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[实用新型]超声显微成像装置及系统-CN202320022396.4有效
发明人：王爱云;高婷 -专利权人： 三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01N29/06 文献下载
摘要：本申请公开了一种超声显微成像装置及系统，属于显微成像装置技术领域。一种超声显微成像装置，其包括：基座、运动组件和超声探头，所述运动组件安装于基座，所述超声探头安装于运动组件，所述运动组件包括：X轴组件，用于驱动超声探头沿X轴方向运动；Y轴组件，用于驱动超声探头沿Y轴方向运动；Z轴组件，用于驱动超声探头沿Z轴方向运动；第一旋转件，用于驱动第二旋转件绕第一转轴旋转；第二旋转件，用于驱动超声探头绕第二转轴旋转，所述超声探头安装于第二旋转件的一端。本申请可以缓解当前超声显微装置难以实现无盲区的全场域超声显微成像的问题，可以使超声探头在空间维度中进行全360°的探测，保证探测数据的完整性。
超声显微成像装置系统

[实用新型]一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统-CN202222899300.0有效
发明人：许朋跃;文杰;贾静 -专利权人： 三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： F16M11/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，包括，底座，底座的上方通过压紧机构对称固定有两套Y轴气浮导轨；X轴气浮导轨，X轴气浮导轨的两端通过第一螺钉固定在Y轴气浮导轨的Y轴气浮套上，X轴气浮导轨的X轴气浮套上通过第二螺钉固定有二维纳米平台；龙门支座，龙门支座通过第一螺栓对称固定在底座的上方，龙门支座的上方通过第二螺栓固定有龙门横梁；Z轴升降平台和Z轴运动平台通过第三螺栓均固定在龙门横梁的前侧，Z轴运动平台的侧面通过直角转接件固定有三维纳米运动平台。提高扫描检测成像精度，同时实现大行程的运动；可胜任不同范围、不同速度、不同精度要求的多种扫描检测成像应用场景。
一种用于精密光学检测成像自由度龙门运动系统

[实用新型]一种气浮转台-CN202320022885.X有效
发明人：文杰;高婷 -专利权人： 三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B25H1/14 文献下载
摘要：本申请公开了一种气浮转台，属于旋转台技术领域。一种气浮转台，包括：底座、外壳、气浮轴组件、压电陶瓷电机和盖板；所述外壳安装在所述底座上，所述外壳的内部具有容纳腔体；所述压电陶瓷电机安装在底座上，所述压电陶瓷电机位于容纳腔体内；所述气浮轴组件连接于压电陶瓷电机的上端，所述气浮轴组件位于容纳腔体内，所述盖板安装在所述气浮轴组件上，在压电陶瓷电机的驱动下，所述气浮轴组件转动，并带动所述盖板相对于所述底座产生转动。本申请可消除机械传动中的动能损失、机械间隙，提高加速度及系统响应频率，减少旋转过程的机械摩擦，降低驱动动能，能够缓解当前旋转台存在的传动过程中具有间隙，摩擦阻力大的问题。
一种转台

[实用新型]一种大型龙门高速运动平台-CN202222897692.7有效
发明人：文杰;贾静 -专利权人： 三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大型龙门高速运动平台，包括，大理石横梁X轴，所述大理石横梁X轴通过第一螺栓固定在横梁支座的上方；大理石Y轴底座，所述大理石Y轴底座通过第二螺栓固定在所述横梁支座的底部，所述大理石Y轴底座的上方通过第三螺栓固定有Y轴承载台面；气浮隔振系统，所述气浮隔振系统通过第四螺栓固定在所述大理石Y轴底座的下方。满足了对大尺寸样品精密定位的要求，为大型显示面板的无损测量和在线测量的质量提供了保障。
一种大型龙门高速运动平台

[发明专利]一种大型龙门高速运动平台-CN202211357301.0在审
发明人：文杰;贾静 -专利权人： 三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种大型龙门高速运动平台，包括，大理石横梁X轴，所述大理石横梁X轴通过第一螺栓固定在横梁支座的上方；大理石Y轴底座，所述大理石Y轴底座通过第二螺栓固定在所述横梁支座的底部，所述大理石Y轴底座的上方通过第三螺栓固定有Y轴承载台面；气浮隔振系统，所述气浮隔振系统通过第四螺栓固定在所述大理石Y轴底座的下方。满足了对大尺寸样品精密定位的要求，为大型显示面板的无损测量和在线测量的质量提供了保障。
一种大型龙门高速运动平台

