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[发明专利]一种划切精度控制方法、划片机及存储介质-CN202311219547.6在审
发明人：张明明;石文;陈冰;吴德宝;徐双双;董鑫 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-09-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B23D79/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种划切精度控制方法、划片机及存储介质，涉及划片机精度补偿领域，方法包括：确定切割水路、钣金、主轴架、中心盘、基准板以及NCS安装结构的各基准温度，在对待切割部件的切割过程中，确定切割水路、钣金、主轴架、中心盘、基准板以及NCS安装结构的各实时温度，基于各基准温度对应的各实时温度，确定总补偿值，基于总补偿值对划片机的切割深度进行补偿。通过切割水路、钣金、主轴架、中心盘、基准板以及NCS安装结构的温度变化对切割深度方向进行补偿，可以削弱环境因素的影响，从而使得切割结果接近预设的切深，进而提高切割深度的精度。
一种精度控制方法划片存储介质

[发明专利]一种适用于晶圆上料机的柔性夹爪机构-CN202310679957.2有效
发明人：张明明;余胡平;石文;刘祥鑫;刘苏阳;徐双双 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明属于上料设备技术领域，特别提供了一种适用于晶圆上料机的柔性夹爪机构，包括底板、水平位移机构、连接板、转动基座、转动连接架、夹爪气缸、夹爪、弹性元件，其中，转动基座的主视侧面呈C形，转动基座的上下侧壁竖向转动安装有转动销，转动连接架的侧壁与转动基座之间装配有弹性元件，对转动连接架在水平面内的摆动形成约束。本夹爪机构通过在夹爪气缸与连接板之间增设由转动基座和转动连接架构成的转动结构，在崩环与料盒发生碰撞时，夹爪及夹爪气缸能够发生一定偏转，避免出现硬性拉取的现象；在转动基座和转动连接架之间装配弹性元件，保证偏转后的夹爪及夹爪气缸能够缓慢复位，不影响后续工序。
一种适用于晶圆上料机柔性机构

[发明专利]一种无膜切割工件回推进料盒结构-CN202311013686.3有效
发明人：张明明;石文;王晓禹;吴洪柏;徐双双;林兴鹏 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-08-14 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种无膜切割工件回推进料盒结构属于半导体器件加工技术领域。本发明包括搬运臂、校准台、料盒，所述搬运臂位于所述校准台上方，其特征在于，所述料盒位于所述校准台台面的外侧方，所述料盒的开口对应所述校准台的两个可移动校准台板之间，所述校准台的台面一侧连接有推送机构，所述推送机构包括直线滑台、导轨机构、伸缩气缸、推爪机构，所述直线滑台固定在所述校准台的台面上，所述导轨机构连接在所述直线滑台上并能够沿着所述直线滑台的滑杆方向移动，所述推爪机构连接在所述导轨机构上。本发明能够用于将不完全切透的半导体工件自动放入料盒内，实现整个切割过程全自动的需求，并且能够对推料过程中的卡顿现象进行报警。
一种切割工件进料结构

[发明专利]一种砂轮划片机-CN202310944851.0有效
发明人：张明明;石文;刘宏文;吴德宝;徐双双;张春航 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B24B27/06 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种砂轮划片机，涉及砂轮划片机结构领域。该砂轮划片机包括砂轮和真空吸附装置，真空吸附装置包括组合吸盘以及组合中心盘，组合吸盘用于吸附待切割件，组合中心盘包括主体中心盘、中转盘以及真空接头，主体中心盘和中转盘均与组合吸盘连接，主体中心盘和中转盘可拆卸地连接，真空接头和中转盘可拆卸地连接，且真空接头和组合吸盘连通，真空接头用于外接真空气路，以向组合吸盘提供吸附力。切割产生的碎屑容易进入整个真空气路中进行堆积，真空接头和中转盘可拆卸地连接，中转盘和主体中心盘可拆卸地连接，在需要清理真空气路中的碎屑时，将中转盘和主体中心盘分离，拆下中转盘即可对真空气路中的碎屑进行清理。
一种砂轮划片

[发明专利]一种自动切割KIT橡胶槽的切割机-CN202311125969.7在审
发明人：张明明;徐双双;王港;吴洪柏;田佳睿;李志朋 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-09-04 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B24B27/06 文献下载
摘要：一种自动切割KIT橡胶槽的切割机，属于橡胶槽磨削切割设备技术领域，解决现有技术存在的手动切割费时费力，切割精度低，切割设备缺少有效的切削废屑排出结构的问题。包括通过X轴移动机构与切割机机架相连的治具移动基座，治具承载台通过T轴转动机构转动设置在治具移动基座上，治具承载台上方设置的旋转切割机构通过Z轴升降机构与转接立座的侧部相连，转接立座的底部通过Y轴移动机构与切割机机架相连，旋转切割机构切割部的一侧设置有切削屑吸尘机构。其设计合理，结构紧凑，自动化程度高，可提升切割精度，切割过程中所产生的碎屑、灰尘和水气能够在封闭环境内被排出和回收，具有非接触测高功能，节省人力成本，工作效率高。
一种自动切割 kit 橡胶切割机

