[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及其制作方法

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法，其制造工艺步骤少且结构简单，其中仅需要两个图案化金属层，且图案化平坦层可以有效分离两图案化金属层，以降低功率负载。此外，图案化平坦层具有条状开槽，借由条状开槽造成的高度断差可以使扫描线与共用电极相对远离，更有助于降低功率负载。

主权项

一种薄膜晶体管阵列基板，包括：一基板；多条数据线，相互平行地设置于该基板上；多条扫描信号传递线，与所述多条数据线相互平行地设置于该基板上，任两相邻的数据线之间具有一条扫描信号传递线；多条扫描线，相互平行地设置于该基板上，所述多条扫描线相交于所述多条数据线以及所述多条扫描信号传递线，以在该基板上定义出多个像素区；多个薄膜晶体管，设置于该基板上，并且分别电性连接至对应的所述多条扫描线与所述多条数据线；一图案化平坦层，配置于该基板上，且该图案化平坦层具有多个条状开槽，所述多个条状开槽分别暴露出所述多条扫描线以及所述多个薄膜晶体管，并沿着所述多条扫描线延伸；多个共用电极，配置于该图案化平坦层上，并且分别围绕对应的所述多个像素区；一保护层，覆盖所述多条数据线、所述多条扫描信号传递线、所述多条扫描线、所述多个薄膜晶体管、该图案化平坦层以及所述多个共用电极，该保护层具有多个开孔，用以暴露出每一薄膜晶体管的一漏极的一部分；以及多个像素电极，配置于该保护层上并且对应位于所述多个像素区内，所述多个像素电极分别经由所述多个开孔电性连接至对应的所述多个漏极。