹配组件包括第一阻抗匹配模组和第二阻抗匹配模组，第二阻抗匹配模组包括至少一个阻抗匹配器件，能够明显的改善信号的完整性问题，提升时钟信号波形的质量，同时还可以改善高刷新率带来的EMC
阻抗匹配模组阻抗匹配组件信号源端负载端拓扑结构电路阻抗匹配器件一端连接电连接时钟信号波形本实用新型完整性问题改善信号驱动芯片时钟信号刷新率升高

[发明专利]阻抗匹配网络调节方法-CN202111640705.6在审
发明人：乐卫平;张桂东 -专利权人：深圳市恒运昌真空技术有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H03H7/38 文献下载
摘要：本申请涉及一种阻抗匹配网络调节方法。所述方法包括：所述阻抗调节网络根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号，生成至少一个控制电压，并将所述控制电压发送至所述阻抗匹配网络，其中，所述入射信号为所述阻抗匹配网络传递至所述负载阻抗的信号，所述反射信号为所述负载阻抗返回至所述阻抗匹配网络的信号；所述阻抗匹配网络根据所述控制电压调节阻抗，得到调节后的匹配阻抗；其中，所述匹配阻抗与所述负载阻抗之和等于所述射频电源的电源阻抗。采用本方法能够通过控制电压来调节阻抗匹配网络的阻抗，无需通过伺服步进电机来改变阻抗匹配网络的阻抗，缩短了阻抗匹配的流程，从而提高阻抗匹配的速度。
阻抗匹配网络调节方法

[发明专利]一种电力线通信中的阻抗匹配系统及方法-CN201910652429.1有效
发明人：周红 -专利权人：重庆源联信息科技有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H04B3/54 文献下载
摘要：本发明请求保护一种电力线通信中的阻抗匹配系统及方法，其包括：阻抗匹配单元组，阻抗选择模块，通路选择模块，信号检测模块，所述阻抗匹配单元组是由多个阻抗匹配单元构成，每个阻抗匹配单元由电容，电感和变容二极管组成，每个阻抗匹配单元可以进行阻抗微调；所述阻抗选择模块用于完成阻抗匹配单元的选择，还用于完成对阻抗匹配单元中的阻抗微调控制；通路选择模块，用于完成阻抗选择模块控制下，实现电力线和信号检测模块之间的阻抗匹配单元组合选择；信号检测模块，完成监视在每次阻抗匹配选择之后，接收信号大小的评估，并且确定阻抗匹配选择是否是最佳的选择方案。
一种电力线通信中的阻抗匹配系统方法

[发明专利]一种双向放大器-CN202310225486.8有效
发明人：王绍权;张凯娟;王鑫;江浩;徐永祥;王磊;汤晓东;王梦坦;周彪;宋学峰 -专利权人：三微电子科技（苏州）有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H03F1/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种双向放大器，包括：连接于信号收发端与天线端之间的第一阻抗匹配电路，第一放大电路，第二阻抗匹配电路，第二放大电路，第三阻抗匹配电路；接收模式，第一阻抗匹配电路对接收信号进行输入阻抗匹配；第一放大电路对接收信号进行低噪声放大；第二阻抗匹配电路对接收信号进行级间阻抗匹配；第二放大电路对接收信号进行增益放大；第三阻抗匹配电路接收信号进行输出阻抗匹配；发射模式，第三阻抗匹配电路对发射信号进行输入阻抗匹配；第二放大电路对发射信号进行放大；第二阻抗匹配电路用于对发射信号进行级间阻抗匹配；第一放大电路对发射信号进行功率放大；第一阻抗匹配电路对发射信号进行输出阻抗匹配。
一种双向放大器

