[发明专利]集成电路结构有效

专利信息
申请号: 200910136805.8 申请日: 2009-04-21
公开(公告)号: CN101615614A 公开(公告)日: 2009-12-30
发明(设计)人: 田丽钧;鲁立忠;侯永清;戴春晖;郭大鹏;陈胜兴;李秉中 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/092 分类号: H01L27/092;H01L23/528;H01L29/78;H01L29/423
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 姜 燕;陈 晨
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种集成电路结构,包括具有第一栅电极、第一源极与第一漏极的p型金属氧化物半导体晶体管以及具有第二源极、第二漏极与第二栅电极的n型金属氧化物半导体晶体管,其中第二栅电极与第一栅电极为栅电极导线的一部分。于p型金属氧化物半导体晶体管与n型金属氧化物半导体晶体管之间未设置有其他晶体管。上述集成电路结构还包括电源导线,连接第一源极;接地导线,连接第二源极;以及内连接点,电性连接于栅电极导线,其中内连接点位于包括PMOS晶体管、NMOS晶体管与介于PMOS晶体管以及NMOS晶体管间区域的金属氧化物半导体对区域的外侧部,且其中栅电极导线位于区域上的该部为大体笔直。本发明可改善栅电极导线的线宽均匀度等。
搜索关键词: 集成电路 结构
【主权项】:
1.一种集成电路结构,包括:一p型金属氧化物半导体晶体管,即PMOS晶体管,包括:一第一栅电极;一第一源极,邻近该第一栅电极;以及一第一漏极,位于该第一栅电极的一对称侧且邻近该第一栅电极而非该第一源极;一n型金属氧化物半导体晶体管,即NMOS晶体管,包括:一第二栅电极,其中该第二栅电极与该第一栅电极为一栅电极导线的一部分;一第二源极,邻近该第二栅电极;以及一第二漏极,位于该第二栅极的一对称侧且邻近该第二栅电极而非该第二源极,其中于该p型金属氧化物半导体晶体管与该n型金属氧化物半导体晶体管之间未设置有其他晶体管;一电源导线,连接该第一源极;一接地导线,连接该第二源极;以及一内连接点,电性连接于该栅电极导线,其中该内连接点位于包括该PMOS晶体管、该NMOS晶体管与介于该PMOS晶体管以及该NMOS晶体管间一区域的一金属氧化物半导体对区域的一外侧部,且其中该栅电极导线位于该MOS对区域上的该部为大体笔直。
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