[发明专利]半导体装置及其制造方法有效
申请号: | 200710006760.3 | 申请日: | 2007-02-06 |
公开(公告)号: | CN101064305A | 公开(公告)日: | 2007-10-31 |
发明(设计)人: | 大竹诚治 | 申请(专利权)人: | 三洋电机株式会社 |
主分类号: | H01L27/04 | 分类号: | H01L27/04;H01L23/60;H01L21/822;H01L21/76;H01L21/761 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种半导体装置及其制造方法。在以往的半导体装置中,当电极焊盘上施加过电压时,芯片内的电路元件会被破坏。本发明的半导体装置中,N型外延层(3)由分离区域(4、5)划分为多个元件形成区域。在元件形成区域之一上形成有MOS晶体管(1)。MOS晶体管(1)的周围形成具有PN结区域(34、35)的保护元件。PN结区域(34、35)比MOS晶体管(1)的PN结区域(32、33)的结击穿电压低。根据该结构,当在源电极用的焊盘上施加负的ESD电涌时,PN结区域(34、35)击穿,能够保护MOS晶体管(1)。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,其特征在于,具有:半导体层;形成在所述半导体层上的MOS晶体管;构成所述MOS晶体管的扩散层与所述半导体层的结区域的第一结区域;以及保护元件,配置在所述MOS晶体管的形成区域的周围,具有结击穿电压比所述第一结区域的结击穿电压低的第二结区域。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的