[发明专利]一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统-CN202211357815.6在审
发明人：许朋跃;文杰;贾静 -专利权人： 三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： F16M11/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，包括，底座，底座的上方通过压紧机构对称固定有两套Y轴气浮导轨；X轴气浮导轨，X轴气浮导轨的两端通过第一螺钉固定在Y轴气浮导轨的Y轴气浮套上，X轴气浮导轨的X轴气浮套上通过第二螺钉固定有二维纳米平台；龙门支座，龙门支座通过第一螺栓对称固定在底座的上方，龙门支座的上方通过第二螺栓固定有龙门横梁；Z轴升降平台和Z轴运动平台通过第三螺栓均固定在龙门横梁的前侧，Z轴运动平台的侧面通过直角转接件固定有三维纳米运动平台。提高扫描检测成像精度，同时实现大行程的运动；可胜任不同范围、不同速度、不同精度要求的多种扫描检测成像应用场景。
一种用于精密光学检测成像自由度龙门运动系统

[发明专利]一种基于柔性铰链的并联两自由度纳米位移定位平台-CN201811430442.4有效
发明人：须颖;贾静;王慧锋 -专利权人：广东工业大学;三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G12B5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于柔性铰链的并联两自由度纳米位移定位平台，包括两个分别沿X轴和Y轴设置的驱动系统、运动平台、并联铰链和固定平台；每个所述驱动系统包括压电陶瓷、连接块、杠杆、预紧弹簧、推杆和多个连接铰链；所述压电陶瓷一端固定在所述固定平台上，另一端与所述连接块相连；所述杠杆连接在所述连接块和所述预紧弹簧之间，所述连接块通过其中一个所述连接铰链与所述杠杆相连，所述预紧弹簧一端固定在所述固定平台上，另一端与所述杠杆相连，所述杠杆通过其中另一个所述连接铰链与所述固定平台相连；所述推杆通过设置在所述推杆两端的两个所述连接铰链分别与所述杠杆和所述运动平台相连；运动平台通过并联铰链与固定平台相连。
一种基于柔性铰链并联自由度纳米位移定位平台

[发明专利]一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法-CN202111374217.5在审
发明人：刘浩;须颖;贾静 -专利权人： 三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G01B21/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法，包括：基座；横梁，安装在基座上；滑台，可用于承载晶圆；直线电机，用于驱动滑台沿横梁滑动；传感器，具有至少三个，可用于检测晶圆的垂直直线度；气浮轴承，包括第一气浮轴承、第二气浮轴承以及第三气浮轴承，用于滑台的悬浮；补偿装置，基于传感器检测的实时数据，对晶圆的垂直直线度进行补偿。本发明可以消除基座因机械加工精度固有因素导致的运动平台垂直直线度不高、无法对平台运动过程中的垂直直线度进行检测和补偿的技术问题，极大地提高了晶圆运动过程中的垂直直线度。
一种检测高精度运动平台方法

[实用新型]一种气浮止推轴承静刚度测试系统-CN202120397630.2有效
发明人：刘浩;须颖;王成勇;沈宝云;罗杨泉 -专利权人：广东工业大学;三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： G01M13/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气浮止推轴承静刚度测试系统，包括气浮轴承、顶杆、测试平台、加载气缸、压力传感器、精密调压阀和气膜厚度测量组件；气浮轴承设在测试平台上，且气浮轴承侧面设有多个进气孔；加载气缸位于气浮轴承上方且固定于测试平台上；压力传感器和加载气缸连接；顶杆和压力传感器连接，且顶杆与气浮轴承为线接触；精密调压阀和加载气缸连接；气膜厚度测量组件包括气膜厚度探测板和电容传感器，气膜厚度探测板固定于气浮轴承侧面，电容传感器位于气膜厚度探测板下方。本实用新型设置加载气缸进行加载能够实现非常高的力加载分辨率，整个气浮止推轴承静刚度测试系统操作方式简单。
一种气浮止推轴承刚度测试系统

[发明专利]基于三维卷积神经网络的多孔介质渗透率的预测方法-CN202110212709.8在审
发明人：肖海善;须颖;王成勇;刘浩;钟强 -专利权人：广东工业大学;三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请是关于一种基于三维卷积神经网络的多孔介质渗透率的预测方法。该方法基于多孔介质的三维图像样本进行分类训练，得到一个三维卷积神经网络，并利用该三维卷积神经网络对待测多孔介质的三维图像进行处理，得到待测多孔介质的渗透率。本申请提供的方案，能够简单快速地完成对多孔介质渗透率的预测，并且得到的预测结果具有足够的可靠性。
基于三维卷积神经网络多孔介质渗透预测方法

[发明专利]多孔介质渗透率预测方法、电子设备和存储介质-CN202110202002.9在审
发明人：刘浩;须颖;王成勇;肖海善;沈宝云 -专利权人：广东工业大学;三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请是关于一种多孔介质渗透率预测方法。该方法包括：获取多孔介质的N个孔隙结构参数，所述N个孔隙结构参数能够表征所述多孔介质，所述N为大于1的整数；将所述N个孔隙结构参数输入径向基函数RBF神经网络模型；输出得到所述多孔介质的渗透率。本申请提供的方案通过将多个可以表征多孔介质的孔隙结构参数输入RBF神经网络模型，得到多孔介质的渗透率，因为多个孔隙结构参数能够实现三维地表征多孔介质，所以能够准确地预测多孔介质的渗透率。
多孔介质渗透预测方法电子设备存储

