[发明专利]一种图像传感器滤镜及其制作方法

摘要

本发明公开了一种图像传感器滤镜，在图像传感器的感光元件上设有法布里-珀罗反射器以形成滤镜。该法布里-珀罗反射器是一层介质层，该介质层的厚度满足法布里-珀罗原理，即该介质层的厚度等于某一波长光线的(n+1/2)λ，(n+3/4)λ或(n+1/4)λ，会使这一波长的光线形成消光或增强。此外，本发明还公开了上述图像传感器滤镜的制作方法，采用在图像传感器上薄膜刻蚀或薄膜生长的方法制成。本发明结构简单，简化了工艺，在芯片制造的过程在图像传感器上可直接制作彩色滤镜，提高了成品率。

主权项

一种图像传感器滤镜，该图像传感器包括硅衬底、位于硅衬底上的图像传感器电路和感光元件、用于连接感光元件的金属层、用于金属互连线隔离的绝缘介质层、用于电路保护和绝缘的钝化层，其特征在于，在图像传感器的感光元件上设有法布里-珀罗反射器以形成滤镜。