[实用新型]一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器无效
| 申请号： | 01238754.1 | 申请日： | 2001-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN2503487Y | 公开（公告）日： | 2002-07-31 |
| 发明（设计）人： | 黄全平;陆德仁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海冶金研究所 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器,属于微电子机械系统领域,其特征在于它是由芯片和厚度比它稍厚的矩形框构成,芯片封装在框架中,并用玻璃盖板上下与其键合而成。芯片采用薄板－岛结构,主要由锚区、支撑质量块的悬空薄板、质量块、敏感电阻构成的。起弹性梁作用的薄板为单晶硅薄层,其厚度与量程有关;敏感电阻设计成单一直线状,长度可接近薄板宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量程 20 s2 微机 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于：(1)它由敏感部分的芯片和厚度比该芯片稍厚8-10微米的矩形框构成，芯片封装在框架中，并用玻璃盖板上下与其键合；(2)敏感部分的芯片是采用薄板—岛结构，主要由锚区、支撑质量块的悬空薄板、质量块、敏感电阻组成。
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- 本发明公开一种基于光信号检测的MOEMS加速度计，属于加速度精准测量领域。主要由输入光纤1、输出光纤2、可动式微镜3组成，可动式微镜3由质量块3‑1、微弹簧3‑2和微反射镜3‑3组成。加速度计将外界输入的加速度信号转换为光信号。通过对输出光信号的精准检测，可以准确得到加速度过载。本发明要解决的技术问题为：进一步提高微光机电加速度计系统的集成度并实现尺寸微小型化。具有以下优点：(1)结构尺寸微小，(2)高灵敏度，(3)系统工作安全可靠。
- 一种用于实时控制高层建筑风振加速度的主动扰流板系统-202310296481.4
- 陈波;张路 - 重庆大学
- 2023-03-23 - 2023-07-04 - G01P15/097
- 本发明涉及一种用于实时控制高层建筑风振加速度的主动扰流板系统，监测模块包括风速风向观测仪，用来监测目标建筑所在位置实时风速风向数据；计算模块包括数据处理系统与主动控制算法，用来处理监测模块获取的实时风速风向数据以确定风向区间，基于实时风速风向数据、风荷载系数及高层建筑结构模型计算高层建筑实时风振加速度，将高层建筑风振加速度取得最小值作为优化目标，开展扰流板转角优化设计；控制模块包括作动器与扰流板系统，以接收控制算法输出的数据并使扰流板系统做出响应；解决被动扰流板系统无法根据实际风速风向参数对转角实时修正以及被动扰流板系统优化设计方法仅能对特定风向的风振加速度进行控制，达不到风振加速度实时控制。
- 传感器系统和用于保护传感器系统的方法-202211649728.8
- A·察普科连科;H·鲁夫;M·霍夫曼;R·舍本 - 罗伯特·博世有限公司
- 2022-12-21 - 2023-06-27 - G01P15/097
- 提出了一种传感器系统，其具有转速传感器和控制单元，其中，所述转速传感器包括振动质量并且配置成，借助驱动力来驱动所述振动质量的运动，其中，所述控制单元配置成，探测所述传感器系统的自由落体并且在探测到所述自由落体的情况下停用所述驱动力。还提出了一种用于保护传感器系统的方法，其中，在探测步骤中，通过控制单元探测所述传感器系统的自由落体，并且在保护步骤中，通过所述控制单元停用驱动力。
- 对称式布局的IEPE加速度传感器及矢量水听器-202310100408.5
- 葛松;付昌 - 上海船舶电子设备研究所（中国船舶集团有限公司第七二六研究所）
- 2023-02-07 - 2023-06-27 - G01P15/09
- 本发明提供了一种对称式布局的IEPE加速度传感器及矢量水听器，包括前置调理放大电路、圆筒外壳以及两个压电基元，所述前置调理放大电路设置在所述圆筒外壳的中部；所述两个压电基元分别安装于圆筒外壳的上端与下端，且相对于所述前置调理放大电路所在平面呈对称安装。本发明结构简单，采用对称式压电基元，本身具有对称式结构，只需单个加速度传感器即可实现矢量水听器的对称式布局，且针对目前对称式加速度传感器中常见的由一对压电基元共用质量块的情况，在一对压电基元各自设置独立的质量块，减小了装配难度，降低了对外壳刚性的要求，并为前置调理放大电路预留了装配空间，本发明采用内置的前置调理放大电路，可提高灵敏度并抑制干扰。
- 一种谐振式硅微加速度计-202310114299.2
- 陈余;孙鹏;杨天宇;李小石;王曦;张开盛 - 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 2023-02-13 - 2023-06-23 - G01P15/097
- 本发明公开了一种谐振式硅微加速度计，涉及微机电系统技术领域，包括下层的衬底硅和上层的机械结构，所述衬底硅上带有左锚点和右锚点，上层的所述机械结构锚定于所述左锚点和右锚点上；所述机械结构包括两个沿X轴对称的左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器，所述左音叉梁谐振器通过左锚点固定于衬底硅上，所述右音叉梁谐振器通过右锚点固定于衬底硅上；所述左锚点和右锚点均位于左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器之间，且沿X轴对称设置，所述左锚点、右锚点、左音叉梁谐振器和右音叉梁谐振器均在同一直线上；所述X轴为敏感轴方向。采用本方案，通过将固定锚点数量减少为2个，并尽量居中靠近，从而进一步减小了温度应力对敏感结构的影响。
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