“尹巧星”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果15个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]电容或电感的测试系统和方法-CN202310929856.6在审
发明人：朱培文;尹巧星 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本发明提供一种电容或电感的测试系统和方法，该测试系统包括：夹具，用于装载待测电容或电感；第一数字化射频检测单元，与待测电容或电感的输入端连接，用于检测待测电容或电感的输入端射频参数；第二数字化射频检测单元，与待测电容或电感的输出端连接，用于检测待测电容或电感的输出端射频参数；散热模组，连接于夹具，用于调整待测电容或电感的散热条件；射频发生单元，用于为测试系统提供可调节功率和频率的射频电源；驻波控制单元，连接于射频发生单元和第一数字化射频检测单元之间，用于调节射频发生单元的驻波参数；负载模组，连接于第二数字化射频检测单元的输出端。该测试系统用于在不同散热条件下对待测电容或电感进行测试。
容或电感测试系统方法

[发明专利]阻抗匹配方法、装置和介质-CN202310929943.1在审
发明人：朱培文;尹巧星 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种阻抗匹配方法、装置和介质，该方法包括：前端数字化射频检测单元通过脉冲包络信号采样，检测射频电源的实时电压值、实时电流值及电压与电流的相位差；逻辑控制单元实时计算第一反射系数；当第一反射系数超出阈值时，调整电容极板的初始位置；当第一反射系数未超出阈值时或重复执行上述步骤预设次数时，逻辑控制单元计算当前射频电源的电信号参数，并根据反射校准参数获取电信号参数的误差值；逻辑控制单元根据误差值计算马达的转速，计算第二反射系数；逻辑控制单元确认第二反射系数小于阈值时，阻抗匹配完成。该方法用于在采样的信号为脉冲包络信号时快速进行射频电源与等离子体反应腔的阻抗匹配。
阻抗匹配方法装置介质

[发明专利]一种射频电源的智能控制方法及系统-CN202310049423.1有效
发明人：朱培文;尹巧星 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频电源的智能控制方法及系统，涉及计算机应用技术领域，所述方法包括：通过反馈量检测模块得到目标射频电源的目标同步信号；分析判断所述目标射频电源是否达到预设状态要求；若是，调用预设控制方案，并提取第一预设控制方案，对目标晶闸管进行启动控制，得到稳步上升电压；达到预设额定电压时提取第二预设控制方案；对目标电流进行启动控制，得到电流控制结果；确定目标触发电路；对目标射频电源进行启动控制。解决了现有中对射频电源的控制存在智能化程度低，电源控制不稳定的问题。实现了提高射频电源启动控制智能化程度的目标，达到了软启动控制，降低高压电路对电子管及周围电路的冲击，减小元器件损害的效果。
一种射频电源智能控制方法系统

[实用新型]一种机柜的控制系统-CN202321259656.6有效
发明人： 尹巧星;戚银晟;朱国俊 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体生产机柜技术领域，尤其涉及一种机柜的控制系统。其包括：机柜及控制模组，机柜中安装有机架，以将机柜分置为前后两部分，机架上方安装有隔板，隔板后侧安装有总供开关，机架下方安装有电源设备；控制模组安装于隔板前侧，控制模组包括：MCU及与MCU连接的数字通讯模块、电压采集回路、信号采集回路、电压控制回路及信号控制回路；数字通讯模块用于输出MCU的数字信号至电源设备；电压采集回路和信号采集回路分别用于采集外部机台的电压信号及控制信号传递至MCU；电压控制回路和信号控制回路分别用于向外部机台发送处理后的电压信号及控制信号。本实用新型用于解决现有机柜中控制模块控制精度不高的问题。
一种机柜控制系统

[实用新型]一种机柜水路结构-CN202321259611.9有效
发明人： 尹巧星;戚银晟;居培培;朱国俊 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体产品生产设备技术领域，尤其涉及一种机柜水路结构。其包括：机柜、混水器及若干支路水管，机柜中安装有机架，以将机柜分置为分别用于安装电源设备及水路的前后两部分，机架上方安装有隔板，隔板前后两侧分别安装有连接电源设备的控制电路及总供开关；混水器安装于机柜后部的侧壁上，混水器入口连接有从机柜背面接入的主水管；支路水管一端通过快插接头与混水器的若干出口连接，另一端与电源设备连接，用于给电源设备循环降温。本实用新型用于解决原有机柜水路结构不合理的问题。
一种机柜水路结构

