[发明专利]半导体装置及其制造方法无效
申请号: | 02125145.2 | 申请日: | 2002-06-28 |
公开(公告)号: | CN1395315A | 公开(公告)日: | 2003-02-05 |
发明(设计)人: | 篠木裕之;谷口敏光 | 申请(专利权)人: | 三洋电机株式会社 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 杨梧,马高平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种半导体装置及其制造方法,谋求凸出电极表面的平坦化。在形成于半导体基板21上的接点部53上形成金凸出电极5而构成的半导体装置中,所述金凸出电极56比钝化膜52的开口部更靠内侧形成。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,在形成于半导体基板上的接点部上形成凸出电极而构成,其特征在于,所述凸出电极形成于比钝化膜开口部更靠内侧。
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