[发明专利]集成电路和其制作方法有效
| 申请号： | 201110332895.5 | 申请日： | 2011-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN102569264A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 陈重辉 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/58 | 分类号： | H01L23/58 |
| 代理公司： | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 陆鑫;高雪琴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种集成电路，包括：信号线，在第一方向上布线；第一屏蔽图案，设置为与信号线基本平行，第一屏蔽图案具有：具有第一尺寸的第一边缘和具有第二尺寸的第二边缘，第一边缘与信号线基本平行，第一尺寸大于第二尺寸；以及第二屏蔽图案，设置为与信号线基本平行，第二屏蔽图案具有：具有第三尺寸的第三边缘和具有第四尺寸的第四边缘，第三边缘与信号线基本平行，第三尺寸大于第四尺寸，第四边缘面对第二边缘，在第二边缘和第四边缘之间有第一间隔。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 制作方法 | ||
【主权项】：
一种集成电路，包括：信号线，以第一方向布线；第一屏蔽图案，设置为与所述信号线基本平行，所述第一屏蔽图案具有：具有第一尺寸的第一边缘和具有第二尺寸的第二边缘，所述第一边缘与所述信号线基本平行，所述第一尺寸大于所述第二尺寸；以及第二屏蔽图案，设置为与所述信号线基本平行，所述第二屏蔽图案具有：具有第三尺寸的第三边缘和具有第四尺寸的第四边缘，所述第三边缘与所述信号线基本平行，所述第三尺寸大于所述第四尺寸，所述第四边缘面对所述第二边缘，在所述第二边缘和所述第四边缘之间有第一间隔。
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