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[发明专利]半导体制造装置用的温度调节装置和半导体制造系统-CN202310296058.4在审
发明人：福住幸大;新田慎一;国保典男 -专利权人： 荏原冷热系统株式会社;CKD株式会社
申请日： 2023-03-24 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供半导体制造装置用的温度调节装置和半导体制造系统，能够使为了将半导体制造装置设为目标温度所需要的加热部和冷却部的热动力降低。温度调节装置具备：加热部，其生成加热液；冷却部，其生成冷却液；加热液输送管，其用于向半导体制造装置输送加热液；冷却液输送管，其用于向半导体制造装置输送冷却液；加热侧返回管，其用于使通过了半导体制造装置后的加热液与冷却液的混合液返回加热部；冷却侧返回管，其用于使通过了半导体制造装置后的混合液返回冷却部；以及在加热液与混合液之间进行换热的加热侧换热器和在冷却液与混合液之间进行换热的冷却侧换热器中的至少一方。
半导体制造装置温度调节系统

[实用新型]一种填料及冷却塔-CN202223332768.8有效
发明人：丁杜杰;迟志磊;隋睿;岳昆;王玉川;北村正史 -专利权人：荏原冷热系统（中国）有限公司;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： F28C1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种填料及冷却塔，本实用新型通过将填料设置为上方区段距离出风口较远，下方距离出风口近的平行四边形结构，这样可以避免气体将循环水带入冷却塔内部，进而解决了填料出风侧的淋水较多的技术问题；本实用新型中的第二侧边靠近进风口，自上而下，第二侧边逐步远离所述进风口，这样解决了填料进风侧下半部分淋水较少的问题，提高填料的有效换热面积。
一种料及冷却塔

[发明专利]多级制冷系统-CN202211198746.9在审
发明人：内村知行;上总雅裕;矶边刚司;中村知亮 -专利权人： 荏原冷热系统株式会社
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： F25B1/10 文献下载
摘要：本发明提供的多级制冷系统，通过连结多台普通的制冷机而构成多级制冷循环，并且能够以简便的控制进行稳定的运转，将开发、设计的工时减小到极限，由此能够廉价地实现节能化。若将多个制冷机(1、2、3)整体的被冷却液的目标出口温度设为Tout、将运转中的多个制冷机中的从最下游的制冷机开始数第N台制冷机的被冷却液的入口温度的测定值设为Tin(N)，则第N台制冷机的控制部构成为：用算式T(N)＝Tin(N)－(Tin(N)－Tout)/N，来计算第N台制冷机的被冷却液的目标出口温度T(N)。
多级制冷系统

[实用新型]多级制冷系统-CN202222597988.7有效
发明人：内村知行;上总雅裕;矶边刚司;中村知亮 -专利权人： 荏原冷热系统株式会社
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： F25B1/10 文献下载
摘要：本实用新型提供的多级制冷系统，通过连结多台普通的制冷机而构成多级制冷循环，并且能够以简便的控制进行稳定的运转，将开发、设计的工时减小到极限，由此能够廉价地实现节能化。若将多个制冷机(1、2、3)整体的被冷却液的目标出口温度设为Tout、将运转中的多个制冷机中的从最下游的制冷机开始数第N台制冷机的被冷却液的入口温度的测定值设为Tin(N)，则第N台制冷机的控制部构成为：用算式T(N)＝Tin(N)－(Tin(N)－Tout)/N，来计算第N台制冷机的被冷却液的目标出口温度T(N)。
多级制冷系统

[发明专利]温度控制系统-CN202011304019.7有效
发明人：伊藤彰浩;国保典男;纐缬雅之;长谷川功宏;中泽敏治;高梨圭介;福住幸大 -专利权人： CKD株式会社;株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本公开涉及温度控制系统(100)，其将控制对象(92)的温度控制为随着时间经过而变化的目标温度，温度控制系统(100)具备：调整装置(11)，具有罐(11a)，并将热媒调整到设定温度进行供给；循环回路(110)，使热媒从调整装置流通至能够对控制对象进行热供给的流通部(93)，并使热媒返回至调整装置；调整部(12)，调整从流通部向控制对象供给的热量；存储部(80a)，预先存储时间经过与目标温度的关系；控制部，基于上述关系，在比目标温度发生变化的变化时刻提前预定时间时将设定温度设定为与变化后的目标温度对应的设定温度，并且通过调整部调整热量，使得在到达变化时刻之前将控制对象的温度控制为变化前的目标温度。
温度控制系统

