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[发明专利]一种硅表面钝化层的制备方法-CN202110185158.0有效
发明人： 韦德远;丁阳;黄志平;许颖;孙彪;武朝磊 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2021-02-10 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅表面钝化层的制备方法，所述方法为：将硅片清洗除杂后，浸入体积浓度10％HF水溶液中；再在N2环境下进行烘烤干燥，获得干燥后的硅片；将干燥后的硅片浸入体积浓度10‑50％HF水溶液中进行表面基团处理，去离子水清洗，获得F基化的硅片；将F基化的硅片放入原子层沉积设备中，在60‑180℃下交替通入TiCl4和H2O，重复循环，在硅片正反表面制备TiOx薄膜层，即为钝化层。本发明实现了高少数载流子寿命的硅表面钝化，避免了传统钝化膜制备中的高温工艺，制备的TiOx钝化硅片少子寿命可直接达到1.5‑1.8ms，较目前已报道的经退火TiOx钝化膜的少子寿命提升约30％。
一种表面钝化制备方法

[实用新型]一种原子层沉积用远程等离子体发生装置-CN202320522868.2有效
发明人：丁阳;蔡村;许颖;韦德远;王会鹏 -专利权人：活石半导体（北京）有限公司
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及原子层沉积技术领域，且公开了一种原子层沉积用远程等离子体发生装置，包括主体，所述主体两侧的中间位置处对称开设有出口，所述主体内部的两侧对称固接有安装板，所述安装板内部的中间位置处安装有发生器，所述主体内顶部的中间位置处安装有可以进行散热的散热组件，该原子层沉积用远程等离子体发生装置，可以将装置内部的热量抽出，防止装置内部的热量过高对装置内部的零部件造成损伤，不但提高了装置的散热效果，还提高了装置的使用寿命，该原子层沉积用远程等离子体发生装置，可以对外界连接的管道进行加固，防止装置在使用时连接管道发生掉落，进而提高了装置在使用时的稳定性。
一种原子沉积远程等离子体发生装置

[实用新型]一种光学检测用自动翻转样品台-CN202222688731.2有效
发明人：李爽;丁阳;蔡村;孙彪;韦德远 -专利权人：活石半导体（北京）有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学检测用自动翻转样品台，包括移动仓，所述移动仓的顶部固定连接有固定板，所述固定板的表面固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶端固定连接有功能板，所述功能板表面的一侧固定连接有安装块，所述安装块表面的两侧均安装有第一电动伸缩杆，所述安装块表面的中部固定连接有安装柱，所述安装柱的一端安装有电机本体，所述电机本体的输出端连接有旋转台。本实用新型通过设置的移动仓、固定板、支撑柱、功能板、安装块、第一电动伸缩杆、安装柱、电机本体、旋转台、夹持板、夹持槽、插接柱、第五电动伸缩杆、限位杆、转盘和第一外部开关，使用时，通过以上设备之间的配合，达到了使装置可以适应多种设备进行夹持检测的目的。
一种光学检测自动翻转样品

[实用新型]一种化学气相沉积用气体分布装置-CN202222688921.4有效
发明人：李爽;丁阳;蔡村;孙彪;韦德远;辛毓 -专利权人：活石半导体（北京）有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型涉及气体分布技术领域，具体为一种化学气相沉积用气体分布装置，包括分布装置主体，所述气体分布装置主体包括设备外壳，所述设备外壳的顶端外表面连接有泄压组件，所述设备外壳的内部连接有分布组件主体，所述设备外壳的内部连接有封盖，且封盖的内部连接有扶持组件，所述设备外壳的内壁连接有出气槽；所述扶持组件包括第一抵板、缓冲气囊、第一支撑杆、第一卡杆、出气槽。该化学气相沉积用气体分布装置，通过设置扶持组件，可有效方便沉积盘进行固定，减少气流冲击沉积盘时所产生的晃动，且该装置通过设置泄压组件，可有效通过气体冲击第一撑杆，使部分高压气体从设备外壳的内部排出，以增加泄压效果。
一种化学沉积气体分布装置

[实用新型]一种原子层沉积用前驱体储罐-CN202221564711.8有效
发明人：丁阳;蔡村;许颖;韦德远 -专利权人：活石半导体（北京）有限公司
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B65D90/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及储罐技术领域，具体为一种原子层沉积用前驱体储罐，包括储罐主体和沉积盘，所述储罐主体包括罐体，所述罐体的内壁连接有紧固机构，所述罐体的底端外表面连接有取样瓶，且取样瓶的顶端表面连接有取样机构；所述紧固机构包括第一卡杆、第一连接座、第一抵块和扭力弹簧，所述罐体的内壁连接有第一连接座，且第一连接座的内壁连接有第一卡杆，所述第一卡杆的一侧表面连接有扭力弹簧，所述第一卡杆的外表面连接有第一抵块。该原子层沉积用前驱体储罐，通过设置紧固机构，可有效方便对沉积盘进行紧固固定，且该装置通过设置取样机构，可有效方便对气体进行引导取样。
一种原子沉积前驱体储罐