[发明专利]阻抗匹配器、半导体设备和阻抗匹配方法-CN201110409326.6无效
发明人：成晓阳 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2011-12-09 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： H03H7/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种阻抗匹配器、半导体设备和阻抗匹配方法。阻抗匹配器包括阻抗传感器、阻抗匹配网络、运算控制单元和执行单元，阻抗传感器包括采样模块、滤波模块和信号处理模块；采样模块用于对阻抗匹配网络的输入端进行测量得出阻抗测量信号；滤波模块用于滤除阻抗测量信号中的特定频率的干扰信号；信号处理模块用于对滤波处理后的阻抗测量信号进行运算处理生成阻抗匹配网络的输入阻抗相关信号；运算控制单元用于对输入阻抗相关信号进行运算处理生成阻抗调节数据；执行单元用于根据阻抗调节数据对阻抗匹配网络进行调节以使调节后的阻抗匹配网络的输入阻抗和射频电源的输出阻抗共轭匹配本发明使阻抗匹配器准确的实现阻抗匹配。
阻抗配器半导体设备阻抗匹配方法

[发明专利]半导体工艺设备及其阻抗匹配方法-CN202111160966.8在审
发明人：李文庆;韦刚;杨京;蒋书棋;张迪 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种半导体工艺设备及其阻抗匹配方法，用以解决现有的半导体工艺过程中阻抗匹配效率较低的问题。所述方法包括：工艺准备步：获取当前存储的工艺起辉步对应的阻抗匹配数据，阻抗匹配数据包括半导体工艺设备阻抗匹配器中参数可调器件对应的参数调节位；根据参数调节位，调节参数可调器件；工艺起辉步：通过阻抗匹配器向半导体工艺设备的工艺腔室加载射频功率，同时通过阻抗匹配器进行阻抗匹配，并在达到阻抗匹配时确定参数可调器件的当前参数调节位；根据当前参数调节位，更新阻抗匹配数据。该技术方案能够根据阻抗匹配数据中的参数调节位准确的自动调节参数可调器件，缩短了阻抗匹配时间，提高了阻抗匹配效率。
半导体工艺设备及其阻抗匹配方法

[实用新型]射频电源系统-CN202123390838.0有效
发明人：乐卫平;张桂东 -专利权人：深圳市恒运昌真空技术有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： H03H7/38 文献下载
摘要：所述系统包括：所述射频电源系统包括射频电源、阻抗匹配网络、阻抗调节网络和负载阻抗，所述阻抗匹配网络分别与所述射频电源、所述阻抗调节网络、所述负载阻抗电性连接，所述阻抗调节网络还与所述负载阻抗电性连接，所述阻抗调节网络用于根据阻抗匹配网络与负载阻抗之间的入射信号和反射信号，生成至少一个控制电压；所述阻抗匹配网络用于根据所述控制电压调节阻抗，得到调节后的匹配阻抗；其中，所述匹配阻抗与所述负载阻抗之和等于所述射频电源的电源阻抗。采用本系统能够通过控制电压来调节阻抗匹配网络的阻抗，无需通过伺服步进电机来改变阻抗匹配网络的阻抗，缩短了阻抗匹配的流程，从而提高阻抗匹配的速度。
射频电源系统

[发明专利]阻抗匹配系统和阻抗匹配装置-CN201110165188.1有效
发明人：陈聂丰;夏宏亮;曾军;吴乔;武胜波;王雷 -专利权人：上海华为技术有限公司
申请日： 2011-06-17 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： H03H7/38 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种阻抗匹配系统和阻抗匹配装置。其中，一种阻抗匹配系统，包括：第一阻抗电路、第二阻抗电路和阻抗匹配装置，阻抗匹配装置包括：基准阻抗匹配子单元、可调基波调谐电路子单元和可调N次谐波调谐电路子单元，N为大于1的自然数；基准阻抗匹配子单元和可调基波阻抗匹配子单元用于匹配第一阻抗电路和第二阻抗电路之间的基波阻抗；可调N次谐波调谐电路子单元用于匹配第一阻抗电路和第二阻抗电路之间的N次谐波阻抗。本发明实施例的技术方案，有利于实现对基波阻抗和谐波阻抗的分别匹配，简化电路阻抗匹配的调试复杂度。
阻抗匹配系统装置

