[发明专利]互连及其形成方法有效
| 申请号： | 200710186782.2 | 申请日： | 2007-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN101197347A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 格里塞尔达·博尼拉;克里斯托斯·D·迪米特拉科波洛斯;桑·V·古延;艾尔弗雷德·格里尔;萨特亚纳拉亚纳·V·妮塔;达里尔·D·雷斯泰诺;特里·A·斯普纳 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L23/532 | 分类号： | H01L23/532;H01L23/522;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张波 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种互连，其包括具有顶表面和下表面的铜导体，在所述金属导体的顶表面上形成帽盖。所述帽盖由膜的双重层叠或多重层叠形成，所述层叠膜包括紫外(UV)阻挡膜和扩散阻挡膜。可以通过中间膜分隔扩散阻挡膜和UV阻挡膜。 | ||
| 搜索关键词： | 互连 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种互连，包括：金属导体，具有顶表面和下表面，以及形成于所述金属导体的所述顶表面上的帽盖，所述帽盖由层叠膜形成，所述层叠膜包括紫外UV阻挡膜和扩散阻挡膜。
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