专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]CVD设备和膜形成方法-CN202210517314.3在审
  • 相田高永;S.金 - ASM IP私人控股有限公司
  • 2022-05-12 - 2022-11-15 - C23C16/44
  • 一种CVD设备,包括室、基座、用于衬底的入口/取出口和设置在入口/取出口处的闸阀,其中基座具有安装板和支撑件,入口/取出口设置在室的一侧的一部分上,并且设置在从室的内底面到当基座沿竖直方向位于上端时对应于安装板的下表面的位置的范围内,并且室的内底面、从室的内底面到当基座沿竖直方向位于上端时对应于安装板的下表面的位置的范围、安装板的下表面和支撑件的外侧表面涂覆有陶瓷衬里。
  • cvd设备形成方法

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