[实用新型]一种用于射频环境的漏水检测装置-CN202320538338.7有效
发明人：朱培文;尹巧星;陈樱宜 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01M3/16 文献下载
摘要：本实用新型属于漏水检测技术领域，尤其涉及一种用于射频环境的漏水检测装置。其包括：依次连接的漏水检测单元、低通滤波单元、电压比较单元和控制模块单元，以及均与漏水检测单元、电压比较单元及控制模块单元连接的供电模块单元,漏水检测单元外部罩设有一屏蔽罩；漏水检测单元包括：串联在供电模块单元与接地之间的电容C21和电阻R12，电容C21与电阻R12两端并联有电容C19，电容C21两端作为漏水接线口，电容C21和电阻R12之间的第一节点与低通滤波单元连接。本实用新型用于解决射频信号干扰检测的问题。
一种用于射频环境漏水检测装置

[实用新型]一种电镀设备电流检测系统-CN202320703759.0有效
发明人：朱培文;尹巧星;朱国俊;项羽 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体制造技术领域，提供了一种电镀设备电流检测系统，包括：若干电流检测模块，电流检测模块和待测直流电源一一对应设置；电流检测模块之间级联，电流检测模块的地址根据对应的待测直流电源的IP地址确定；一数据采集模块，和电流检测模块连接，数据采集模块包括用户数据接口，用户通过用户数据接口用以获取电镀设备的电流数据。本实用新型提供的一种电镀设备电流检测系统，用户通过数据采集模块的用户数据接口，可实现与电镀设备电流检测系统的数据交互，确定当前实时电流从而确定电镀设备电流的稳定性。
一种电镀设备电流检测系统

[实用新型]一种射频设备端口连接状态监测装置-CN202320379477.X有效
发明人：朱培文;尹巧星;殷志诚 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01R31/69 文献下载
摘要：本实用新型属于射频连接器的技术领域，具体涉及一种射频设备端口连接状态监测装置。本实用新型包括：底座，底座设在射频设备上，底座的中心开设有第一通孔，第一通孔套在射频设备的端口上；微动开关，微动开关设在底座上；压片，压片通过弹性伸缩件设在底座的正面，压片的中心开设有第二通孔，第二通孔用于套接与端口连接的电缆端口；微动开关的拨片朝向压片；压片的伸缩行程可用于控制微动开关的接通或断开。本实用新型用于解决现有技术中射频设备端口连接的射频连接器的连接状态无法实时监测，需要人工巡检，不能让设备及时恢复正常工作状态的技术问题。
一种射频设备端口连接状态监测装置

[发明专利]一种可变电容驱动电机转矩控制方法及装置-CN202310564599.0有效
发明人：朱培文;尹巧星;束寅志 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H02P21/05 文献下载
摘要：本发明属于电机控制技术领域，提供了一种可变电容驱动电机转矩控制方法及装置。其中本发明的方法包括：获取电机的实际转矩值和实际磁链值；根据实际转矩值和实际磁链值获取k+1时刻的预测转矩值和预测磁链值；根据实际磁链值和定子磁链额定值的关系，确定工作模式并选取价值函数以确定输出矢量值；所述价值函数根据预测转矩值、预给定的转矩参考值，和，预测磁链值及实际磁链值计算获得，输出矢量值作用于逆变器以改变电机的转矩，转矩参考值根据可变电容确定；电机带动可变电容转动，以使可变电容到达匹配位置。本发明基于磁链是否需要限幅进行分情况处理，提高了电机的控制效果，从而提升了可变电容的调节效率。
一种可变电容驱动电机转矩控制方法装置

[发明专利]真空陶瓷可调电容闭环控制系统-CN202111228978.X在审
发明人： 尹巧星;朱国俊;刘锐 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2021-10-21 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： H02M3/07 文献下载
摘要：本发明公开了真空陶瓷可调电容闭环控制系统，系统包括控制电路、步进电机一和步进电机二，其中所述控制电路上集成有MCU，所述MCU信号输出端一侧集成有驱动电路一，所述驱动电路一信号输出端集成有失速检测模块一。有益效果在于：本发明通过失速检测模块一、失速检测模块二、驱动电路一以及驱动电路二的设计，使得该系统在具有失速检测功能，能够在系统安装时快速检测马达的堵转，自动查找电容的初始点，并能够精确设定电容的容值，安装时可忽略电容的位置，大大提高了系统的安装效率，同时避免系统在安装时中电容丝杆的损坏，此外该系统通过一个MCU可实现两个电容的同时控制，大大降低了硬件成本。
真空陶瓷可调电容闭环控制系统

