[发明专利]一种消除隔行字线桥接的方法有效
| 申请号： | 200710047356.0 | 申请日： | 2007-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101419960A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 王永刚;常建光 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L27/108 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 消除 隔行 字线桥接 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种消除隔行字线桥接的方法，其特征在于，在存储阵列的周围排列虚拟单元，所述虚拟单元的沟槽到栅极的距离大于0.44nm，小于3.52nm；沟槽到字线驱动电路有源区的距离大于0.44nm，小于3.52nm。
2.如权利要求1所述的消除隔行字线桥接的方法，其特征在于，所述虚拟单元在排列的过程中始终保持与字线平行。
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