专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于化学机械抛光的实时轮廓控制-CN201780062467.0有效
  • S-H·沈;K·徐;T-Y·刘 - 应用材料公司
  • 2017-10-06 - 2023-07-11 - H01L21/67
  • 一种控制基板的处理的方法包括以下步骤:基于来自原位监测系统的信号,分别地产生指示在基板上的参考区域的物理性质的表征值的第一序列和指示在基板上的控制区域的物理性质的表征值的第二序列。分别地从表征值的第一序列和表征值的第二序列中确定参考区域速率和控制区域速率。通过对针对所述参考区域的表征值与针对所述控制区域的表征值进行比较来确定误差值。使用比例‑积分‑微分控制算法至少基于所述误差值和动态标称控制区域值来生成针对所述控制区域的输出参数值,并且所述动态标称控制区域值是至少基于所述参考区域速率和所述控制区域速率在第二控制环路中被生成的。根据输出参数值来处理基板的所述控制区域。
  • 用于化学机械抛光实时轮廓控制
  • [发明专利]基于电阻率调整原位监测的测量值-CN201880006844.3有效
  • K·徐;I·卡尔松;S-H·沈;B·A·斯伟德克;T-Y·刘 - 应用材料公司
  • 2018-01-10 - 2023-06-06 - H01L21/67
  • 存储第一电阻率值和将具有所述第一电阻率值的导电层的厚度与来自原位监测系统的信号相关的相关函数。接收基板上的导电层的第二电阻率值。在抛光期间,从监测所述基板的原位电磁感应监测系统接收取决于所述导电层的厚度的信号值序列。基于所述信号值序列和所述相关函数而产生厚度值序列。对于所述厚度值序列的至少一些厚度值,产生调整后的厚度值,所述调整后的厚度值补偿在所述第一电阻率值与所述第二电阻率值之间的变化,以产生调整后的厚度值序列。基于所述调整后的厚度值序列来检测抛光终点或确定对抛光参数的调整。
  • 基于电阻率调整原位监测测量
  • [发明专利]分布式训练的梯度压缩-CN202110301784.1在审
  • K·徐;R·戴尔蒙特 - 亚马逊技术股份有限公司
  • 2021-03-22 - 2021-09-24 - G06Q10/06
  • 公开了用于在分布式系统内交换压缩渐变数据的技术。使用神经网络模型和与该神经网络模型相关联的一组权重,在分布式系统的第一个工作节点上计算出一个渐变集。具有小于阈值的值的渐变集中的每一个都被剪切,从而得到非剪切的数据元素和剪切的数据元素。生成映射,该映射指示渐变集中的哪些对应于非剪切的数据元素,哪些对应于剪切的数据元素.压缩数据基于非剪切数据元素生成。映射和压缩数据从分布式系统的第一个工作节点传输到第二个工作节点。
  • 分布式训练梯度压缩
  • [发明专利]涡电流传感器增益的确定-CN201480057958.2有效
  • K·徐;S-H·沈;B·A·斯伟德克;I·卡尔松;D·E·本内特;W-C·图;H·G·伊拉瓦尼;T-Y·刘 - 应用材料公司
  • 2014-10-28 - 2019-05-03 - H01L21/304
  • 在一个方面,控制抛光的方法包括以下步骤:在抛光第一基板之前接收来自直联式或单机监测系统的对第一基板上的导电膜的初始厚度的测量;在抛光系统中抛光一个或更多个基板,所述一个或多个基板包括第一基板;在抛光所述一个或更多个基板的期间,利用涡电流监测系统监测所述一个或更多个基板以生成第一信号;确定用于第一基板的抛光的起始的、所述第一信号的起始值;对于在抛光所述一个或更多个基板中的至少一个基板的期间收集到的第一信号中的至少部分,基于起始值以及对初始厚度的测量来确定增益;以及基于第一信号和增益来计算第二信号。
  • 电流传感器增益确定

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