[实用新型]一种用于大功率晶圆检测的真空处理器运动操纵系统-CN202221649108.X有效
发明人： 韦德远;王辉文;严黎明 -专利权人：湖北九峰山实验室
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于大功率晶圆检测的真空处理器运动操纵系统，包括：晶圆检测单元、晶圆固定托盘、运动单元和第一真空腔体；晶圆检测单元、晶圆固定托盘和运动单元均设置于第一真空腔体内，且晶圆固定托盘固定于运动单元。在本方案中，通过第一真空腔体为晶圆构建真空检测环境，使得在大电流的测试环境下，避免在高电压情况下发生电弧击穿芯片，此种检测环境具有操作简便、芯片良率好等特点。
一种用于大功率检测真空处理器运动操纵系统

[实用新型]一种原子层沉积用等离子体供应装置-CN202221487388.9有效
发明人：丁阳;蔡村;许颖;韦德远;辛毓 -专利权人：活石半导体（北京）有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及原子层沉积技术领域，具体为一种原子层沉积用等离子体供应装置，包括供应装置主体，所述供应装置主体包括设备外壳，所述设备外壳的的外表面连接有发生器，且发生器的一侧表面连接有锁定机构，所述设备外壳的内壁连接有下支撑块，且下支撑块的顶端表面连接有第一抵板，所述第一抵板的底端表面连接有固定组件；所述锁定机构包括内通管、第一连接环和螺纹件，所述发生器的一侧表面连接有内通管，且内通管的外表面连接有螺纹件，所述螺纹件的外表面套接有第一连接环。该原子层沉积用等离子体供应装置，通过设置锁定机构，可有效方便使发生器和设备外壳进行连接，且该装置通过设置固定组件，可有效方便对第一抵板进行紧固固定。
一种原子沉积等离子体供应装置

[实用新型]一种垂直绿化式公交站亭-CN202022513054.1有效
发明人： 韦德远 -专利权人：广西贵港市达远科技发展有限公司
申请日： 2020-11-03 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： E04H1/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及公交站亭设计领域，具体为一种垂直绿化式公交站亭，包括亭座和顶座，所述亭座通过三根亭柱连接有顶座，所述亭座和顶座之间连接有站台，所述站台的一侧正式面设有植被槽且通过隔板分为上下两层，所述植被槽和隔板的顶端安装有滑槽板，所述滑槽板的顶端设有分类隔板和植被花盆且分类隔板的底端连接有滑块，所述植被槽的外部连接有玻璃防护板，所述植被槽的一侧安装有介绍栏。通过设置滑槽板和多个分类隔板，通过滑块将分类隔板在滑槽板上滑动，将滑槽板分隔成数个不同大小的空间，从而将不同种类和数量的植被花卉分开放置，便于分类和管理，提高公交站亭的绿化程度，玻璃防护板正式面设有多个透气孔，起到了为植被透气的效果。
一种垂直绿化公交

[实用新型]一种基于SERF磁力仪的病毒浓度检测装置-CN202021644881.8有效
发明人：林强;李德钊;张桂迎;阮乂;李衎;李东梅;韦德远;阮杨涛 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： G01N27/74 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于SERF磁力仪的病毒浓度检测装置。现有检测方法检测周期长、操作复杂。本实用新型包括磁屏蔽箱、支架、微通道构件、SERF磁力仪、注射泵、回收瓶。支架中支杆的悬空端上下两侧分别设置有构件卡槽和探头卡槽，由信号采集孔伸入磁屏蔽箱内。微通道构件本体内开有微通道，微通道两端开口分别连接有进、出口插接件。微通道构件设置在构件卡槽内，SERF探头设置在探头卡槽内；注射泵、回收瓶、SERF磁信号采集设备设置在磁屏蔽箱外；注射泵与进口插接件连接，回收瓶与出口插接件连接，SERF探头与磁信号采集设备连接。本实用新型检测速度快、应用范围广、探测灵敏度高，适用于公共空间中病毒浓度的检测。
一种基于 serf 磁力病毒浓度检测装置

[发明专利]一种导航性能良好的车载导航系统-CN201710583899.8有效
发明人： 韦德远 -专利权人：浙江高速信息工程技术有限公司
申请日： 2017-07-18 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： G01C21/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种导航性能良好的车载导航系统，包括GPS模块、地图匹配模块、信息获取装置、控制装置和显示装置；所述GPS模块用于接收卫星传递的定位信息；所述地图匹配模块根据接收到的定位信息获取车辆在地图上的位置信息；所述信息获取装置用于获取车辆引导信息；所述控制装置用于根据车辆在地图上的位置信息和车辆引导信息对车辆进行导航；所述显示装置用于显示车辆在地图上的位置信息和车辆引导信息。本发明的有益效果为：提供了一种导航性能良好的车载导航系统，实现了车辆精确导航。
一种导航性能良好车载导航系统