[发明专利]射频信号检测器-CN202111228977.5在审
发明人：刘锐;朱国俊;尹巧星 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2021-10-21 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H04B17/29 文献下载
摘要：本发明公开了射频信号检测器，包括机体、数字通信口、感应探头和DSP运算芯片。有益效果在于：通过设置散热铝板以及PCB平面变压器，能够使射频信号检测器具有良好的散热功能，使射频信号检测器在使用过程中不易产生发热严重的情况，从而确保射频信号检测器内电器元件的工作稳定，通过设置数字通信口、电路滤波器以及全数字信号处理器的设计，能够使工作人员可以更加便捷的对射频信号检测器进行调试，从而可大幅提高射频信号检测器的数据检测精度，通过设置AD采集芯片以及DSP运算芯片，能够使射频信号检测器提高对高频射频信号的响应能力，从而也提高射频信号检测器数据运算的效率，进而体现了射频信号检测器的实用性。
射频信号检测器

[实用新型]一种RPS气体解离装置-CN202020679290.8有效
发明人：刘锐;徐远波;尹巧星 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及RPS气体解离装置技术领域，具体为一种RPS气体解离装置，包括阳极氧化箱与固定装置，阳极氧化箱两侧分别开设有进气口与出气口，进气口与出气口外侧均设有固定装置，固定装置靠近进气口一侧设有进气环，进气环外侧设有固定环，固定环内侧设有若干个呈弧形结构的夹板,夹板外壁通过轴承转动连接有支撑杆，固定环外壁靠近支撑杆的位置开设有通孔，支撑杆嵌设于通孔内部，支撑杆通过螺纹连接于通孔内部，通过夹板挤压固定导管，避免导管与进气环之间发生漏气，提高了该装置的密闭性。
一种 rps 气体解离装置

[实用新型]误差检测器-CN201920334107.8有效
发明人：赵加佳;尹巧星;刘锐 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2019-03-17 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： G01R21/00 文献下载
摘要：本实用新型属于检测器领域，尤其是一种误差检测器，针对现有的差检测器在工作时会散热热量，目前的误差检测器上都会直接设置一个散热孔，但是无法做到在需要散热时能够自动打开散热孔，在不需要散热时能够自动关闭散热孔问题，现提出如下方案，其包括检测器本体，所述检测器本体的顶部固定安装有顶箱，检测器本体的顶部开设有第一孔，顶箱的底部开设有第二孔，第一孔和第二孔内固定安装有同一个导热棒，顶箱内滑动安装有平移板，平移板与顶箱的一侧内壁之间焊接有多个弹簧。本实用新型实用性好，能够在需要散热时能够自动打开散热孔，在不需要散热时能够自动关闭散热孔，智能化程度高，使用方便。
散热孔散热检测器本体顶箱检测器本实用新型误差检测器自动打开平移板滑动安装直接设置导热棒内固定智能化弹簧内壁焊接

[实用新型]射频电源数字控制器-CN201920334100.6有效
发明人：吴纪权;尹巧星;陈杰 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2019-03-17 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： F16M13/02 文献下载
摘要：本实用新型属于数字控制器领域，尤其是一种射频电源数字控制器，针对现有的射频电源数字控制器的防尘效果不好，空气中的灰尘等杂物容易粘结到数字控制器的外壁，影响数字控制器的正常使用，且数字控制器拆卸不便，不便于进行检修的问题，现提出如下方案，其包括防尘罩，防尘罩的后侧开设有多个排线孔，所述防尘罩内放置有数字控制器本体，防尘罩的两侧内壁上均滑动安装有夹板，两个夹板相互靠近的一侧分别与数字控制器本体的两侧相接触，本实用新型通过防尘罩便于对数字控制器本体进行防尘，同时不需要借助任何工具即可对数字控制器本体进行拆装，便于对数字控制器本体进行检修，结构简单，使用方便。
数字控制器防尘罩本实用新型夹板射频电源检修防尘效果滑动安装两侧内壁影响数字控制器排线孔防尘拆装外壁粘结拆卸杂物

[发明专利]多功能全自动匹配器-CN201910200852.8在审
发明人： 尹巧星;刘锐;赵加佳 -专利权人：江苏神州半导体科技有限公司
申请日： 2019-03-17 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： H03H7/38 文献下载
摘要：本发明属于匹配器技术领域，尤其是一种多功能全自动匹配器，针对现有的匹配器具有多个缺点，1、无法满足大功率使用环境，2、只有单一的两种工作模式，3、匹配速度慢，进而造成匹配器使用不便的问题，现提出如下方案，其包括控制台，所述控制台电性连接有射频电源、多功能自动匹配器、chamber控制室和其他辅助设备，其他辅助设备电性控制有气和水电，所述其他辅助设备和chamber控制室电性连接，所述射频电源和多功能自动匹配器电性连接，所述多功能自动匹配器和chamber控制室电性连接。本发明满足大功率使用环境，使用方便。
匹配器电性连接辅助设备自动匹配控制室控制台射频电源使用环境匹配电性控制工作模式使用不便器电性水电

1
共 15 条