[发明专利]一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台-CN201711474293.7有效
发明人：须颖;王慧峰 -专利权人： 三英精控（天津）仪器设备有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G12B5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于柔性铰链的单自由度大行程纳米位移定位平台，包括平台主体，所述平台主体上有四条柔性铰链，并通过四条铰链将平台主体分为A区、B区、C区、D区四部分，所述A区为移动区，所述B区和C区为受力变形区，所述D区为固定区；所平台主体两端设有左盲孔和右盲孔，所述左盲孔的底部为光滑圆圆锥面，其内部安装有弹簧预紧组件，所述右盲孔的底部也为光滑圆圆锥面，其内部安装有压电陶瓷组件，所述弹簧预紧组件和压电陶瓷组件构成放大机构。本发明实现了小的竖向平台尺寸情况下比较大的竖向位移，可以满足空间较小但是要求竖向行程较大场合的需求。
一种基于柔性铰链自由度行程纳米位移定位平台

[实用新型]一种基于柔性铰链放大的压电微搓动夹持钳-CN201922093293.3有效
发明人：崔良玉;王灿芳;胡高峰;韩建鑫;靳刚;李占杰;贾静;须颖;黄旭栋 -专利权人：天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）;三英精控（天津）仪器设备有限公司;无锡鑫旭润科技有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： B25J7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于柔性铰链放大的压电微搓动夹持钳，包括U形状的机架，所述机架上端内壁通过柔性铰链分别活动连接有第一夹持臂和第二夹持臂，所述第二夹持臂端头固定连接有夹持头，所述第一夹持臂和第二夹持臂下端通过柔性铰链活动连接有置于机架内部的跷板，所述跷板端面开设有圆柱面约束孔。本实用新型涉及一种夹持钳，特别涉及一种基于柔性铰链放大的压电微搓动夹持钳，属于微纳加工技术领域。本实用新型通过两个夹持臂的相对运动控制，实现夹持端头在相互靠近的同时，具有相对运动，即可实现微搓动功能,通过柔性铰链可大幅提高微搓动夹持行程，增加工作空间，满足多种夹持要求。
一种基于柔性铰链放大压电微搓动夹持

[实用新型]一种具有搓动功能的压电微夹钳-CN201922116892.2有效
发明人：崔良玉;王灿芳;胡高峰;韩建鑫;靳刚;李占杰;贾静;须颖;黄旭栋 -专利权人：天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）;三英精控（天津）仪器设备有限公司;无锡鑫旭润科技有限公司
申请日： 2019-12-02 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： B25J7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有搓动功能的压电微夹钳，包括U形状的机架，所述机架上端相对的内壁通过柔性铰链活动安装有夹持臂，两个所述夹持臂上端均固定连接有夹持头，所述夹持臂下端通过柔性铰链活动安装有跷板，所述跷板端面中心处开设有圆柱面约束孔。本实用新型涉及一种压电微夹钳，特别涉及一种具有搓动功能的压电微夹钳，属于微纳加工技术领域。本实用新型通过夹持臂的相对运动控制，实现夹持头在相互靠近的同时，具有相对运动，即可实现微搓动功能，压电陶瓷预紧弹簧上端的夹持头倾斜设置，使两个端面贴合效果好，夹持效果好，通过设置夹持臂预紧弹簧，两个夹持臂的预紧效果更好，机构整体更加稳定。
一种具有功能压电夹钳

[实用新型]一种具有搓动功能的微夹持器-CN201922462603.4有效
发明人：崔良玉;胡高峰;韩建鑫;靳刚;李占杰;贾静;须颖;黄旭栋 -专利权人：天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）;三英精控（天津）仪器设备有限公司;无锡鑫旭润科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： B25J7/00 文献下载
摘要：本实用新型属于夹持器技术领域，具体涉及一种具有搓动功能的微夹持器。该具有搓动功能的微夹持器，包括装配基臂、夹持臂机构、柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器组件，所述装配基臂上设有固定基臂和夹持臂机构，所述夹持臂机构包括第一夹持臂和第二夹持臂，所述第一夹持臂与装配基臂连接，第二夹持臂通过第一传动连接臂与第二传动连接臂连接，所述第一传动连接臂与第二传动连接臂之间和第二传动连接臂与装配基臂之间分别通过柔性铰链机构连接。其有益效果是：结构简单，基于柔性交流电微夹持器，提供微搓动功能，行程大，运动精密可控。
一种具有功能夹持

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