[发明专利]晶片吸附式传输机械手无效
| 申请号： | 201010195936.6 | 申请日： | 2010-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN101890710A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 衣忠波;张玮琪;马林 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B25J9/02 | 分类号： | B25J9/02;B25J15/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张贰群 |
| 地址： | 065201 河北省三河市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶片吸附式传输机械手，涉及半导体专用设备用晶片传输机械手技术领域。包括电机，悬臂上装有第电机，连接小轴通过第三轴承装在悬臂上，连接小轴和第三电机轴相连，连接小轴的另一端设有可吸附晶片的真空吸盘；悬臂和三维或二维运送装置相连。本发明不仅能够提高和保证晶片传输的可靠性、精确性和稳定性，而且可实现2个或3个自由度运动，如实现Z向直线运动、机构的旋转运动、直线伸缩运动、手爪的翻转运动等；其使用灵活、结构紧凑、体积小、工作效率高、成本低，有利于提高经济效益。特别适合在减薄机等半导体专用设备上使用。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 吸附 传输 机械手 | ||
【主权项】：
一种晶片吸附式传输机械手，包括电机，其特征在于悬臂(13)上装有第三电机(14)，连接小轴(16)通过第三轴承(17)装在悬臂(13)上，连接小轴(16)和第三电机(14)轴相连，连接小轴(16)的另一端设有可吸附晶片的真空吸盘(19)；悬臂(13)和三维或二维运送装置相连。
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