[发明专利]一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法-CN202310770591.X有效
发明人：张明明;余胡平;石文;牛子乐;陈野;徐双双 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法，涉及划片机技术领域。该划片机真空气路过滤装置包括真空工作盘、过滤水箱、第一真空管路、第一真空发生器以及过滤塞，过滤水箱和真空工作盘连通，过滤水箱用于收集水汽，第一真空管路的一端和过滤水箱连通，第一真空发生器和第一真空管路的另一端连接，第一真空发生器用于对第一真空管路抽真空将过滤水箱中的水汽吸附进第一真空管路，过滤塞设置于过滤水箱，过滤塞和第一真空管路的端部连通，过滤塞的底部贯穿有导流槽，过滤塞用于对进入第一真空管路的水汽进行冷却使水汽液化，液化后的水通过导流槽倒流回过滤水箱。能有效提高排除真空气路中的水汽的效果，保证真空气路的稳定性。
一种划片空气路过装置过滤方法

[发明专利]一种划片机清洁防水雾装置-CN202310713219.5有效
发明人：张明明;余胡平;李艳丽;徐双双;孙兴运;董海昌 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种划片机清洁防水雾装置，涉及划片机清洁领域。该划片机清洁防水雾装置包括防水罩以及防水帘，防水罩用于罩设于切割区域的上方，防水帘设置于防水罩的侧面开口处，防水帘的上端和防水罩固定连接，防水帘的下端和防水罩可拆卸地连接。需要拆卸防水帘时，仅拆卸防水帘的上端就可以实现拆卸更换作业，拆卸更加快速方便，同时安装起来也更方便；此外，防水帘的下端和防水罩可拆卸地连接还能实现一定程度的活动，减少了切割运动过程中对防水帘连接处的受力冲击，延长了防水帘的使用寿命，能够实现更优的密封效果，提高防水雾效果。
一种划片清洁水雾装置

[发明专利]一种室温固化极端低温环境使用环氧胶粘剂及其制备方法-CN202211203611.7有效
发明人：郭安儒;赵珩;徐双双;赵一搏;赵金泽;王方颉;申雄刚 -专利权人：航天材料及工艺研究所
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C09J163/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种室温固化低温环境使用环氧胶粘剂及其制备方法，属于高分子材料制备领域。本发明通过使用聚醚改性环氧树脂、稀释剂、芳香胺类固化剂、偶联剂和促进剂的综和作用，有效提高胶粘剂的耐低温性能，同时增强与基材的附着力，在‑196℃下拉剪强度超过24.0MPa。胶粘剂制备工艺简单，固化施工条件温和。室温固化大大简化了粘接工艺，特别适合无法承受高温固化的施工场合使用。
一种室温固化极端低温环境使用胶粘剂及其制备方法

[发明专利]一种芯片快速分拣的双面翻转工作盘以及气路布局-CN202310750869.7在审
发明人：张明明;余胡平;李艳丽;李圆;于海;徐双双;石文 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片快速分拣的双面翻转工作盘以及气路布局，包括直线模组、翻转模组和直线导轨；翻转模组包括转轴，转轴的左右两侧分别与第一安装块和第二安装块连接，转轴上平行安装有第一转接板和第二转接板，第一转接板外侧安装有第一工作盘，第二转接板外侧安装有第二工作盘。本发明采用上述的一种芯片快速分拣的双面翻转工作盘以及气路布局，可以将待放产品分为两组，每一组放料时都不会影响到另一组产品，提高了工作效率，避免产品压伤或报废，将两组独立的气路布置到转轴上，节省空间，并且机构翻转运动不会受到管线长度的影响，管路布置更合理，线束更容易集中整理，设计有防呆结构，方便安装，避免了两面装错和方向装反的情况发生。
一种芯片快速分拣双面翻转工作以及布局

[发明专利]一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机-CN202310978033.2在审
发明人：张明明;石文;杜红光;吴洪柏;徐双双;陈冰 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-08-04 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明公开一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机，上料的推料机构单元与夹料装置单元衔接配合，工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元依次衔接配合，接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元依次衔接配合；还包括断电断气保护系统，断电断气保护系统分别与上料的推料机构单元、夹料装置单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、工件顺序检测单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元之间连接。本发明能够为各个单元保证充足的气量，避免芯片掉落的情况发生。
一种具有断电断气保护全自动半导体材料切割机

