[发明专利]一种消除隔行字线桥接的方法有效
| 申请号： | 200710047356.0 | 申请日： | 2007-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101419960A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 王永刚;常建光 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L27/108 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明一种消除隔行字线桥接方法，在存储阵列周围排列虚拟单元，这样就使得在晶圆的生产过程中，隔行字线桥接就不会发生，并且不对晶圆的功效产生任何的影响。本发明能有效地消除隔行字线桥接，提高晶圆的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 消除 隔行 字线桥接 方法 | ||
【主权项】：
1、一种消除隔行字线桥接的方法，其特征在于，在存储阵列的周围排列虚拟单元。
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