[发明专利]准光子晶体图形蓝宝石衬底及其制造方法、发光二极管及其制备方法有效
| 申请号： | 201110161492.9 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102244170A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘洪刚;张雄 | 申请（专利权）人： | 江苏晶瑞半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/44;H01L33/22;H01L33/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 周静 |
| 地址： | 213314 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及蓝宝石衬底、其制造方法，采用这种蓝宝石衬底的发光二极管及其制备方法，所述蓝宝石衬底表面具有准光子晶体结构的图形结构，所述图形结构中露出的蓝宝石衬底C面在整个蓝宝石衬底面积中所占比例低。所述蓝宝石衬底，表面具有准光子晶体结构的图形结构，所述图形结构由子区域周期性排列而成，晶格常数为0.2～5μm，相邻子区域之间的空间为V型或类似V型，所述子区域延伸至蓝宝石衬底C面的侧壁与蓝宝石衬底C面的夹角为25～60°，所述图形结构中露出的蓝宝石衬底C面所占比例低于20％。蓝宝石衬底的制造方法为，在蓝宝石衬底表面形成光子晶体结构，然后用磷酸/硫酸混合液对光子晶体侧壁进行各向异性腐蚀，形成准光子晶体的图形结构。 | ||
| 搜索关键词： | 光子 晶体 图形 蓝宝石 衬底 及其 制造 方法 发光二极管 制备 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石衬底，其特征在于表面具有准光子晶体结构的图形结构，所述图形结构由子区域周期性排列而成，晶格常数为0.2～5μm，相邻子区域之间的空间为V型或类似V型，所述子区域延伸至蓝宝石衬底C面的侧壁与蓝宝石衬底C面的夹角为25～60°，所述图形结构中露出的蓝宝石衬底C面在整个蓝宝石衬底面积中所占比例低于20％。
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