[发明专利]一种全自动晶圆上料机-CN202310679943.0有效
发明人：张明明;余胡平;石文;刘祥鑫;刘苏阳;徐双双 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明属于上料设备技术领域，特别提供了一种全自动晶圆上料机，包括机架、料盒升降模块、料片载放模块、夹爪机构、推料机构、增压模块和供电模块；其中，料片载放模块包括安装板、水平位移机构、连接架、送料轨道、横梁、挡料机构、第二直线轴承和顶升气缸；两个所述送料轨道分别为第一轨道和第二轨道，第一轨道位于靠近夹爪机构的一侧，第二轨道位于靠近料盒升降模块的一侧，第一轨道和第二轨道的表面均开设有崩环定位槽和夹爪运动补偿槽。本全自动晶圆上料机的料片载放模块为双轨道托送式机构，整体结构更加简单，占用空间小，且料片载放模块的送料轨道与水平位移机构之间刚性连接，送料过程更平稳。
一种全自动晶圆上料机

[发明专利]一种坐标确定方法及装置-CN202310474466.4有效
发明人：张明明;余胡平;孟繁滨;徐双双;石文;赵海洋 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01B21/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种坐标确定方法及装置，涉及定位技术领域，方法包括：将旋转工作台旋转预设角度，确定旋转预设角度的旋转工作台上的第一基准点，基于第一基准点，从旋转工作台上首行的各槽位中确定第一目标点和第二目标点，以第一基准点为出发点，以第一基准点的预设俯角为方向，做延长线，确定延长线与旋转工作台边界的交点作为第二基准点，确定旋转工作台上最后一行、最后一列的目的点，基于目的点和第二基准点，确定旋转工作台的第三目标点，以确定旋转工作台上所有槽位的坐标，可以自动确定旋转工作台上槽位的坐标，无需基于人工方式确定工作台上各槽位的坐标，提高确定旋转工作台坐标的准确性和效率。
一种坐标确定方法装置

[发明专利]一种划片机共振的解决方法-CN202310763004.4在审
发明人：张明明;余胡平;石文;杜红光;刘苏阳;徐双双 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种划片机共振的解决方法，针对划片机机芯部分进行改造，改变划片机机芯部分和底架连接的刚性，通过增加机芯部分和底架连接处的接触面积改变刚性，减少划片机机芯部分非精度面重量，改变机芯部分自振频率；针对划片机主轴与其他运动部件之间设置关系进行改造，在划片机主轴和其他运动部件之间增设阻尼材料，能够吸收一部分主轴自振频率，且能够使得主轴与其他运动部件的频率隔开；通过划片机自身软件程序系统进行设置，令划片机主轴工作转速避开能使划片机产生机器共振的主轴旋转速度范围。本发明能从根本上有效避免划片机机器共振现象的发生，不会引起划片机设备的切割精度和稳定性问题，保证了划片机的切割精度及切割晶圆的品质。
一种划片共振解决方法

[发明专利]划片机-CN202310644730.4有效
发明人：张明明;余胡平;石文;王港;吴洪柏;徐双双 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种划片机，涉及划片机技术领域。根据本申请提供的划片机，防水罩通过沿着周向延伸一周的第二连接部与支撑台板的沿着周向延伸一周的第一连接部连接，并且第二连接部在周向上的每一位置均与第一连接部在周向上对应的位置连接，使得第一连接部和第二连接部形成为一体，使得在转角系统的周向上，支撑台板与防水罩之间不存在可供水流经过而流动到支撑台板的第二部分的下方的缝隙，从而在面临长时间的切割工作时，也不会出现水流从转角系统处流下而对转角电机和下方的轴传动机构等设备造成不良影响。
划片

[发明专利]一种基于视觉算法的放料精度补偿方法-CN202310424465.9有效
发明人：张明明;余胡平;徐双双;胡宇廷;周健宇;石文 -专利权人：沈阳和研科技股份有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于视觉算法的放料精度补偿方法，涉及划片技术领域。首先利用装载臂将待划片封装料片运送至切割盘上；随后获取待划片封装料片的预设切割位置；接着根据预设切割位置以及切割盘上的实际切割位置，计算得到偏移数据；然后根据偏移数据对待划片封装料片进行纠偏，以补偿待划片封装料片的放料精度。与现有技术相比，本发明提供的基于视觉算法的放料精度补偿方法由于采用了根据偏移数据对待划片封装料片进行纠偏，以补偿待划片封装料片的放料精度的步骤，所以能够提高放料精度，保证后续的切割精度以及产品质量，并且无需设置和更换配合限位结构，提高生产效率。
一种基于视觉算法精度补偿方法

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