[发明专利]基于SERF磁力仪的病毒浓度检测装置-CN202010795261.2在审
发明人：林强;李德钊;张桂迎;阮乂;李衎;李东梅;韦德远;阮杨涛 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G01N27/74 文献下载
摘要：本发明公开了基于SERF磁力仪的病毒浓度检测装置。现有的检测方法检测周期长、操作复杂。本发明包括磁屏蔽箱、支架、微通道构件、SERF磁力仪、注射泵、回收瓶。支架中支杆的悬空端上下两侧分别设置有构件卡槽和探头卡槽，由信号采集孔伸入磁屏蔽箱内。微通道构件本体内开有微通道，微通道两端开口分别连接有进、出口插接件。微通道构件设置在构件卡槽内，SERF探头设置在探头卡槽内；注射泵、回收瓶、SERF磁信号采集设备设置在磁屏蔽箱外；注射泵与进口插接件连接，回收瓶与出口插接件连接，SERF探头与SERF磁信号采集设备连接。本发明检测速度快、应用范围广、探测灵敏度高，适用于公共空间中病毒浓度的检测。
基于 serf 磁力病毒浓度检测装置

[发明专利]一种便捷的污水中悬浮颗粒浓度在线检测系统-CN201710582054.7有效
发明人： 韦德远 -专利权人：邯郸锦绣天成环保科技有限公司
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：一种便捷的污水中悬浮颗粒浓度在线检测系统，包括图像采集装置、微处理器模块、数据存储模块、无线传输模块和显示模块，所述图像采集装置用于采集污水池中各区域的污水图像，所述微处理器模块用于对采集得到的污水图像进行处理和分析，从而计算污水中悬浮颗粒的浓度，所述数据存储模块用于保存采集得到的污水图像的信息，所述无线传输模块用于将计算所得的悬浮颗粒浓度值传输到显示模块进行显示。本发明的有益效果为：本系统将图像处理技术应用到污水中悬浮颗粒浓度的在线检测中，通过对所述污水图像进行图像滤波、图像分割和图像识别等算法，能够准确、实时测量出污水中悬浮颗粒的浓度，实现自动化检测和控制。
一种便捷污水悬浮颗粒浓度在线检测系统

[发明专利]一种检索准确的图像检索系统-CN201710581320.4有效
发明人： 韦德远 -专利权人：杭州缦图摄影有限公司
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G06F16/583 文献下载
摘要：本发明提供了一种检索准确的图像检索系统，包括图像输入模块、图像检索模块、图像排序模块和显示终端，所述图像输入模块用于输入用户提供的样例图像，所述图像检索模块用于从图像数据集中检索与样例图像相似的图像，获取检索结果，所述图像排序模块用于根据检索结果与样例图像的相似度对检索结果排序，获取排序列表，所述显示终端用于显示和存储检索结果和排序列表，包括画面显示模块、存储模块和通信模块，所述画面显示模块用于显示检索结果和排序列表，所述存储模块用于存储检索结果和排序列表，所述通信模块用于从所述图像检索模块和图像排序模块获取检索结果和排序列表。本发明的有益效果为：实现了图像的准确检索和显示。
一种检索准确图像检索系统

[发明专利]一种人机交互效果良好的智能机器人-CN201810502108.9有效
发明人：朱金荣;李斌;朱明宇;韦德远 -专利权人：扬州小纳熊机器人有限公司
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种人机交互效果良好的智能机器人，包括环境感知子系统、运动控制子系统、检测子系统、交互子系统和报警子系统，所述环境感知子系统包括红外感应模块、测距模块和摄像头，所述红外感应模块用于对附近人员进行感知，所述测距模块采用超声测距仪对周围障碍物进行检测，所述运动控制子系统包括第一控制模块和第二控制模块，所述第一控制模块控制机器人摄像头转向有人员的方向，所述第二控制模块控制机器人躲避障碍物向人员移动，所述检测子系统用于对人员的手势进行检测，所述交互子系统用于机器人和人员通过手势进行交互。本发明的有益效果为：机器人能够自动对人员和障碍物进行检测，并对人员手势进行检测，实现了良好的人机交互。
一种人机交互效果良好智能机器人

[发明专利]一种电网设备智能监测系统-CN201710634398.8有效
发明人： 韦德远 -专利权人：南京苏瑞科技实业有限公司
申请日： 2017-07-29 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： H02J13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种电网设备智能监测系统，包括电网设备无线监测模块、数据处理模块和智能终端，所述电网设备无线监测模块基于无线传感器网络采集电网设备实时电网设备实时监测数据，并将采集到的电网设备实时电网设备实时监测数据发送到所述数据处理模块，所述数据处理模块用于接收、存储、显示电网设备实时电网设备实时监测数据，并将电网设备实时电网设备实时监测数据与预先设定的正常阈值范围的边界值进行比较，若超过正常阈值范围，则输出报警信号。本发明利用无线传感器网络技术实现了电网设备监测，并在电网设备实时电网设备实时监测数据异常时进行报警，便于相关人员进行远程监控。
一种电网设备智能监测系统

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