[发明专利]阻抗匹配方法、阻抗匹配系统及等离子体加工设备-CN201210110740.1有效
发明人：韦刚;武晔 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2012-04-16 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种阻抗匹配系统、阻抗匹配方法和等离子体加工设备。该阻抗匹配方法通过阻抗匹配网络使射频电源和负载之间的阻抗匹配，所述阻抗匹配网络包括：变压器、电感和电容，所述变压器的初级与所述射频电源连接，所述电感、所述电容和所述负载依次串联在所述变压器的次级，阻抗匹配方法是根据所述阻抗实部偏差获得匝数比调整量，并根据所述匝数比调整量对所述变压器的匝数比进行调整；以及根据所述阻抗虚部偏差获得电容调整量，并根据所述电容调整量对所述电容进行调整。该阻抗匹配方法降低了阻抗匹配的难度，从而更容易实现阻抗匹配。
阻抗匹配方法系统等离子体加工设备

[发明专利]阻抗匹配系统和其操作方法-CN201110204632.6有效
发明人：宋珠荣 -专利权人： LG伊诺特有限公司
申请日： 2011-07-15 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： H03H7/40 文献下载
摘要：提供了一种阻抗匹配系统和其操作方法。阻抗匹配系统包括阻抗匹配设备和阻抗分析设备。该阻抗匹配设备根据施加的电压值变化电容器的电容值，并根据变化的电容值匹配阻抗。该阻抗分析设备将用于变化电容值的电压提供到阻抗匹配电路，并确定根据电压值改变的阻抗值，以分析阻抗匹配设备中包括的电容器的特性。
阻抗匹配系统操作方法

[发明专利]阻抗匹配装置-CN201080062936.7有效
发明人：金宰显;李相元;李容官 -专利权人：株式会社普来马特
申请日： 2010-11-23 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种阻抗匹配装置。该阻抗匹配装置与等离子体负载进行阻抗匹配。该阻抗匹配装置包括：第一频率阻抗匹配电路单元，该第一频率阻抗匹配电路单元工作在第一频率，向等离子体负载传送第一频率RF功率源单元的输出；以及第二频率阻抗匹配电路单元，该第二频率阻抗匹配电路单元工作在高于第一频率的第二频率其中，第一频率阻抗匹配电路单元包括T型匹配电路，并且第二频率阻抗匹配电路单元包括标准L型匹配电路或Π型匹配电路。
阻抗匹配装置

[发明专利]阻抗匹配器的测试系统及方法-CN201410216819.1有效
发明人：成晓阳;张敏;卫晶;丁恒;孔庆宝;孙岩 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-05-21 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种阻抗匹配器的测试系统，包括射频电源、待测试阻抗匹配器、阻抗模拟器和工控机，射频电源、待测试阻抗匹配器和阻抗模拟器依次电连接，射频电源、待测试阻抗匹配器及阻抗模拟器分别与工控机电连接；工控机用于控制射频电源、阻抗模拟器和待测试阻抗匹配器按照阻抗匹配器的测试方法对待测试阻抗匹配器的工作性能进行测试；阻抗模拟器包括电阻、多个可变阻抗调节单元和多个驱动装置，可变阻抗调节单元与电阻电连接；多个可变阻抗调节单元与多个驱动装置一一对应，驱动装置用于调节可变阻抗调节单元的阻抗值。本发明还涉及一种阻抗匹配器的测试方法。本发明的阻抗匹配器的测试系统及方法，提高了阻抗匹配器的测试系统的自动化程度。
阻抗匹配器阻抗模拟器测试阻抗匹配器测试系统可变阻抗射频电源驱动装置电连接工控机测试电阻工作性能机电连接工控阻抗自动化

[发明专利]阻抗匹配结构，天线组件，飞行器及其阻抗匹配方法-CN201510079620.3在审
发明人：胡汝佳;邓任钦;梁辰 -专利权人：深圳市大疆创新科技有限公司
申请日： 2015-02-13 - 公布日： 2015-05-27 - 主分类号： H01Q1/38 文献下载
摘要：本发明公开一种阻抗匹配方法，阻抗匹配结构，天线组件和飞行器。所述阻抗匹配结构包括印刷电路板本体，以及设置于印刷电路板本体上的射频微带线，印刷电路板本体上还设有与所述射频微带线连接的阻抗匹配线，该阻抗匹配线的阻抗高于射频微带线。所述阻抗匹配线用于使所述射频微带线与射频连接器的接口电路处的阻抗匹配，进而实现射频微带线与天线的阻抗匹配。
阻抗匹配结构天线组件飞行器及其方法

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