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[发明专利]一种超薄IC晶圆专用划片刀及其制作方法-CN202210394970.9在审
发明人： 闫贺亮;邵俊永;王战;杨森;陈月涛;董峰;刘建双;栗云慧;窦文海;乔帅;付林泊;杨双;高鹏 -专利权人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： B24D5/12 文献下载
摘要：本发明属于半导体芯片加工制造技术领域，具体涉及一种超薄IC晶圆专用划片刀及其制作方法。所述超薄IC晶圆专用划片刀，由基体和镀覆在基体表面的复合镀层构成，所述复合镀层由电镀镍结合剂和金刚石磨料组成；复合镀层的厚度为13~16μm；所述基体为铝基体；复合镀层伸出基体之外的部分为刀刃，刀刃长度为380~440μm。本发明所述超薄IC晶圆专用划片刀能够改善50~100μm厚度范围的超薄IC硅晶圆的切割质量，还能够能克服DAF膜的粘附，减少常规刀片切割时典型的背崩、侧崩、背裂的发生，进而提升晶圆划切良率和加工效率。
一种超薄 ic 专用划片及其制作方法

[发明专利]一种表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法-CN202210202342.6在审
发明人：董峰;邵俊永;王战;闫贺亮;乔帅;栗云慧;刘建双;窦文海;杨双;陈月涛;高鹏 -专利权人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C25D5/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法：将精加工过的铝合金轮毂基体组装模具后进行电镀预处理，包括：除油清洗‑水洗‑氧化层去皮‑水洗‑酸洗除灰‑水洗‑无氰浸锌溶液一次浸锌‑水洗‑退锌‑水洗‑无氰浸锌溶液二次浸锌‑水洗；将电镀预处理过的铝合金轮毂基体浸入含有金刚石微粒的电镀溶液中使基体外圆3‑4mm处沉积镍基‑金刚石复合镀层；去除表面的镍基金属凸起和浮沙修整镀层外圆，将复合镀层靠近刀片的铝合金基体边缘浸入氢氧化钠溶液中腐蚀掉，使复合镀层暴露出300‑700um长度，形成刀刃。该方法使刀片在切割过程避免晶圆正面崩裂的应用失效，同时电镀预处理工艺使用无氰溶液，降低了废液处理成本。
一种表面凸起电镀超薄切割砂轮制作方法

[发明专利]一种半导体晶圆阶梯切割用高强度划片刀及制作方法-CN202110359262.7有效
发明人： 闫贺亮;邵俊永;王战;乔帅;董峰;窦文海;陈月涛;高鹏 -专利权人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2021-04-01 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本发明公开的一种半导体晶圆阶梯切割用高强度划片刀及制作方法，刀刃靠近盘状基体段的厚度大于远离盘状基体段的厚度，消除电镀过程中尖端效应导致的刀刃根部过于薄弱的缺点，可以将刀刃长度做的更长，进而可以提高划片刀划切半导体晶圆的使用寿命；从原理上实现刀刃厚度一致，可以直接提高划片刀的极限转速和进刀速度，进而可以提高加工效率；刀片反复参与切割，刀刃根部疲劳断裂容易导致的过早断刀，而刀刃根部的强化可以延迟断刀的发生，刀刃根部的强化，可以减少切割过程中的刀刃摆动，减少切割过程中的正崩、背崩以及侧裂。
一种半导体阶梯切割强度划片制作方法

[发明专利]一种碳化硅切割用划片结构及其在线修整方法-CN202110369700.8有效
发明人：张迪;邵俊永;王战;韩雪;闫贺亮;陈月涛 -专利权人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：一种碳化硅切割用划片结构及其在线修整方法，首次提出划片刀用环形修刀板，将SiC晶圆与环形修刀板一起粘贴在胶膜后吸附在陶瓷工作盘上再依次进行切割，实现了SiC晶圆划片刀切割过程中的在线修整功能，每次划切时均先经过环形修刀板进行修刀，随后对SiC晶圆进行划切，最后再次经过环形修刀板进行修刀，保证了刀刃表面金刚石磨料的出露，解决了划片刀失去切割能力导致突然断刀的问题，不仅节省了单独修刀的时间，还减少了SiC晶圆切割过程中发生断刀的概率。
一种碳化硅切割划片结构及其在线修整方法

