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- [发明专利]一种球面面形误差和曲率半径误差在线检测装置和方法-CN201711183639.8有效
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王姗姗;朱秋东;翟慕岳
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北京理工大学
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2017-11-23
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2019-06-04
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G01B11/24
- 本发明公开了一种球面面形误差和曲率半径误差在线检测装置和方法,该装置包括:样板、待测件、球面LED光源、干涉条纹采集单元、球面面形误差和曲率半径误差检测单元和控制单元;球面LED光源的正面为照射面且相对样板设置,用于提供多种波长的均匀照明光,并以其中至少两种被选定的波长的照明光源分时逐次照射样板和待测件;干涉条纹采集单元用于采集和输出等厚干涉条纹图像;球面面形误差和曲率半径误差检测单元用于获得不同波长照明下等厚干涉条纹图像上同一点的强度变化,得到该点的绝对光程差,并以此类推确定待测件的被测面的上所有点的绝对光程差,进而得到待测件的被测面的面形误差和曲率半径误差。本发明能够实现客观、自动化、高精度、低成本的球面面形误差和曲率半径误差的检测。
- 一种球面误差曲率半径在线检测装置方法
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