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[发明专利]辅助区设置装置-CN202210553685.7在审
发明人：小博基司;福住幸大;坂内伸隆;宫田启雅;花房直也;田冈健;宫崎一知 -专利权人：株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： F25D17/02 文献下载
摘要：本发明提供能够减少在制造半导体时使用的电能消耗的辅助区设置装置。辅助区设置装置具备：真空泵(6)，其用于从半导体制造装置的处理腔室(2)对处理气体进行排气；冷却单元(7)，其用于冷却在处理腔室(2)中使用后的第1循环液；加热单元(8)，其用于加热在处理腔室(2)中使用后的第2循环液；除害装置(10)，其用于对从真空泵(6)排出的处理气体进行除害；以及冷却液管线(12)，其供从冷却源(15)供给的冷却液流动。冷却液管线(12)具有将通过除害装置(10)、真空泵(6)及冷却单元(7)后的冷却液向加热单元(8)供给的第1下游侧管线(26)、第2下游侧管线(27)及第3下游侧管线(28)。
辅助设置装置

[发明专利]辅助区设置装置-CN202210554340.3在审
发明人：小博基司;福住幸大;坂内伸隆;宫田启雅;花房直也;田冈健;宫崎一知 -专利权人：株式会社荏原制作所;荏原冷热系统株式会社
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够促进辅助区内的设备之间的热利用的协作并且消除设备导入时的配管连接的繁琐性的辅助区设置装置。辅助区设置装置(5)具备：真空泵(6)，其用于从处理腔室(2)排出处理气体；冷却单元(7)，其用于对在处理腔室(2)中使用了的第1循环液进行冷却；加热单元(8)，其用于对在处理腔室(2)中使用了的第2循环液进行加热；和冷却液管线(12)，其供从冷却源(15)供给的冷却液流动。冷却液管线(12)具有将冷却液分别向真空泵(6)及冷却单元(7)供给的分配管线(21)、和将从真空泵(6)及冷却单元(7)通过了的冷却液合流并使其向冷却源(15)返回的合流返回管线(22)。
辅助设置装置

[发明专利]功率器件用的探针卡-CN201280037370.1有效
发明人：筱原荣一;小笠原郁男;田冈健 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-07-30 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供一种功率器件用的探针卡，能够显著地减小探针与测试器间的测定线路和载置台与测试器间的测定线路各自的电阻，在用作探针装置的实际设备时也能够充分地确保可靠性。本发明的探针卡（10）具备：与功率器件（D）的发射极电极电接触的第一探针（11）；与第一探针（11）连接的块状的第一连接端子（12）；与功率器件（D）的栅极电极电接触的第二探针（13）；与第二探针（13）连接的块状的第二连接端子（14）、能够与功率器件（D）的集电极电极侧电接触的接触板（15）；和固定于接触板（15）的块状的第三连接端子（16）。第一连接端子、第二连接端子、第三连接端子（12）、（14）、（16）分别与测试器侧的连接端子直接电接触。
功率器件探针

[发明专利]探针装置-CN201180006188.5有效
发明人：河野功;田冈健;筱原荣一;小笠原郁男 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-03-11 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供一种能够以晶片级可靠地测定功率器件的静态特性和动态特性（开关特性）的探针装置。本发明的探针装置（10），包括：载置形成有多个包括二极管的功率器件的半导体晶片（W）且能够移动的载置台（12）；配置于载置台（12）的上方的探针卡（13）；和检测器（15），在至少在载置台（12）的上表面形成的导体膜与在半导体晶片（W）的背面形成的导体层导通的状态下，使探针（13A）与半导体晶片（W）电接触从而以晶片级测定功率器件的电特性，在探针卡（13）的外周缘部设置有导通引脚（14），在以晶片级测定功率器件的电特性时，通过导通引脚（14）将载置台（12）的导体膜电极（集电电极）与检测器（15）电连接。
探针装置