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- [发明专利]半导体结构的制备方法-CN202310721924.X在审
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张强;李杰;王金春;郑华梅;龚小玉
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长鑫存储技术有限公司
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2023-06-15
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2023-08-25
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H01L21/28
- 本公开提供了一种半导体结构的制备方法，该半导体结构的制备方法包括如下步骤：提供具有接触孔的衬底；在接触孔中制备多晶硅层，多晶硅层中具有孔隙；在多晶硅层上制备刻蚀缓冲层，且刻蚀缓冲层中具有位于孔隙上方的第一凹槽，自上至下第一凹槽逐渐收缩，自上至下刻蚀缓冲层的刻蚀速率逐渐降低；对刻蚀缓冲层和多晶硅层进行刻蚀，基于第一凹槽使多晶硅层表面形成自上至下逐渐靠近孔隙的刻蚀壁，且刻蚀壁的底端与孔隙的孔壁相连接；以及，在孔隙中制备硅填充层。刻蚀壁之间的开口比孔隙的开口更宽，能够为后续制备填充层提供更为充足的空间，这能够有效改善传统技术中的多晶硅层中存在的孔隙问题，提高多晶硅层的导电性能。
- 半导体结构制备方法
- [实用新型]一种便于定位的齿轮加工用钻孔设备-CN202222562337.4有效
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王金春;伍玉军
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王金春
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2022-09-27
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2023-08-22
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B23B41/00
- 本实用新型涉及齿轮加工技术领域，尤其为一种便于定位的齿轮加工用钻孔设备，包括底台，固定板一，所述底台的内侧固定安装有固定板二，所述底台的顶侧固定安装有固定座，所述承重板的顶侧通过螺纹连接有凸台，所述凸台的内侧开设有凹槽一，所述支撑板的内侧通过螺丝安装有丝杆，所述丝杆套的顶侧通过螺丝固定在载物板的底侧，所述伸缩杆远离固定板一的一端固定安装有固定板三。该便于定位的齿轮加工用钻孔设备，通过压块底侧的凹槽二与凸台顶侧的凹槽一对齿轮的凸起端进行固定，并且通过凸台内部的通孔来实现精准打孔，防止钻头与齿轮滑动，同时收集钻孔留下的碎屑，喷水头的使用有利于对钻头、齿轮进行降温，延长钻头的使用寿命。
- 一种便于定位齿轮工用钻孔设备
- [实用新型]一种供热计量机构-CN202320351690.X有效
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翟雯雯;王进杰;王金春
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青岛北冰洋冷暖能源科技有限公司
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2023-03-01
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2023-08-08
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G01K17/00
- 本实用新型公开了一种供热计量机构，包括导水管、供热计量设备和温度传感器，所述导水管用作支撑供热计量设备使用，所述供热计量设备用作计量供热设备的数据使用；所述导水管外壁的两端均固定设有支撑座，两个所述支撑座的顶端分别与供热计量设备底部的两端固定连接，所述供热计量设备的顶端固定设有显示屏。本实用新型通过将导水管安装在供热水管的中间位置，通过温度传感器进行稳定感应传感，通过固定在导水管外壁的流量控制阀进行流量控制，从而实现流量平衡，克服冷热不均的现象，降低能量浪费的隐患，对于调节供热系统的能耗，实施计量收费有较大帮助，增加供热计量机构的实用性。
- 一种供热计量机构
- [发明专利]半导体结构及其制造方法-CN202310422893.8在审
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吴俊;张民慧;王金春;江长
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长鑫存储技术有限公司
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2023-04-14
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2023-06-27
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H10B12/00
- 本公开实施例涉及半导体领域，提供一种半导体结构及其制造方法，方法包括：提供第一基底；在第一基底上形成导电层；在导电层上形成填充层；在填充层中形成贯穿填充层的电容孔，电容孔暴露出导电层的部分表面；在电容孔内形成依次层叠的第二电极层、电介质层和第一电极层，第一电极层、电介质层和第二电极层构成电容结构；提供第二基底，第二基底的表面具有接触结构，接触结构的位置与第一电极层的位置相对应；将第一基底与第二基底正对，以使第一电极层与接触结构正对并接触，并将第一基底和第二基底键合；去除第一基底。本公开实施例提供的半导体结构及其制造方法至少有利于提高半导体结构的性能。
- 半导体结构及其制造方法
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