[发明专利]一种具有微尺寸冷水槽的电镀砂轮的制作方法-CN202010542652.3有效
发明人： 闫贺亮;王宁昌;邵俊永;王战;张迪;乔帅;董峰;栗云慧 -专利权人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2020-06-15 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有微尺寸冷水槽的电镀砂轮的制作方法，包括：将圆盘形状的铝基体浸入电镀液中，通过遮挡在大端面形成厚度10～50μm的复合镀层；将复合镀层的外缘部分背后的铝基体去除，之后得到具有特定长度刀刃的圆盘形刀片；移动激光头，使其焦点距离刀刃外缘一段距离，并调整焦距使其聚焦在刀刃上；基座旋转带动刀片旋转，激光头在刀刃上加工出呈圆周阵列排布的冷水槽；激光加工后的刀刃，经过电解抛光和磨刀板修整。非接触加工方式保证了在冷水槽制作过程中不会对刀刃造成损伤。在保证刀刃强度不明显降低的基础上，刀刃两侧增加了冷水槽结构，增强冷却能力和排屑能力，对玻璃、碳化硅、厚硅片有较好的切割。
一种具有尺寸水槽电镀砂轮制作方法

[发明专利]一种超薄晶圆的划切方法-CN202110369726.2在审
发明人：张迪;邵俊永;王战;闫贺亮;陈月涛 -专利权人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：一种超薄晶圆的划切方法，利用跳步划切的方式，首先将晶圆划切为较大芯片颗粒，将晶圆内应力进行释放，然后再将较大芯片颗粒划切为更小颗粒，直至划切为目标尺寸，该方法适用于30～200μm厚度晶圆的划切，完美解决了超薄晶圆容易发生裂片、崩边的问题，降低划切过程中飞晶发生概率，降低超薄晶圆划切正面、背面崩边不良率，提高超薄晶圆划切效率。
一种超薄方法

[发明专利]一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置-CN202011353653.X在审
发明人：王宁昌;闫贺亮;朱建辉;徐钰淳;赵延军;宋运运;赵炯 -专利权人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，包括吸盘底座、设于吸盘底座上的U型滑台装置以及控制U型滑台装置倾斜角度的滑台微调系统，滑台微调系统与U型滑台装置通过齿轮啮合定位，U型滑台装置上方还固设有用于吸附的微孔陶瓷；U型滑台装置包括U型滑台上部和U型滑台下部，且U型滑台上部和U型滑台下部通过对应布设的槽结构滑动配合，并通过配设在U型滑台上部的滑台紧固件锁紧固定。该用于衬底材料最优划片方向的微调吸盘装置，通过U型滑台装置和控制U型滑台装置倾斜角度的滑台微调系统的布设，可以实现调节衬底的倾斜角度，进而能够以最优的加工方向对衬底进行划片加工，减少崩边的尺寸，提高加工质量和晶圆的利用率。
一种用于衬底材料最优划片方向微调吸盘装置

[发明专利]一种砷化镓晶圆用划片刀修刀方法-CN202010546293.9在审
发明人： 闫贺亮;张迪;邵俊永;王战;乔帅;董峰;李媛媛;栗云慧 -专利权人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
申请日： 2020-06-15 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种砷化镓晶圆用划片刀修刀方法，包括：步骤1、将磨刀板固定，安装划片刀；步骤2、磨刀，随着划切刀数的增加，切入磨刀板深度逐渐增大，进刀速度逐渐增大，总共划切20~40刀；步骤3、固定砷化镓假片；步骤4、修锐，随着划切刀数的增加，切入砷化镓假片深度逐渐增大，进刀速度逐渐增大，总共划切20~50刀；步骤5、切割质量检验，测量缝宽和正崩尺寸，如果缝宽和正崩都满足要求，则修整完成；如果缝宽或者正崩超出质量要求，则返工或报废。保证划片刀具备较好的初始切割质量，并且加入了100%切割性能检验之后，客户现场切割质量更稳定。
一种砷化镓晶圆用划片刀修刀方法

[实用新型]一种海陆空四轴双体交通工具-CN201520649047.0有效
发明人：刘强;侯强;王翠;周晓勤;闫贺亮;薛震 -专利权人：吉林大学
申请日： 2015-08-26 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： B60F5/02 文献下载
摘要：一种海陆空四轴双体交通工具，属于交通运输领域。四个飞行驱动电机分别安装在四轴飞行器支架上，每个飞行驱动电机的轴上分别安装有飞行螺旋桨，双体船通过连接螺钉与四轴飞行器支架的下方固定连接，电机、减速器分别与双体船侧面固定连接，电机通过减速器与回转轴固定连接，履带支撑架与回转轴固定连接，主动轮安装在履带支撑架的前端，从动轮安装在履带支撑架的周围，履带包裹在主动轮和从动轮上，在履带支撑架的内侧安装有履带驱动电机，履带驱动电机通过履带驱动变速器驱动主动轮，限位板与履带支撑架的内侧固定连接，在双体船每个船体的尾部分别安装有一个水中推进电机，水中推进电机通过水中推进变速器与水中推进螺旋桨连接。优点是结构新颖，具有海陆空三栖行驶、越野性强、飞行或行驶稳定、安全可靠、避免交通堵塞等特点。
一种海陆空四轴双体交通工具

