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- [发明专利]真空镀膜设备及其排气系统-CN202311139359.2在审
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葛鹤龄;王怀民;程序雳;姜友松
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安徽其芒光电科技有限公司
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2023-09-05
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2023-10-27
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C23C14/56
- 本申请公开一种真空镀膜设备及其排气系统，排气系统包括：冷阱组件，包括具有沿轴向螺旋延伸的冷阱管道的冷阱主体；安装冷阱组件的容纳腔室；冷阱主体位于容纳腔室内；沿轴向延伸的连通通道，连通于容纳腔室上游；连通通道有通入容纳腔室的端口；冷阱主体在端口所在平面上的垂直投影围绕在端口外侧；容纳腔室具有围绕在端口周侧的垂直于轴向的挡壁，冷阱主体被遮挡定位于挡壁背离连通通道的一侧；连通容纳腔室的排气管道，入口位于容纳腔室背离连通通道的一侧；入口在端口所在平面上的垂直投影位于端口的内侧；设置在排气管道上的阀体；连接于排气管道远离容纳腔室一端的第一泵组。本说明书所提供的真空镀膜设备及其排气系统，能提高排气效率。
- 真空镀膜设备及其排气系统
- [实用新型]铝板雕刻装置-CN202223428028.4有效
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王怀民;赖港元;欧建华
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佛山市保利来建材实业有限公司
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2022-12-20
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2023-10-20
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B23Q3/06
- 本实用新型涉及铝板加工设备领域，尤其涉及一种铝板雕刻装置，包括工作台、纵向移动架、横向移动架以及升降雕刻头，纵向移动架的底部均匀排布有若干个压料组件，压料组件包括垂直伸缩件和水平板，水平板连接于垂直伸缩件底部的伸缩端，水平板的下侧两端均转动连接有压轮，工作台上均匀排布有若干个凹槽，凹槽与压料组件呈对应设置，凹槽的一侧设有固定板，另一侧设有移动板，通过将长条状的铝板放置在凹槽内即完成装夹定位，操作简单便捷，提高生产效率，在升降雕刻头对长条状的铝板进行雕刻时，通过垂直伸缩件驱动压轮下降，使压轮牢固压紧铝板，保证铝板在雕刻加工的过程中受到雕刻切削力作用时不弯卷以及不偏离凹槽，提高加工成品率。
- 雕刻装置
- [发明专利]真空镀膜设备的排气加热方法-CN202310813205.0在审
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王怀民;葛鹤龄;姜友松
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安徽其芒光电科技有限公司
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2023-06-30
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2023-09-22
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C23C14/54
- 本申请公开一种真空镀膜设备的排气加热方法，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜设备包括腔体、以及均与腔体相连的加热机构、抽真空机构和惰性气体充入机构。抽真空机构包括粗抽组件和高真空组件。排气加热方法包括以下步骤：启动粗抽组件，将腔体内的压力抽至第一预定值；关闭粗抽组件，开启加热机构和惰性气体充入机构，向腔体内充入惰性气体；当腔体内的压力达到第二预定值后，关闭惰性气体充入机构；当腔体内的基板温度达到第三预定值后，启动粗抽组件；当腔体内的压力达到第四预定值后，启动高真空组件，将腔体内的压力抽至镀膜预定值。本说明书所提供的真空镀膜设备的排气加热方法，能提高加热效率，实现对基板的快速加热。
- 真空镀膜设备排气加热方法
- [发明专利]偏压溅射镀膜装置-CN202310783636.7在审
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王怀民;程序雳;葛鹤龄;姜友松;杨运
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安徽其芒光电科技有限公司
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2023-06-28
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2023-09-22
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C23C14/34
- 本申请公开一种偏压溅射镀膜装置，包括反应容器、基片承载机构、溅射镀膜机构、旋转机构和真空排气机构。反应容器具有真空腔。基片承载机构设置在真空腔内。基片承载机构包括相连接的主体部和挂板部，挂板部设置于主体部的周侧。主体部包括相连的第一导电件和旋转支撑件。挂板部包括与第一导电件电连接的第二导电件、用于放置镀膜基片的偏压块。偏压块采用导电材料制作，与第二导电件电连接。溅射镀膜机构设置在真空腔内。旋转机构用于驱动主体部带动挂板部旋转。旋转机构与旋转支撑件相连。真空排气机构与真空腔连通，用于对真空腔排气抽真空。本说明书所提供的偏压溅射镀膜装置，在满足镀膜工艺要求的高速旋转的同时，能提供稳定可靠的偏压。
- 偏压溅射镀膜装置
- [实用新型]真空镀膜装置-CN202320362018.0有效
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王怀民;姜友松;葛鹤龄
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安徽其芒光电科技有限公司
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2023-02-27
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2023-08-29
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C23C14/24
- 本申请公开一种真空镀膜装置，包括反应容器、镀膜伞架、蒸发镀膜机构、溅射镀膜机构和抽真空机构。反应容器具有真空腔室。镀膜伞架设于反应容器内。镀膜伞架围绕一竖直轴线旋转，保持面的直径自上而下线性增大。蒸发镀膜机构和溅射镀膜机构设置在真空腔室，且朝向保持面。蒸发镀膜机构和溅射镀膜机构位于镀膜伞架的同一侧。抽真空机构包括冷阱组件、容纳腔室、连通通道、泵组件。冷阱组件的冷阱主体位于容纳腔室内。连通通道具有通入容纳腔室的端口，端口所在平面垂直于水平方向，冷阱主体在端口所在平面上的垂直投影围绕在端口的外侧。本说明书所提供的真空镀膜装置，将蒸发镀和溅射镀相结合，且能够节约真空腔室的空间，避免冷阱主体被污染。
- 真空镀膜装置
- [发明专利]真空蒸镀成膜装置-CN202211560725.7有效
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姜友松;郑炳蔚;王怀民;顾康鑫;杨运;葛鹤龄;李家保
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安徽其芒光电科技有限公司
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2022-12-06
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2023-07-28
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C23C14/30
- 本申请公开一种真空蒸镀成膜装置，涉及真空镀膜技术领域，真空蒸镀成膜装置包括：发射机构，发射机构包括通电后能放射电子的灯丝和具有用于容纳灯丝的容纳槽的盖板；用于盛放蒸发材料的盛放机构；用于将电子束约束并聚焦引导至盛放机构内的偏转聚焦机构；偏转聚焦机构包括磁铁和用于引导或改变磁场空间分布的导磁组件；导磁组件包括分别连接于磁铁沿其轴向相对的两端的两个导磁板、以及分别与导磁板相连的至少两个导磁极；导磁板所在的平面垂直于轴向，导磁极沿第一方向位于导磁板的同一侧；导磁板沿第一方向的另一侧设置有盛放机构。本说明书所提供的真空蒸镀成膜装置，能避免蒸发材料堆积在导磁组件上，且不会遮挡蒸发材料的蒸发路径。
- 真空蒸镀成膜装置
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