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- [发明专利]一种砂轮划片机-CN202310944851.0有效
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张明明;石文;刘宏文;吴德宝;徐双双;张春航
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沈阳和研科技股份有限公司
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2023-07-31
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2023-10-20
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B24B27/06
- 本发明的实施例提供了一种砂轮划片机,涉及砂轮划片机结构领域。该砂轮划片机包括砂轮和真空吸附装置,真空吸附装置包括组合吸盘以及组合中心盘,组合吸盘用于吸附待切割件,组合中心盘包括主体中心盘、中转盘以及真空接头,主体中心盘和中转盘均与组合吸盘连接,主体中心盘和中转盘可拆卸地连接,真空接头和中转盘可拆卸地连接,且真空接头和组合吸盘连通,真空接头用于外接真空气路,以向组合吸盘提供吸附力。切割产生的碎屑容易进入整个真空气路中进行堆积,真空接头和中转盘可拆卸地连接,中转盘和主体中心盘可拆卸地连接,在需要清理真空气路中的碎屑时,将中转盘和主体中心盘分离,拆下中转盘即可对真空气路中的碎屑进行清理。
- 一种砂轮划片
- [发明专利]划片机-CN202310713199.1有效
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张明明;余胡平;王港;吴洪柏;赵鹏;牛子乐
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沈阳和研科技股份有限公司
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2023-06-16
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2023-09-08
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B23D79/00
- 本申请提供了一种划片机,涉及划片机技术领域。本申请的划片机,显微镜机构在第一水平方向上的运动通过保持构件与第一限定构件和第二限定构件的活动连接实现,显微镜机构穿设在保持构件内,保持构件既允许显微镜机构驱动保持构件而使得显微镜机构沿着第一水平方向运动,又允许显微镜机构在保持构件的贯通部内相对于保持构件在竖直方向上运动。第一遮蔽构件和第二遮蔽构件遮蔽了间隙的除保持构件以外的部分,这使得显微镜机构在第一水平方向和竖直方向的运动的过程中,显微镜机构以下的水气始终被阻隔在第一遮蔽构件和第二遮蔽构件的下方,而不会上升对划片机的丝杠导轨造成影响,实现了相对有效的动态遮挡,有利于确保划片机的精度。
- 划片
- [发明专利]一种划片机共振的解决方法-CN202310763004.4在审
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张明明;余胡平;石文;杜红光;刘苏阳;徐双双
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沈阳和研科技股份有限公司
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2023-06-27
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2023-08-25
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B28D5/02
- 本发明公开了一种划片机共振的解决方法,针对划片机机芯部分进行改造,改变划片机机芯部分和底架连接的刚性,通过增加机芯部分和底架连接处的接触面积改变刚性,减少划片机机芯部分非精度面重量,改变机芯部分自振频率;针对划片机主轴与其他运动部件之间设置关系进行改造,在划片机主轴和其他运动部件之间增设阻尼材料,能够吸收一部分主轴自振频率,且能够使得主轴与其他运动部件的频率隔开;通过划片机自身软件程序系统进行设置,令划片机主轴工作转速避开能使划片机产生机器共振的主轴旋转速度范围。本发明能从根本上有效避免划片机机器共振现象的发生,不会引起划片机设备的切割精度和稳定性问题,保证了划片机的切割精度及切割晶圆的品质。
- 一种划片共振解决方法
- [发明专利]划片机-CN202310644730.4有效
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张明明;余胡平;石文;王港;吴洪柏;徐双双
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沈阳和研科技股份有限公司
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2023-06-02
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2023-08-25
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B28D5/00
- 本申请提供了一种划片机,涉及划片机技术领域。根据本申请提供的划片机,防水罩通过沿着周向延伸一周的第二连接部与支撑台板的沿着周向延伸一周的第一连接部连接,并且第二连接部在周向上的每一位置均与第一连接部在周向上对应的位置连接,使得第一连接部和第二连接部形成为一体,使得在转角系统的周向上,支撑台板与防水罩之间不存在可供水流经过而流动到支撑台板的第二部分的下方的缝隙,从而在面临长时间的切割工作时,也不会出现水流从转角系统处流下而对转角电机和下方的轴传动机构等设备造成不良影响。
- 划片
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