[发明专利]太阳能飞行器-CN201410675572.X有效
发明人：巩明德;闫贺亮;梁燚杰;袁强;沈刚 -专利权人：吉林大学
申请日： 2014-11-21 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： B64C27/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能飞行器，旨在解决现有飞行器的续航能力有限、飞行姿态单一、不能悬停与安全性低等问题，其包括外壳(1)、动力装置与能量单元。外壳(1)包括下壳(101)与上壳(102)；下壳(101)顶端面的中心处设置有椭圆形孔，下壳(101)的四角处设置有1号至4号机翼通孔；上壳(102)扣装在下壳(101)的椭圆形孔上并用防水胶粘接；动力装置的1号至4号直流无刷电机安装在外壳(1)的1号至4号机翼通孔中1、2号短轴与1、2号长轴端部；能量单元的薄膜型太阳能电池板(7)贴在外壳(1)表面上，1号蓄电池组(501)与2号蓄电池组(502)固定在动力装置的基座(2)中的底板(901)的一端上。
太阳能飞行器

[实用新型]一种两轴解耦的快速刀具伺服装置-CN201420397286.7有效
发明人：周晓勤;王荣奇;闫贺亮;王俊;刘志伟 -专利权人：吉林大学
申请日： 2014-07-17 - 公布日： 2014-12-03 - 主分类号： B23Q5/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种两轴解耦的快速刀具伺服装置，属于光学曲面零件和超精密零件切削加工技术领域。金刚石刀具通过固定螺钉与柔性铰链基体上的刀座固定连接，X轴压电叠堆的两端分别与柔性铰链基体和X轴驱动端相连接，该X轴压电叠堆通过预紧螺栓一与该柔性铰链基体连接，Z轴压电叠堆一、Z轴压电叠堆二分别与柔性铰链基体和Z轴驱动端相连接，该柔性铰链基体刀座的后面安装有位移检测块，并通过固定螺钉与该柔性铰链基体固定连接。优点在于：结构新颖，采用压电驱动器并联驱动柔性机构的方式，减少了柔性铰链机构运动部分的惯性质量，有利于增加FTS装置的工作带宽，提高FTS装置的加工效率。
一种两轴解耦快速刀具伺服装置

[发明专利]一种两轴解耦的快速刀具伺服装置-CN201410342405.3有效
发明人：周晓勤;王荣奇;闫贺亮;王俊;刘志伟 -专利权人：吉林大学
申请日： 2014-07-17 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： B23Q5/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种两轴解耦的快速刀具伺服装置，属于光学曲面零件和超精密零件切削加工技术领域。金刚石刀具通过固定螺钉与柔性铰链基体上的刀座固定连接，X轴压电叠堆的两端分别与柔性铰链基体和X轴驱动端相连接，该X轴压电叠堆通过预紧螺栓一与该柔性铰链基体连接，Z轴压电叠堆一、Z轴压电叠堆二分别与柔性铰链基体和Z轴驱动端相连接，该柔性铰链基体刀座的后面安装有位移检测块，并通过固定螺钉与该柔性铰链基体固定连接。优点在于：结构新颖，采用压电驱动器并联驱动柔性机构的方式，减少了柔性铰链机构运动部分的惯性质量，有利于增加FTS装置的工作带宽，提高FTS装置的加工效率。
一种两轴解耦快速刀具伺服装置

[实用新型]饭菜风冷机-CN201320699182.7有效
发明人：侯强;闫贺亮;刘俊杰;管誉翔;刘旭;常小红;王良亮;王亚峰;戴宏浩 -专利权人：侯强
申请日： 2013-11-07 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： F04D25/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种饭菜风冷机，是由十字形基座、第一电机、第二电机、第一风扇、第二风扇、第一电线、第二导线、电池盒、电池、第二几字形固定架、第一几字形固定架和开关构成，电池盒安装在十字形基座之上，电池盒内装有电池，第一电机的输出轴上固定第一风扇，第二电机的输出轴上固定第二风扇，第一风扇和第二风扇向下倾斜，电池盒的电源通过导线与开关连通，开关的引出端分别通过第一电线和第二导线与第一电机和第二电机电连接；本实用新型采用两个风扇中心对称布置，增强了吹冷的效果，并且吹出来的空气方向相反，由于锅内部是圆柱形的，可以形成空气漩涡，使饭菜表面空气流动，从而可以有效冷却，且冷却比较均匀。
饭菜风冷

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