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[发明专利]半导体制造装置用的温度调节装置和半导体制造系统-CN202310296058.4在审
发明人： 福住幸大;新田慎一;国保典男 -专利权人：荏原冷热系统株式会社;CKD株式会社
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供半导体制造装置用的温度调节装置和半导体制造系统，能够使为了将半导体制造装置设为目标温度所需要的加热部和冷却部的热动力降低。温度调节装置具备：加热部，其生成加热液；冷却部，其生成冷却液；加热液输送管，其用于向半导体制造装置输送加热液；冷却液输送管，其用于向半导体制造装置输送冷却液；加热侧返回管，其用于使通过了半导体制造装置后的加热液与冷却液的混合液返回加热部；冷却侧返回管，其用于使通过了半导体制造装置后的混合液返回冷却部；以及在加热液与混合液之间进行换热的加热侧换热器和在冷却液与混合液之间进行换热的冷却侧换热器中的至少一方。
半导体制造装置温度调节系统

[发明专利]温度控制系统-CN202011304019.7有效
发明人：伊藤彰浩;国保典男;纐缬雅之;长谷川功宏;中泽敏治;高梨圭介;福住幸大 -专利权人： CKD株式会社;株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本公开涉及温度控制系统(100)，其将控制对象(92)的温度控制为随着时间经过而变化的目标温度，温度控制系统(100)具备：调整装置(11)，具有罐(11a)，并将热媒调整到设定温度进行供给；循环回路(110)，使热媒从调整装置流通至能够对控制对象进行热供给的流通部(93)，并使热媒返回至调整装置；调整部(12)，调整从流通部向控制对象供给的热量；存储部(80a)，预先存储时间经过与目标温度的关系；控制部，基于上述关系，在比目标温度发生变化的变化时刻提前预定时间时将设定温度设定为与变化后的目标温度对应的设定温度，并且通过调整部调整热量，使得在到达变化时刻之前将控制对象的温度控制为变化前的目标温度。
温度控制系统

[发明专利]辅助区设置装置-CN202210553685.7在审
发明人：小博基司;福住幸大;坂内伸隆;宫田启雅;花房直也;田冈健;宫崎一知 -专利权人：株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： F25D17/02 文献下载
摘要：本发明提供能够减少在制造半导体时使用的电能消耗的辅助区设置装置。辅助区设置装置具备：真空泵(6)，其用于从半导体制造装置的处理腔室(2)对处理气体进行排气；冷却单元(7)，其用于冷却在处理腔室(2)中使用后的第1循环液；加热单元(8)，其用于加热在处理腔室(2)中使用后的第2循环液；除害装置(10)，其用于对从真空泵(6)排出的处理气体进行除害；以及冷却液管线(12)，其供从冷却源(15)供给的冷却液流动。冷却液管线(12)具有将通过除害装置(10)、真空泵(6)及冷却单元(7)后的冷却液向加热单元(8)供给的第1下游侧管线(26)、第2下游侧管线(27)及第3下游侧管线(28)。
辅助设置装置

[发明专利]辅助区设置装置-CN202210554340.3在审
发明人：小博基司;福住幸大;坂内伸隆;宫田启雅;花房直也;田冈健;宫崎一知 -专利权人：株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够促进辅助区内的设备之间的热利用的协作并且消除设备导入时的配管连接的繁琐性的辅助区设置装置。辅助区设置装置(5)具备：真空泵(6)，其用于从处理腔室(2)排出处理气体；冷却单元(7)，其用于对在处理腔室(2)中使用了的第1循环液进行冷却；加热单元(8)，其用于对在处理腔室(2)中使用了的第2循环液进行加热；和冷却液管线(12)，其供从冷却源(15)供给的冷却液流动。冷却液管线(12)具有将冷却液分别向真空泵(6)及冷却单元(7)供给的分配管线(21)、和将从真空泵(6)及冷却单元(7)通过了的冷却液合流并使其向冷却源(15)返回的合流返回管线(22)。
辅助设置装置

[发明专利]多元制冷循环装置-CN202210497796.0在审
发明人：小博基司;福住幸大;坂内伸隆;宫田启雅 -专利权人：株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： F25D19/04 文献下载
摘要：提供一种多元制冷循环装置，能够减小设置在辅助间内的设备的设置面积，并且能够缩短用于向半导体器件制造装置移送冷却介质的配管。多元制冷循环装置(2)具备：供第1制冷剂循环的第1制冷循环(5)，该第1制冷剂与用于冷却半导体器件制造装置(1)的冷却介质进行热交换；和供第2制冷剂循环的第2制冷循环(6)，该第2制冷剂与第1制冷剂进行热交换，第1制冷循环(5)的至少一部分配置在设置有半导体器件制造装置(1)的无尘室内，第2制冷循环(6)配置在辅助间内。
多元制冷循环装置

