专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]移动体-CN201910988587.4有效
  • 杉村多恵;轻部弘崇;松本一贵;森淳;近藤淳 - 丰田自动车株式会社
  • 2019-10-17 - 2023-06-27 - H04W24/04
  • 提供一种移动体。根据本发明的一个方案的移动体为包括驱动单元和通信装置的移动体,并且所述移动体包括:判定部,其经由所述通信装置判定基站的故障;移动控制部,其驱动所述驱动单元以使所述移动体向一路线上的指定的中继位置移动,所述路线连接在第一基站的第一小区中包括的第一位置和在第二基站的第二小区中包括的第二位置;以及中继处理部,其在所述指定的中继位置处中继信号,所述信号在位于所述第一小区中的无线通信终端与所述第二基站之间交换。
  • 移动
  • [发明专利]被处理体的搬送方法和处理装置-CN202211254661.8在审
  • 森淳;古屋治彦 - 东京毅力科创株式会社
  • 2022-10-13 - 2023-04-25 - H01L21/687
  • 本发明提供一种被处理体的搬送方法和处理装置,能够抑制被处理体在载置台的载置面上产生位置偏移和从升降销产生灰尘。被处理体的搬送方法包括工序a)、工序b)、工序c)以及工序d)。在工序a)中,调整具有能够载置被处理体的载置面的载置台的倾斜度,以使载置面相对于水平面倾斜。在工序b)中,在工序a)之前或之后,使设置于载置台的多个升降销上升,来从搬送被处理体的搬送装置接受被处理体。在工序c)中,通过使多个升降销下降和/或使载置台上升,来将被处理体载置于倾斜的载置面。在工序d)中,调整载置台的倾斜度,以使载置有被处理体的载置面相对于水平面平行。
  • 处理方法装置
  • [发明专利]基板处理装置和基板处理装置的控制方法-CN202210202354.9在审
  • 森淳 - 东京毅力科创株式会社
  • 2022-03-03 - 2022-09-30 - H01L21/66
  • 本发明涉及基板处理装置和基板处理装置的控制方法。在处理容器内进行与基板载置台或载置于基板载置台的基板相关的各种测量。基板处理装置具有处理容器、基板载置台、旋转臂、传感器和旋转机构。处理容器在内部形成有多个处理空间。基板载置台分别配置于多个处理空间。旋转臂包括能够保持基板的末端执行器,旋转轴线位于距多个处理空间分别为等距离的位置。传感器设于旋转臂的末端执行器的与基板保持面相反的一侧的背面。旋转机构使旋转臂旋转,以在处理容器内使传感器向与基板载置台或载置于基板载置台的基板相对的位置移动。
  • 处理装置控制方法
  • [发明专利]基板处理装置-CN202210014555.6在审
  • 森淳;川上聪 - 东京毅力科创株式会社
  • 2022-01-07 - 2022-07-29 - H01J37/32
  • 本发明提供一种能够兼顾旋转臂的旋转机构向真空处理容器的中央部的设置和排气路径的简单化的基板处理装置。基板处理装置具有真空处理容器和旋转轴位于真空处理容器的中央部的旋转臂,在旋转臂中,内部为中空的旋转筒构成旋转轴,旋转筒的中空部构成真空处理容器的排气路径。
  • 处理装置
  • [发明专利]处理模块和处理方法-CN202111596530.3在审
  • 森淳;山岸孝幸 - 东京毅力科创株式会社
  • 2021-12-24 - 2022-07-08 - H01L21/67
  • 本发明涉及处理模块和处理方法。检测在处理容器内进行输送时的晶圆的位置偏移。处理模块具有处理容器、旋转臂和传感器。处理容器在内部具有多个处理空间,该多个处理空间各自的中心位于同一圆周上且分别配置有载置台。旋转臂具有多个保持部,该多个保持部能够保持分别在多个处理空间的载置台载置的晶圆,该旋转臂设为能够以圆周的中心为旋转轴线进行旋转。传感器位于相邻的处理空间之间,能够在旋转臂的旋转动作时检测被旋转臂保持着的晶圆的位置。
  • 处理模块方法
  • [发明专利]旋转机构和基板处理装置-CN202111055240.8在审
  • 森淳 - 东京毅力科创株式会社
  • 2021-09-09 - 2022-03-18 - H01L21/687
