专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]除胶渣处理装置-CN201580003124.8有效
  • 竹添法隆;远藤真一;羽生智行 - 优志旺电机株式会社
  • 2015-01-19 - 2018-11-13 - H05K3/26
  • 本发明的目的是提供一种即使排列配置的多个紫外线灯(21)的相互邻接的紫外线灯(21)的间距(P)大,也能够以高处理效率均匀地处理布线基板材料(1)的除胶渣处理装置(10)。本发明的除胶渣处理装置的特征在于,具备:多个紫外线灯(21),沿布线基板材料(1)被处理面(1a)排列配置;板状的光透射性窗部件(31);以及处理用气体供给机构,布线基板材料(1)被配置在处理用气体供给机构的气体供给口(15a)与气体排出口(16a)之间的位置,在形成于布线基板材料(1)与光透射性窗部件(31)之间的空间中,处理用气体沿多个紫外线灯(21)排列的方向流动,并形成该处理用气体的层流。
  • 处理装置
  • [发明专利]光照射装置-CN201480046358.6有效
  • 羽生智行 - 优志旺电机株式会社
  • 2014-09-09 - 2017-05-24 - H01L21/027
  • 本发明的目的在于提供一种光照射装置,能够以高处理效率均匀地处理被处理物。本发明的光照射装置具备被处理物支撑台,配置被处理物;紫外线灯,对被处理物的被处理面照射真空紫外线;以及光透射窗构件,配置在被处理物与紫外线灯之间,使来自紫外线灯的真空紫外线透射,光照射装置的特征在于,被处理物的被处理面与光透射窗构件之间所形成的间隙的距离被设为1mm以下,设置有向该间隙沿着该被处理面朝向一个方向供给处理气体的气体供给机构,在上述被处理物支撑台上的向上述处理气体的供给方向延伸、且不放置被处理物的区域,配设有遮风构件。
  • 照射装置

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