[发明专利]经济器-CN201710556492.6有效
发明人：小博基司;佐藤忠;福住幸大 -专利权人：荏原冷热系统株式会社
申请日： 2017-07-10 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： F25B41/40 文献下载
摘要：本发明提供的经济器，具有较高的气液分离性能并且能够通过大幅度地减少气液分离所需的空间而实现外形尺寸的小型化。该经济器具备：容器；挡板，其在容器内配置于与制冷剂入口对置的位置，供从制冷剂入口流入到容器内的气液二相状态的制冷剂碰撞来进行气液分离；除雾器，其在容器内配置于与气体制冷剂出口对置的位置，将气液分离后的气体制冷剂所包含的液滴去除，挡板由在制冷剂入口与除雾器之间的位置沿铅直方向延伸并将制冷剂入口侧与除雾器侧分隔的分隔板构成，在该分隔板的下端与容器的底部之间设置有第一开口，用于将气液分离后的气体制冷剂与液体制冷剂向除雾器下方的空间引导。
经济

[发明专利]冷却系统-CN202011300996.X在审
发明人：伊藤彰浩;国保典男;纐缬雅之;长谷川功宏;中泽敏治;高梨圭介;福住幸大 -专利权人： CKD株式会社;株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2021-05-21 - 主分类号： F25D16/00 文献下载
摘要：提供一种冷却系统，具备第一冷却装置和从第一冷却装置供给热媒的多个第二冷却装置，从而抑制冷却系统整体的功耗。冷却系统(100)包括：第一冷却装置(10)，被电力驱动以供给第一设定温度以下的第一热媒；多个第二冷却装置(40A～40C)，具有使从第一冷却装置供给的第一热媒和第二热媒之间进行热交换的热交换部(46)，并被电力驱动以供给第二设定温度以下的第三热媒，其中，第二设定温度根据时间经过而分别改变；以及设定部(70)，获得多个第二冷却装置的第二设定温度，并根据获得的多个第二设定温度可变地设定第一设定温度。
冷却系统

[发明专利]温度控制系统及综合温度控制系统-CN202011229583.7在审
发明人：伊藤彰浩;国保典男;纐缬雅之;长谷川功宏;中泽敏治;高梨圭介;福住幸大 -专利权人： CKD株式会社;株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： F28F27/02 文献下载
摘要：温度控制系统(200)，其具备供第一热媒循环的第一循环回路(110)；供第二热媒循环的第二循环回路(120)；供第三热媒循环的第三循环回路(130)，第一循环回路具备将第一热媒的温度调整成第一温度后排出的第一调整装置(11)以及第一流通部(114)，第二循环回路具备将第二热媒的温度调整成比第一温度更高的第二温度后排出的第二调整装置(21)以及第二流通部(124)，第三循环回路具备：与第一流通部进行热交换的第三流通部(133)；与第二流通部进行热交换的第四流通部(134)。温度控制系统还具备调整部(135)，调整第一流通部与第三流通部之间交换的热量及第二流通部与第四流通部之间交换的热量。
温度控制系统综合

[发明专利]温度控制系统及综合温度控制系统-CN202011230678.0在审
发明人：伊藤彰浩;国保典男;纐缬雅之;长谷川功宏;中泽敏治;高梨圭介;福住幸大 -专利权人： CKD株式会社;株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： F25B1/10 文献下载
摘要：温度控制系统(600)，其具备分别供第一热媒、第二热媒、第三热媒循环的第一循环回路、第二循环回路、第三循环回路(110，20，130)，第一循环回路具备：使液体状态的第一热媒膨胀并雾化的第一膨胀部(111)；供第一温度的第一热媒流通的第一流通部(114)；压缩气体状态的第一热媒的第一压缩部(112)；以及使第一热媒冷凝并向第一膨胀部供给的第一冷凝部(113)，第二循环回路具备将第二热媒的温度调整成比第一温度更高的第二温度来进行供给的第二调整装置(21)以及第二流通部(124)，第三循环回路具备调整在第一流通部与第三流通部(133)间交换的热量以及在第二流通部与第四流通部(134)间交换的热量的调整部(135)。
温度控制系统综合

[发明专利]吸收式热泵-CN201610210235.2有效
发明人：竹村与四郎;山田宏幸;福住幸大;刘卫党;撒卫华 -专利权人：荏原冷热系统株式会社;荏原冷热系统（中国）有限公司
申请日： 2016-04-06 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： F25B30/04 文献下载
摘要：本发明提供吸收式热泵，抑制向被加热介质的蒸气的供给对象带出被加热介质的液滴。吸收式热泵具备吸收器、气液分离器、将气液分离器内的被加热介质的液导向吸收器的被加热介质液导入流路、将气液分离器、被加热介质液导入流路以及吸收器的至少一个的内部的被加热介质的液向吸收式热泵外放出的排出阀、检测气液分离器内的液位的液位检测器、供给被加热介质的液的被加热介质液供给装置、控制被加热介质液供给装置的起动及停止以及排出阀的开闭的控制装置。在液位检测器检测到高液位的时间持续第1规定的时间时，控制装置打开排出阀直至液位检测器检测到的液位下降至低于高液位为止。
吸收式热泵