  • 本发明提供旋转机构和基板处理装置。不使用联轴器并容许第1旋转部与第2旋转部之间的安装误差地将第1旋转部和第2旋转部连接。被旋转体具有第1旋转部和第1固定部。平板固定于被旋转体的第1固定部,该平板在第1旋转部的旋转方向上具有刚性,并在相对于旋转方向而言的轴向上具有挠性。马达具有与被旋转体的第1旋转部同轴地固定着的第2旋转部和固定于平板的第2固定部。
  • 旋转机构处理装置
  • [发明专利]真空处理装置和真空处理装置的控制方法-CN202110891051.8在审
  • 森淳 - 东京毅力科创株式会社
  • 2021-08-04 - 2022-02-22 - H01J37/32
  • 本发明提供真空处理装置和真空处理装置的控制方法。能够调整载置台的倾斜度并且抑制处理容器内的微粒的产生。载置台设于处理容器内,用于载置基板。支承构件贯穿在处理容器的底部形成的开口部并自下方支承载置台。保持部位于处理容器的外侧,支承构件的端部固定于该保持部,从而该保持部能够与载置台一体地移动,该保持部以自处理容器的外侧覆盖开口部的方式形成,该保持部沿着开口部的周向形成有构成球面轴承的可动部的内圈部。凸缘部配置于处理容器的外侧的、开口部的周围,该凸缘部形成有与内圈部卡合而构成球面轴承的固定部的外圈部。密封部能够伸缩,沿着开口部的周向设于球面轴承的内侧,该密封部至少将凸缘部与保持部之间气密地密封。
  • 真空处理装置控制方法
  • [发明专利]真空处理装置和真空处理装置的控制方法-CN202110728639.1在审
  • 森淳 - 东京毅力科创株式会社
  • 2021-06-29 - 2022-01-07 - H01L21/683
  • 本发明提供真空处理装置和真空处理装置的控制方法。改善由处理容器的变形引起的载置台的位置和倾斜度的偏离。真空处理装置具有:处理容器,其能够将其内部维持为真空气氛;载置台,其设于处理容器内,用于载置基板;支承构件,其贯穿处理容器的底部的孔而自下方支承载置台;基体构件,其与支承构件的位于处理容器的外部的端部卡合,该基体构件能够与载置台一体地移动;以及多个致动器,它们在处理容器的底部与基体构件之间互相排列地设置,该多个致动器使基体构件相对于处理容器的底部相对地移动,从而调整载置台的位置和倾斜度。
  • 真空处理装置控制方法
  • [实用新型]转子卡滞检测装置-CN202120648909.3有效
  • 董英南;于绍辉;森淳 - 富奥汽车零部件股份有限公司;长春富奥石川岛增压器有限公司;株式会社IHI
  • 2021-03-30 - 2021-11-19 - F04D27/00
  • 本实用新型涉及涡轮增压器检测技术领域,尤其涉及一种转子卡滞检测装置。该转子卡滞检测装置包括供气机构、夹具、进气通孔以及转速传感器;夹具用于与涡轮增压器总成的进气端可拆卸连接;进气通孔开设于夹具,供气机构用于通过进气通孔向涡轮增压器总成的进气口供气,以驱动涡轮增压器总成的转子转动并增速;夹具的面向涡轮增压器总成的表面为工作表面,转速传感器设置于工作表面,转速传感器能够判断转子在预定时长内是否达到预定转速,如果转子在预定时长内达到了预定转速,则说明转子无卡滞且装配合格。该转子卡滞检测装置,统一了转子卡滞的判断标准,且提高了卡滞判断的便利性。
  • 转子检测装置
  • [实用新型]检具-CN202120649021.1有效
  • 韩金良;王畅;王岩;森淳 - 富奥汽车零部件股份有限公司;长春富奥石川岛增压器有限公司;株式会社IHI
  • 2021-03-30 - 2021-11-19 - G01N21/88
  • 本实用新型涉及增压器壳体表面质量检测技术领域,尤其涉及一种检具。该检具包括基板、设置于基板的透明目视部以及设置于基板的第二连接部;被检件的外表面设置有被检部和第一连接部,第二连接部与第一连接部适配并能够可拆卸连接;当第一连接部与第二连接部连接,透明目视部对应于并框选出被检部。该检具,检测人员能够透过透明目视部检查被检部,如果表面缺陷和位置偏差不合格的情况没有出现在透明目视部所对应的范围内,那么说明被检部表面质量合格,该被检件合格。通过该检具可以直接定位被检部,从而无需其他检测设备辅助即可完成目视检测,降低了占用其他检测资源的情况发生,且便于与被检件拆装,提高了表面质量检测的工作效率。
  • 检具

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