[发明专利]半导体检查装置及其所使用的被检查部件托盘

摘要

本发明提供一种半导体检查装置，其设有结构非常简单的被检查部件托盘(10)，该被检查部件托盘(10)其表面具有容纳多个被检查部件的多条槽部(1)，在各个槽部(1)中，具有用于与容纳的被检查部件的电极电连接的导体形成到里面为止的接触部，以在被检查部件托盘(10)中容纳多个被检查部件的形式将其保持在检查装置的托盘把持器中，通过使多个探针一次接触到被检查部件托盘(10)所具有的多个接触部，就能够同时对多个被检查部件进行电检查。

主权项

1、一种半导体检查装置，其特征在于，包含：托盘把持器，其对被检查部件托盘进行保持，该被检查部件托盘在表面具有容纳多个被检查部件的多条槽，在各条槽中，还具有用于与容纳的上述被检查部件的电极电连接的导体形成到里面为止的接触部；探测器，其具有多枚探针，该探针与形成到上述托盘把持器中所保持的上述被检查部件托盘的里面为止的多个上述接触部一次连接；控制部，其对上述探测器的动作进行控制，使上述探针与上述接触部接触。