[发明专利]吸收式热泵-CN201611062956.X有效
发明人：竹村与四郎;福住幸大;山田宏幸 -专利权人：荏原冷热系统株式会社
申请日： 2016-11-25 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： F25B15/02 文献下载
摘要：本发明提供的吸收式热泵，不使安全阀工作就能够抑制蒸气生成部的压力过度上升。利用吸收液与制冷剂的吸收式热泵循环，汲取所导入的热源流体的热量来生成被加热介质的蒸气的吸收式热泵具备：蒸气生成部，其生成向需要对象供给的被加热介质的蒸气；压力检测部，其检测蒸气生成部的压力；安全阀，其设置于使在蒸气生成部生成的被加热介质的蒸气向需要对象流出的供给蒸气管或者蒸气生成部；蒸气排放阀，其设置于供给蒸气管或者蒸气生成部；控制装置，其在由压力检测部检测出的压力超过蒸气生成部的目标压力且在比安全阀打开的压力小的第一规定压力以上时，打开蒸气排放阀。
吸收式热泵

[发明专利]吸收式热泵-CN201611102120.8有效
发明人：竹村与四郎;山田宏幸;福住幸大 -专利权人：荏原冷热系统株式会社
申请日： 2016-12-05 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： F25B15/02 文献下载
摘要：本发明提供吸收式热泵，能够实现存积被加热介质的液体的部分的液位的稳定化。吸收式热泵(1)具备：吸收器(10)；蒸发器(20)；再生器(30)；冷凝器(40)；被加热介质气液分离部(80)，导入在吸收器(10)中加热后的被加热介质(Wm)并分离为被加热介质的蒸气(Wv)和液体(Wq)；蒸气产生流量掌握部(62)，掌握被加热介质的蒸气的产生流量；被加热介质液体供给装置(86)，向吸收器供给被加热介质的液体(Ws)；以及供给控制部(64)，控制被加热介质供给装置(86)以便将与由蒸气产生流量掌握部掌握的被加热介质的蒸气(Wv)的产生流量相应的流量的被加热介质的液体(Ws)向吸收器(10)供给。
吸收式热泵

[实用新型]经济器以及离心式制冷机-CN201720830741.1有效
发明人：小博基司;佐藤忠;福住幸大 -专利权人：荏原冷热系统株式会社
申请日： 2017-07-10 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： F25B41/00 文献下载
摘要：本实用新型提供经济器以及离心式制冷机，该经济器具有较高的气液分离性能并且能够通过大幅度地减少气液分离所需的空间而实现外形尺寸的小型化。该经济器具备容器；挡板，其在容器内配置于与制冷剂入口对置的位置，供从制冷剂入口流入到容器内的气液二相状态的制冷剂碰撞来进行气液分离；除雾器，其在容器内配置于与气体制冷剂出口对置的位置，将气液分离后的气体制冷剂所包含的液滴去除，挡板由在制冷剂入口与除雾器之间的位置沿铅直方向延伸并将制冷剂入口侧与除雾器侧分隔的分隔板构成，在该分隔板的下端与容器的底部之间设置有第一开口，用于将气液分离后的气体制冷剂与液体制冷剂向除雾器下方的空间引导。
经济以及离心制冷机

[发明专利]吸热泵以及吸热泵的运转方法-CN201410059254.0有效
发明人： 福住幸大;竹村与四郎;角田正明 -专利权人：荏原冷热系统株式会社
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： F25B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及吸热泵以及吸热泵的运转方法，能够在抑制装置大型化的同时实现恰当的运转。吸热泵（1）具备吸收器（10），利用溶液（Sa）吸收制冷剂蒸汽（Ve）时产生的吸收热对被加热介质（Wq）进行加热来产生被加热介质蒸汽（Wv）；被加热介质蒸汽产生流量调节装置（29），调节吸收器（10）中的被加热介质蒸汽（Wv）的产生流量；被加热介质蒸汽流量检测部（39、49、58、92），检测在吸收器（10）中产生的被加热介质蒸汽（Wv）的流量；以及控制部（91）。控制部（91）调节被加热介质蒸汽（Wv）的产生流量以使被加热介质蒸汽（Wv）的流量不超过规定值。
吸热以及运转方法

[发明专利]吸收式热泵以及吸收式热泵的运转方法-CN201310104864.3有效
发明人： 福住幸大;入江智芳;竹村与四郎 -专利权人：荏原冷热系统株式会社
申请日： 2013-03-28 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： F25B15/02 文献下载
摘要：提供简化装置结构的吸收式热泵以及吸收式热泵的运转方法。吸收式热泵（1）具备具有供对在蒸发器罐体（27）内收容的制冷剂液体（Vf）进行加热的加热介质（h）流动的传热管（21）的蒸发器（20）；和将蒸发器罐体内的制冷剂液体的液位维持在传热管的一部分在允许范围内露出的高度以上的规定液位亦即低位（VL）以上、且比传热管的上端靠上方规定距离的位置亦即高位（VH）以下的液位维持单元（24、46）。吸收式热泵的运转方法是，向传热管的内部流动加热介质，并将没入有传热管的制冷剂液体的液位维持在低位以上高位以下。而且，不设置向传热管喷洒制冷剂液体的喷洒喷嘴即可，从而能够简化装置结构，并且能够实现装置的小型化。
吸收式热泵以及运转方法

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