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- [发明专利]一种晶圆取放机械手-CN201910374047.7有效
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张庆钊;陈百捷;姚广军;王镇清
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芯导精密（北京）设备有限公司
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2019-05-07
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2020-10-20
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B25J11/00
- 本发明公开了一种晶圆取放机械手，机械手升降机构滑动连接有主臂机构，主臂机构能够相对于机械手升降机构移动，主臂机构转动连接有前臂机构的一端，前臂机构的另一端转动连接有手叉组件的一端，机械手升降机构上设有托盘支架，托盘支架上设有托盘，托盘能够沿X轴运动，手叉组件能够带动晶圆沿Y轴移动，Y轴与X轴空间垂直且均平行于托盘所在的平面，主臂机构或托盘支架上设有三组对射传感器，对射传感器相对于X轴和Y轴静止，对射传感器之间的光线能够同时与晶圆的外径相交。使得晶圆的圆心可以在手叉组件携带晶圆并将晶圆放置到托盘的过程中就自动确定好晶圆圆心的位置，省去了专用的寻圆心工位，还简化了操作流程。
- 一种晶圆取放机械手
- [发明专利]一种自带晶圆寻边传感器的机械手-CN201610572484.6有效
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陈百捷;王镇清;姚广军
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芯导精密（北京）设备有限公司
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2016-07-20
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2019-09-13
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H01L21/687
- 本发明涉及一种自带晶圆寻边传感器的机械手，包括主臂（100）、寻边传感器（1103）和芯轴组件（140），寻边传感器（1103）能随主臂（100）一起升降旋转，主臂（100）采用第一中空结构，芯轴组件（140）贯穿所述第一中空结构并设置成相对主臂（100）不旋转但能相对主臂（100）升降的状态，芯轴组件（140）采用中空轴形成第二中空结构，所述第二中空结构始终保持抽气状态，托盘（1402）托住晶圆背部并与之保持一定空间与大气相通产生负压，使托盘（1402）在取送晶圆时能够稳固并托住晶圆。本发明将寻边传感器与机械手合二为一，寻边过程中晶圆不旋转主臂带着传感器高速旋转,有效避免现有旋转晶圆带来的缺陷，托盘支撑晶圆的负压结构有效克服了现有吸盘结构的缺陷。
- 一种带晶圆寻边传感器机械手
- [实用新型]硅片预对准装置-CN201320633269.4有效
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陈百捷;姚广军;马丽梅;刘学辉
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北京自动化技术研究院
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2013-10-14
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2014-06-11
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H01L21/68
- 本实用新型涉及一种硅片预对准装置，包括水平顶板，垂直设置在顶板一端的转轴，卡装在转轴顶端的吸盘，转动连接于转轴另一端的转轴电机，卡装在转轴上且位于吸盘下方的下托架，设置在下托架边缘的伸出爪，转动连接在伸出爪末端的定位轮以及通过连接件固定在顶板一端的一对射式传感器。转轴电机转动连接转轴，定位轮是由位于定位轮顶部的圆锥体、位于圆锥体下表面的倒圆锥体、位于倒圆锥体下表面的圆柱体以及位于圆柱体下表面的凸台组成，倒圆锥体、圆柱体和凸台形成一环形凹槽，圆锥体下表面与倒圆锥体上表面的直径相等，倒圆锥体下表面直径等于圆柱体的直径，凸台直径大于圆柱体直径。本实用新型具有对硅片损害、污染小，预对准精度高等优点。
- 硅片对准装置
- [发明专利]一种硅片预对准装置-CN201310479044.2有效
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陈百捷;姚广军;马丽梅;刘学辉
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北京自动化技术研究院
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2013-10-14
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2014-01-01
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H01L21/68
- 本发明涉及一种硅片预对准装置，它包括水平顶板，垂直设置在水平顶板一端的转轴，卡装在转轴顶端的吸盘，转动连接于转轴另一端的转轴电机，卡装在转轴上且位于吸盘下方的下托架，设置在下托架边缘的伸出爪，转动连接在伸出爪末端的定位轮以及通过连接件固定在水平顶板一端的一对射式传感器。转轴电机转动连接转轴，定位轮是由位于定位轮顶部的圆锥体、位于圆锥体下表面的倒圆锥体、位于倒圆锥体下表面的圆柱体以及位于圆柱体下表面的凸台组成，倒圆锥体、圆柱体和凸台形成一环形凹槽，圆锥体下表面与倒圆锥体上表面的直径相等，倒圆锥体下表面直径等于圆柱体的直径，凸台直径大于圆柱体直径。本发明具有对硅片损害、污染小，预对准精度高等优点。
- 一种硅片对准装置
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