[发明专利]辅助区设置装置-CN202210553685.7在审
发明人：小博基司;福住幸大;坂内伸隆;宫田启雅;花房直也;田冈健;宫崎一知 -专利权人：株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： F25D17/02 文献下载
摘要：本发明提供能够减少在制造半导体时使用的电能消耗的辅助区设置装置。辅助区设置装置具备：真空泵(6)，其用于从半导体制造装置的处理腔室(2)对处理气体进行排气；冷却单元(7)，其用于冷却在处理腔室(2)中使用后的第1循环液；加热单元(8)，其用于加热在处理腔室(2)中使用后的第2循环液；除害装置(10)，其用于对从真空泵(6)排出的处理气体进行除害；以及冷却液管线(12)，其供从冷却源(15)供给的冷却液流动。冷却液管线(12)具有将通过除害装置(10)、真空泵(6)及冷却单元(7)后的冷却液向加热单元(8)供给的第1下游侧管线(26)、第2下游侧管线(27)及第3下游侧管线(28)。
辅助设置装置

[发明专利]辅助区设置装置-CN202210554340.3在审
发明人：小博基司;福住幸大;坂内伸隆;宫田启雅;花房直也;田冈健;宫崎一知 -专利权人：株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够促进辅助区内的设备之间的热利用的协作并且消除设备导入时的配管连接的繁琐性的辅助区设置装置。辅助区设置装置(5)具备：真空泵(6)，其用于从处理腔室(2)排出处理气体；冷却单元(7)，其用于对在处理腔室(2)中使用了的第1循环液进行冷却；加热单元(8)，其用于对在处理腔室(2)中使用了的第2循环液进行加热；和冷却液管线(12)，其供从冷却源(15)供给的冷却液流动。冷却液管线(12)具有将冷却液分别向真空泵(6)及冷却单元(7)供给的分配管线(21)、和将从真空泵(6)及冷却单元(7)通过了的冷却液合流并使其向冷却源(15)返回的合流返回管线(22)。
辅助设置装置

[发明专利]多元制冷循环装置-CN202210497796.0在审
发明人：小博基司;福住幸大;坂内伸隆;宫田启雅 -专利权人：株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： F25D19/04 文献下载
摘要：提供一种多元制冷循环装置，能够减小设置在辅助间内的设备的设置面积，并且能够缩短用于向半导体器件制造装置移送冷却介质的配管。多元制冷循环装置(2)具备：供第1制冷剂循环的第1制冷循环(5)，该第1制冷剂与用于冷却半导体器件制造装置(1)的冷却介质进行热交换；和供第2制冷剂循环的第2制冷循环(6)，该第2制冷剂与第1制冷剂进行热交换，第1制冷循环(5)的至少一部分配置在设置有半导体器件制造装置(1)的无尘室内，第2制冷循环(6)配置在辅助间内。
多元制冷循环装置

[发明专利]吸收式热交换系统-CN201811172216.0有效
发明人：竹村与四郎 -专利权人： 荏原冷热系统株式会社
申请日： 2018-10-09 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： F25B30/06 文献下载
摘要：本发明提供即使供给热的场所与利用的场所远离也能够减少流体输送所需的能量的吸收式热交换系统。吸收式热交换系统(1)具有：制冷剂的蒸发压力比冷凝压力高的升温吸收热泵(X1)；制冷剂的蒸发压力比冷凝压力低的增热吸收热泵(Y1)；将被升温吸收热泵(X1)加热了的升温对象流体(RP)向增热吸收热泵(Y1)引导的升温对象流体流路(81)；将被增热吸收热泵(Y1)夺去了热的低温热源流体(GP)向升温吸收热泵(X1)引导的低温热源流体流路(82)。
吸收热交换系统

[发明专利]吸收式热交换系统-CN201810902596.2有效
发明人：竹村与四郎;青山淳;平田甲介 -专利权人： 荏原冷热系统株式会社
申请日： 2018-08-09 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： F25B15/00 文献下载
摘要：一种吸收式热交换系统，使温度升高的被加热流体的出口温度高于温度降低的加热源流体的入口温度。吸收式热交换系统具备：吸收部，利用在吸收液吸收制冷剂蒸汽时释放出的吸收热，使第一被加热流体的温度升高；冷凝部，利用在制冷剂蒸汽成为制冷剂液时释放出的冷凝热，使被加热流体的温度升高；蒸发部，从加热源流体夺取制冷剂液蒸发而成为制冷剂蒸汽时所需的蒸发潜热；以及再生部，从加热源流体夺取对稀溶液进行加热从而成为浓溶液所需的热，通过吸收液与制冷剂的吸收式热泵循环，吸收部的内部压力以及温度比再生部高，将由向蒸发部以及再生部导入前的加热源流体分流的一部分的加热源流体作为第一被加热流体而导入至吸收部。
吸收热交换系统

