[发明专利]一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构

摘要

一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，以完成特殊位置的取放硅片工作流程，适用于对高度尺寸方向没有限制的R轴空间结构。本发明的W轴同轴传动机构，扩展了硅片传输机器人的使用范围，且安装过程简单，只需从R轴小臂末端拆除末端FORK手臂，重新安装在W轴同轴传动机构的输出端，并使用专用的底座使R轴小臂与W轴同轴传动机构相联接，重新调整控制程序后，即可调试及应用。

主权项

一种用于硅片传输机器人的W轴同轴传动机构，包括：外罩组合(1)、W轴伺服电机(2)、电机固定板(3)、光电传感器挡片(4)、旋转支架(5)、从动旋转轴(6)、上轴承(7)、基座盖板(8)、FORK组合(9)、下轴承(10)、锁紧螺母(11)、基座线夹(12)、W轴机械手基座(13)、阻尼橡胶垫(14)、控制线路板安装架(15)、光电传感器(16)、伺服电机支架(17)、控制线路板(18)；其特征在于：所述W轴伺服电机(2)通过前端定位止口定位，安装于电机固定板(3)上；所述伺服电机支架(17)上端安装在电机固定板(3)底面的定位槽内；所述控制线路板安装架(15)安装在电机固定板(3)的上表面；所述控制线路板(18)安装在控制线路板安装架(15)上；所述W轴伺服电机2的电机轴直接伸入从动旋转轴6的配合孔内，以紧定螺钉固定在电机轴侧平面上；所述旋转支架(5)安装在从动旋转轴(6)半圆平面上，光电传感器挡片(4)安装在从动旋转轴(6)的安装面上；所述FORK组合(9)安装在旋转支架(5)的配合表面；所述光电传感器(16)安装在伺服电机支架(17)的平面上；所述上轴承(7)、下轴承(10)分别装在基座盖板(8)的上、下轴承腔内，装有上轴承(7)、下轴承(10)的基座盖板(8)，轴承内环与从动旋转轴(6)相配合，在从动旋转轴(6)最下端的螺纹部位安装锁紧螺母(11)；所述基座盖板(8)上表面的定位凹槽与伺服电机支架(17)的外形相配合；所述基座线夹(12)安装在W轴机械手基座(13)的内底面上，阻尼橡胶垫(14)放入W轴机械手基座(13)的止口内；对正基座盖板(8)的下底面凸台，合装基座盖板(8)与W轴机械手基座(13)；所述外罩组合(1)罩在基座盖板(8)上面的机构上，以螺钉紧固。