[发明专利]离心式制冷机-CN201811055885.X有效
发明人：中村知亮;上总雅裕 -专利权人： 荏原冷热系统株式会社
申请日： 2018-09-11 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： F25B1/053 文献下载
摘要：本发明提供能够正确地检测喘振的离心式制冷机。离心式制冷机具备：压缩机(1)，其具有叶轮(11、12)以及使该叶轮(11、12)旋转的电动机(13)；冷凝器(2)，其与压缩机(1)的排出口连接；蒸发器(3)，其与压缩机(1)的吸入口连接；电流检测器(22)，其检测向电动机(13)供给的马达电流；入口温度测定器(25)，其测定流入蒸发器(3)的冷水的入口温度；出口温度测定器(26)，其测定从蒸发器(3)流出的冷水的出口温度；以及控制装置(20)，其基于马达电流的变化以及入口温度与出口温度之差的变化双方检测在压缩机(1)的喘振。
离心制冷机

[发明专利]压缩机以及具备该压缩机的制冷机-CN202111013015.8在审
发明人：佐藤忠 -专利权人： 荏原冷热系统株式会社
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： F04D17/10 文献下载
摘要：本发明提供的压缩机具备润滑剂不与制冷剂液混合的构造。用于对制冷机内的制冷剂气体进行压缩的压缩机(1)具备：叶轮(11)；能够与叶轮(11)一体地旋转的旋转体(12)；将旋转体(12)支承为能够旋转的滚动轴承(25)；被保持在滚动轴承(25)内的润滑剂；形成供滚动轴承(25)配置的轴承室(31)的轴承壳体(35)；与轴承室(31)连通，用于将被压缩机(1)压缩后的制冷剂气体向轴承室(31)内供给的气体供给流路(51)；以及与轴承室(31)的外侧的空间连通，并且与比轴承室(31)内的压力低的压力的区域连通的连通流路(45)。
压缩机以及具备制冷机

[发明专利]吸收器以及吸收式热泵-CN201711055889.3有效
发明人：竹村与四郎 -专利权人： 荏原冷热系统株式会社
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： F25B37/00 文献下载
摘要：本发明提供吸收器以及吸收式热泵。吸收器(10)具备供至少一部分为液体的被加热介质(W)在内部流动的多个传热管(12)，吸收器还具备反转部(14r)，其将在传热管(12A)的内部流动的被加热介质(W)以在其他传热管(12B)的内部向相反方向流动的方式向其他传热管(12B)引导，多个传热管借助反转部构成为多条路径(P1、Pf)，多条路径分别构成为流路截面积为相同程度，利用在传热管的外侧吸收液(Sa)吸收制冷剂的蒸气(Ve)时产生的吸收热，加热在传热管内部流动的被加热介质，使被加热介质的液体(Wq)沸腾。吸收式热泵具备：吸收器；再生器，其将在吸收器中吸收制冷剂的蒸气而浓度降低的吸收液(Sw)导入并加热，使制冷剂脱离而使吸收液的浓度上升。
吸收以及式热泵

[发明专利]吸收式热交换系统-CN201811552771.6有效
发明人：竹村与四郎 -专利权人： 荏原冷热系统株式会社
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： F25B15/00 文献下载
摘要：本发明提供的吸收式热交换系统，使被加热流体的出口温度比加热源流体的入口温度高。吸收式热交换系统具备：使被加热流体的温度上升的第一吸收部、第二吸收部、第一冷凝部、第二冷凝部；使加热源流体的温度降低的第一蒸发部、第二蒸发部、第一再生部、第二再生部；以及在从各冷凝部流出而向各吸收部流入前的被加热流体、与从朝向各蒸发部以及各再生部导入前的加热源流体分支的一部分的加热源流体之间进行热交换的热交换部，通过吸收液与制冷剂的吸收式热泵循环，第一蒸发部的内部的压力以及温度比第一冷凝部高，第二蒸发部的内部的压力以及温度比第二冷凝部高，从热交换部流出的被加热流体向各吸收部流入。
吸收热交换系统

[实用新型]压缩机以及具备该压缩机的制冷机-CN202122086019.0有效
发明人：佐藤忠 -专利权人： 荏原冷热系统株式会社
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： F04D17/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种压缩机以及具备该压缩机的制冷机。用于对制冷机内的制冷剂气体进行压缩的压缩机(1)具备：叶轮(11)；能够与叶轮(11)一体地旋转的旋转体(12)；将旋转体(12)支承为能够旋转的滚动轴承(25)；被保持在滚动轴承(25)内的润滑剂；形成供滚动轴承(25)配置的轴承室(31)的轴承壳体(35)；与轴承室(31)连通，用于将被压缩机(1)压缩后的制冷剂气体向轴承室(31)内供给的气体供给流路(51)；以及与轴承室(31)的外侧的空间连通，并且与比轴承室(31)内的压力低的压力的区域连通的连通流路(45)。
压缩机以及具备制冷机

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